>[0069] 本實施例中線性酚醛樹脂的結構如下，
[0070]
[0071] 其中，R9為戊基，η為30;
[0072] 本實施例中表面活性劑的結構如下，
[0073]
[0074] 實施例3
[0075]將22g的重氮類感光劑、100g線性酚醛樹脂、O.lg表面活性劑、5g的（CH3)4N+作為黏 附促進劑和200g丙二醇單甲醚乙酸酯混合得到光刻膠3。
[0076] 本實施例中的重氮類感光劑的結構如下，
[0077]
[0078] 其中，A為氧原子，R3為氫原子，Ri、R2和R4為以下結構，
[0079]
[0080] 本實施例中線性酚醛樹脂的結構如下，
[0081]
[0082] 其中，R9為辛基，η為30;
[0083] 本實施例中表面活性劑的結構如下，
[0084]
[0085] 實施例4
[0086] 將22g的重氮類感光劑、100g線性酚醛樹脂、O.Olg表面活性劑、5g的六甲氧基甲基 均三嗪黏附促進劑和300g乳酸乙酯混合得到光刻膠5。
[0087] 本實施例中的重氮類感光劑的結構如下，
[0089] 其中，R6為氫原子，R5為戊基，R7、Rs為如下結構，
[0088] 5
[0090]
[0091] 本實施例中線性酚醛樹脂的結構如下，
[0092]
[0093] 其中，R9為丙基，η為50;
[0094] 本實施例中表面活性劑的結構如下，
[0095]
Ο
[0096] 對比例
[0097]向22g重氮類感光劑、100g線性酚醛樹脂、O.Olg表面活性劑、5g的六甲氧基甲基均 三嗪黏附促進劑和300g乳酸乙酯混合得到對比光刻膠。
[0098]本對比例中，重氮類感光劑的結構如下，
9[0100] 其中，A為氧原子，R4為氫原子，Ri、R2和R3為以下結構，
[0099:
[0101]
[0102] 本實施例中線性酚醛樹脂的結構如下，
[0103],
[0104]
[0105] 其中，Rg為戊基，η為30;
[0106] 本實施例中表面活性劑的結構如下，
[0107]
[0108] 測試例
[0109] 將光刻膠1-4和對比光刻膠充分溶解后用0.2um過濾器過濾，將光刻膠旋涂在單面 拋光硅基板上并觀察涂布的均勻性，用熱板蒸干光刻膠內的溶劑并觀察光刻膠是否容易由 基板上剝離掉，用步進式曝光機對基板表面進行曝光，曝光后用2.38wt %的四甲基氫氧化 銨進行顯影，將顯影后的所述基板烘干并觀察光刻膠的耐熱性。
[0111] 由上述測試結果可知，本發明所述紫外正性光刻可以顯著提高光刻膠的耐熱性。
[0112] 雖然本發明已經通過上述具體實施例對其進行了詳細的闡述，但是，本專業普通 技q術人員應該明白，在此基礎上所做出的未超出權利要求保護范圍的任何形式和細節的 變化，均屬于本發明所要保護的范圍。
【主權項】
1. 一種含有臨羥基苯甲醛線性酚醛樹脂的正性光刻膠，以重量百分數計，由如下組分 組成， 重氮類感光劑 2-40% 含有臨羥基苯甲醛的酚醛樹脂8-50% 表面活性劑 0-2% 黏附促進劑 0-10% 溶劑 40-90%; 所述重氮類感光劑為通式(1)和(2)化合物中的一種或幾種的混合物，上述通式⑴和⑵中，A為硫原子或氧原子，RiUs和R4中至多有一個為氫原子，R6、R7 和R8中至多有一個為氫原子，R5為碳原子數1-5的烷基，其余為(I)或(II)結構； 通式（Γ 通式（2: π: C Π )2. 根據權利要求1所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹 脂。3. 根據權利要求2所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述線性酚醛樹脂為下列通式 (3)結構， 通式（3)上述通式(3)中，R9為含有不多于10個碳原子的任意基團，η為自然數。4. 根據權利要求2或3所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述線性酚醛樹脂的分子 量為 2000-30000。5. 根據權利要求1-4任一所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述表面活性劑為下列 通式(4)和(5)化合物中的一種或幾種的混合物， 通式⑷ 通式（3)上述通式⑷和(5)中，R1Q、Rn、R12和R13為氫、氨基、甲基、乙基、丙基、甲氧基、乙氧基、二 甲氨基或季銨堿基，k為2-10范圍內的整數，m為4-10范圍內的整數。6. 根據權利要求1-5任一所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述黏附促進劑為三嗪 類含氮雜環化合物、通式(6)和(7)化合物中一種或幾種的混合物， 通式（6) 通:式⑶ 上述通式(6)和(7)中，R14、R15、R16為氫原子、碳原子數1-5的烷基、氨基或者乙醇基，R 17 為碳原子數1-5的烷基或者氨基。7. 根據權利要求6所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述三嗪類含氮雜環化合物為 以下結構，其中，R18、R19、R2Q為碳原子數2-6的烷基、碳原子數2-6的烷氧基或者氨基。8. 根據權利要求1-7任一所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述溶劑為丙二醇單甲 醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、環己酮、丙二醇單甲醚、乙酰丙酮、N-甲基吡咯烷 酮、二乙二醇單甲醚和二乙二醇二甲醚中的一種或幾種的混合物。9. 根據權利要求8所述的紫外正性光刻膠，其特征在于，所述溶劑為丙二醇單甲醚乙酸 酯。10. 權利要求1所述紫外正性光刻膠的光刻工藝，包括如下步驟， (1) 將紫外正性光刻膠均勻涂布在基板上，并蒸干光刻膠內的溶劑； (2) 對基板表面進行曝光，曝光后用四甲基氫氧化銨、NaOH或KOH溶液顯影； (3) 將顯影后的所述基板烘干后進行刻蝕； (4) 用去膠液去除所述基板上殘留的光刻膠即可。
【專利摘要】本發明公開了一種含有臨羥基苯甲醛線性酚醛樹脂作為成膜樹脂的光刻膠組合物，以重量百分數計，由如下組分組成，重氮類感光劑2-40％、含有臨羥基苯甲醛單體的酚醛樹脂8-50％、表面活性劑0-2％、黏附促進劑0-10％和溶劑40-90％。其中，所使用的含有臨羥基苯甲醛的酚醛樹脂為甲酚、3，5-二甲基酚與臨羥基苯甲醛的共聚物。同時還提出了上述光刻膠用于光刻過程的工藝。本發明所述含有臨羥基苯甲醛線性酚醛樹脂作為成膜樹脂的光刻膠組和物適用于電子器件生產等領域。
【IPC分類】G03F7/004, G03F7/038, G03F7/20, G03F7/016, G03F7/075
【公開號】CN105607418
【申請號】CN201510996682
【發明人】徐亮, 季昌斌
【申請人】蘇州瑞紅電子化學品有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月23日