工業用機器人的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種具有手以及由多個臂部構成的臂的工業用機器人。
【背景技術】
[0002]以往，已知一種在真空中搬運玻璃基板等的工業用機器人(例如，參照專利文獻I)。專利文獻I所記載的工業用機器人具有裝載玻璃基板等的手、手能夠旋轉地連接于末端側的臂以及將臂的基端側能夠旋轉地連接的主體部。臂由彼此能夠旋轉地連接的第一臂部以及第二臂部構成。手能夠旋轉地連接于第二臂部的末端側。第二臂部的基端側能夠旋轉地連接于第一臂部的末端側，第一臂部的基端側能夠旋轉地連接于主體部。
[0003]在先技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻:日本特開2008-6535號公報
【發明內容】
[0006]發明想要解決的課題
[0007]在專利文獻I所記載的工業用機器人中，為了確保連接手與第二臂部的關節部或連接第二臂部與第一臂部的關節部的剛性，優選在關節部配置減速機。并且，在專利文獻I所記載的工業用機器人等工業用機器人中，定期地進行檢修。因此，市場上需求能夠低成本且容易地進行檢修的工業用機器人。
[0008]因此，本發明的課題是提供一種工業用機器人，其在關節部配置有減速機，能夠低成本且容易地進行檢修。
[0009]解決課題的方法
[0010]為了解決上述課題，本發明所涉及的工業用機器人的特征在于，其具有:手;臂，其具有手能夠旋轉地連接于末端側的末端側臂部以及末端側臂部的基端側能夠旋轉地連接于末端側的第一臂部;第一關節部，其將末端側臂部與第一臂部連接為能夠旋轉；以及第二關節部，其將手與末端側臂部連接為能夠旋轉，第一關節部具有第一減速機，所述第一減速機具有:第一輸入軸，其被輸入動力;第一輸出軸，其將輸入至第一輸入軸的動力減速并將其輸出；以及第一殼體，其將第一輸入軸以及第一輸出軸支承為能夠旋轉，第二關節部具有第二減速機，所述第二減速機具有:第二輸入軸，其被輸入動力;第二輸出軸，其將輸入至第二輸入軸的動力減速并將其輸出；以及第二殼體，其將第二輸入軸以及第二輸出軸支承為能夠旋轉，第一殼體以及第二殼體固定在末端側臂部側。
[0011]在本發明所涉及的工業用機器人中，構成第一關節部的至少一部分的第一減速機的第一殼體固定在末端側臂部側，構成第一減速機的第一輸入軸、第一輸出軸以及軸承等部件保持于末端側臂部。并且，在本發明中，構成第二關節部的至少一部分的第二減速機的第二殼體固定在末端側臂部側，構成第二減速機的第二輸入軸、第二輸出軸以及軸承等部件保持于末端側臂部。因此，在本發明中，在進行工業用機器人的檢修時，能夠將第一減速機以及第二減速機與末端側臂部一體地更換。即，在進行工業用機器人的檢修時，通過更換配置在比第一臂部靠臂的末端側的位置的末端側臂部，即使不更換第一臂部，也能夠更換第一減速機以及第二減速機。因此，在本發明中，在關節部配置有減速機的工業用機器人中，能夠低成本且容易地進行檢修。
[0012]在本發明中，第一減速機以及第二減速機是例如在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機。
[0013]在本發明中，優選手、末端側臂部以及第一臂部配置在真空中，末端側臂部以及第一臂部形成為中空狀，且末端側臂部的內部以及第一臂部的內部成為大氣壓，第一關節部具有防止空氣自末端側臂部與第一臂部的連接部分流出至真空中的第一磁性流體密封件，第二關節部具有防止空氣自手與末端側臂部的連接部分流出至真空中的第二磁性流體密封件，第一磁性流體密封件具有:第一密封殼體，其構成所述第一磁性流體密封件的外周側部分且固定第一殼體;第一內周側部件，其能夠旋轉地被保持于第一密封殼體的內周側且固定第一輸出軸；以及第一軸承密封部，其具有軸承、永磁鐵以及磁性流體，且配置在徑向上的第一密封殼體與第一內周側部件之間，第二磁性流體密封件具有:第二密封殼體，其構成所述第二磁性流體密封件的外周側部分且固定第二殼體;第二內周側部件，其能夠旋轉地被保持于第二密封殼體的內周側且固定第二輸出軸；以及第二軸承密封部，其具有軸承、永磁鐵以及磁性流體，且配置在徑向上的第二密封殼體與第二內周側部件之間，第一殼體隔著第一密封殼體固定于末端側臂部，第二殼體隔著第二密封殼體固定于末端側臂部。
[0014]若以此方式構成，則由于將構成第一磁性流體密封件的第一內周側部件以及第一軸承密封部等部件保持于末端側臂部，且將構成第二磁性流體密封件的第二內周側部件以及第二軸承密封部等部件保持于末端側臂部，因此在進行工業用機器人的檢修時，除了能夠將第一減速機以及第二減速機與末端側臂部一體地更換以外，也能夠將第一磁性流體密封件以及第二磁性流體密封件與末端側臂部一體地更換。即，在進行工業用機器人的檢修時，通過更換配置在比第一臂部靠臂的末端側的位置的末端側臂部，即使不更換第一臂部，也能夠更換第一減速機以及第二減速機，除此以外也能夠更換第一磁性流體密封件以及第二磁性流體密封件。因此，即使在關節部具有磁性流體密封件的情況下，也能夠低成本且容易地進行檢修。
[0015]在本發明中，工業用機器人例如具有兩個手、兩個末端側臂部、兩個第一臂部、固定兩個第一臂部的基端側的臂支承部、以及以臂支承部能夠以上下方向作為旋轉的軸向進行旋轉的方式連接臂支承部的主體部。在該情況下，在進行工業用機器人的檢修時，即使不更換固定于臂支承部的兩個第一臂部，也能夠更換第一減速機以及第二減速機。
[0016]在此，根據本申請發明者的研究，若在真空室內將高溫的搬運對象物裝載于手并進行搬運，則臂的上表面側部分的溫度會因來自搬運對象物的輻射熱以及來自真空室的壁面的輻射熱的影響而變得高于臂的下表面側部分的溫度。并且，在搬運高溫的搬運對象物時，若臂的上表面側部分的溫度高于臂的下表面側部分的溫度，則臂的上表面側部分的熱變形量會大于下表面側部分的熱變形量，因此有如下擔心:臂以臂的末端側下降的方式產生熱變形而無法利用手恰當地對搬運對象物進行搬運。
[0017]因此，在本發明中，優選手、末端側臂部以及第一臂部配置在真空中，末端側臂部以及第一臂部形成為中空狀，且末端側臂部的內部以及第一臂部的內部成為大氣壓，在末端側臂部以及第一臂部的內部的上表面形成有散熱用的散熱片。若如此構成，則在搬運高溫的搬運對象物時，能夠將臂的上表面側部分冷卻而抑制臂的上表面側部分的溫度上升，從而能夠使臂的上表面側部分的溫度接近于臂的下表面側部分的溫度。因此，能夠使臂的上表面側部分的熱變形量接近于下表面側部分的熱變形量，而能夠抑制末端側下降的臂的熱變形。其結果是，即使在搬運高溫的搬運對象物的情況下，也能夠通過手恰當地對搬運對象物進行搬運。
[0018]并且，為了解決上述課題，本發明所涉及的工業用機器人的特征在于，其具有:手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且手能夠旋轉地連接于末端側;第一關節部，其將第二臂部與第一臂部連接為能夠旋轉；以及第二關節部，其將第三臂部與第二臂部連接為能夠旋轉，第三臂部的基端側能夠旋轉地連接于第二臂部的末端側，第二臂部的基端側能夠旋轉地連接于第一臂部的末端側，第一關節部具有第一減速機，所述第一減速機具有:第一輸入軸，其被輸入動力;第一輸出軸，其使輸入至第一輸入軸的動力減速并將其輸出；以及第一殼體，其將第一輸入軸以及第一輸出軸支承為能夠旋轉，第二關節部具有第二減速機，所述第二減速機具有:第二輸入軸，其被輸入動力;第二輸出軸，其使輸入至第二輸入軸的動力減速并將其輸出；以及第二殼體，其將第二輸入軸以及第二輸出軸支承為能夠旋轉，第一殼體以及第二殼體固定在第二臂部側。
[0019]在本發明所涉及的工業用機器人中，將構成第一關節部的至少一部分的第一減速機的第一殼體固定在第二臂部側，將構成第一減速機的第一輸入軸、第一輸出軸以及軸承等部件保持于第二臂部。并且，在本發明中，將構成第二關節部的至少一部分的第二減速機的第二殼體固定在第二臂部側，將構成第二減速機的第二輸入軸、第二輸出軸以及軸承等部件保持于第二臂部。因此，在本發明中，在進行工業用機器人的檢修時，可將第一減速機以及第二減速機與第二臂部一體地更換。即，在進行工業用機器人的檢修時，通過更換配置在比第一臂部靠臂的末端側的位置的第二臂部，即使不更換第一臂部，也能夠更換第一減速機以及第二減速機。因此，在本發明中，在關節部配置有減速機的工業用機器人中，能夠低成本且容易地進行檢修。
[0020]發明效果
[0021]如上所述，在本發明中，能夠低成本且容易地進行在關節部配置有減速機的工業用機器人的檢修。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發明的實施方式所涉及的工業用機器人的俯視圖。
[0023]圖2是圖1所示的臂的基端側部分以及臂支承部的剖視圖。
[0024]圖3是圖1所示的臂的剖視圖。
[0025]圖4是圖1所示的臂的剖視圖。
[0026]圖5是圖3的E部的放大圖。
[0027]圖6是圖3的F部的放大圖。
[0028]圖7是圖6的K部的放大圖。
[0029]圖8是圖6的L部的放大圖。
[0030]圖9(A)是圖5所示的蓋部件的剖視圖，(B)自(A)的G-G方向示出蓋部件的圖。
[0031]圖10是圖4的H部的放大圖。
[0032]圖11是圖4的J部的放大圖。
[0033]圖12是圖11的M部的放大圖。
[0034]圖13是圖11的N部的放大圖。
[0035]圖14是本發明的其他實施方式所涉及的工業用機器人的俯視圖。
[0036]圖15是本發明的其他實施方式所涉及的工業用機器人的圖，(A)是俯視圖，(B)是側視圖。
【具體實施方式】
[0037]以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。
[0038](工業用機器人的示意結構)
[0039]圖1是本發明的實施方式所涉及的工業用機器人I的俯視圖。圖2是圖1所示的臂6、7的基端側部分以及臂支承部8的剖視圖。圖3是圖1所示的臂6的剖視圖。圖4是圖1所示的臂7的剖視圖。
[0040]本實施方式中的工業用機器人I是(以下稱作“機器人I”)用于搬運例如作為搬運對象物的有機EL(0rganic Electro-Luminescence:有機電致發光)顯示器用的玻璃基板2(以下稱作“基板2”)的機器人。該機器人I組裝至省略圖示的有機EL顯示器的制造系統而加以使用，搬運高溫的基板2。
[0041]如圖1所示，機器人I具有:兩個手4、5，其裝載基板2;臂6，手4能夠旋轉地連接于末端側;臂7，手5能夠旋轉地連接于末端側;臂支承部8，其固定臂6、7的基端側；以及主體部9，臂支承部8能夠旋轉地連接于主體部9。手4、5、臂6、7以及臂