老煉試驗箱的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造及機械加工領域，特別涉及一種老煉試驗箱。
【背景技術】
[0002]在集成電路(IC)制造過程中，由于工藝、材料等原因，不可避免地會造成一定的潛在缺陷，用一般的檢測和質量控制手段所不能發現，而需要要對器件施加高應力(電、熱等)使缺陷激活才能被發現，如硅片表面污染、焊接空洞、芯片和管殼熱阻匹配不良等。
[0003]集成電路的老煉試驗過程就是通過對其施加高應力，加速其潛在缺陷快速暴露的過程。國軍標GJB548B中規定，老煉試驗的目的是為了篩選和剔除那些勉強合格的器件，可以剔除有缺陷的、可能會發生早期失效的產品，是一種無損的篩選試驗技術。老煉試驗時，需要對器件按規定要求施加一種或多種應力進行的試驗，以暴露器件的質量缺陷和潛在缺陷，并剔除有缺陷的器件，余下的器件就具有較高的使用可靠性。
[0004]圖1為現有老煉試驗箱示意圖。如圖1所示，老煉試驗箱中老煉試驗板105、加熱器104、溫度傳感器107和風葉104位于箱體內，驅動電機101位于箱體外，驅動電機101通過驅動軸102連接風葉103。箱體內設置有多個老煉試驗板105，每個老煉試驗板105上設置有多個放置集成電路的試驗底座106。老煉試驗箱底部設置有加熱器104，用以按溫度設定值對老煉試驗箱進行加熱，老煉試驗箱上部設置有溫度傳感器107，利用該溫度傳感器107可以檢測老煉試驗箱內的溫度并控制加熱器104的開啟或關閉。
[0005]目前越來越多的產品和裝備應用表面貼裝器件，而器件管腳表層多為鉛錫合金的，錫的含量通常在60%以上，在長時間高溫有氧環境中很容易被氧化。隨著半導體器件規模越來越大和環保意識的不斷增強，器件更多地采用BGA、LGA、TQFP、QFN、TSOP等多種高密度多管腳無鉛表面貼裝封裝形式，此類無鉛合金的錫含量通常在96 %以上，高錫合金在長時間高溫有氧環境中就更容易被氧化。因此，老煉試驗過程中經過排氧充入惰性氣體保護后，器件管腳經長時間高溫老煉試驗也不會被氧化，保證了器件在老煉試驗過程中的品質和安全，確保了器件管腳在電裝工藝環節中不會出現假焊和虛焊的質量問題，對產品和裝備的整體品質提尚有著很大的作用。
[0006]現有的老煉試驗箱的驅動電機位于箱體外部，風葉位于箱體內部，驅動軸穿過箱體連接風葉。這就需要在箱體上開一個通孔，使得老煉試驗箱的密封性變差。老煉試驗時，當有惰性氣體充入時，會經過所述通孔泄漏出去，這對惰性氣體的使用造成浪費。如果泄漏的量比較大，會使得老煉試驗箱周圍的惰性氣體濃度過高，對人員的呼吸造成困難。而且，老煉試驗時，箱體內部的高溫會通過驅動軸傳導至驅動電機，使得驅動電機工作時發熱量進一步增大，對驅動電機造成一定的損傷。
【發明內容】
[0007]本發明提供一種老煉試驗箱，解決了現有老煉試驗箱中密封性差，驅動電機易損傷的問題。
[0008]為達到上述目的，本發明提供的一種老煉試驗箱，包括箱體、至少一個風葉控制模塊和至少一個氣體充入口，其中，所述風葉控制模塊包括位于所述箱體外部的風葉驅動裝置，位于所述箱體內部與所述風葉驅動裝置相分離的風葉從動裝置，以及與所述風葉從動裝置相連接的風葉。
[0009]其中，所述風葉驅動裝置包括驅動電機、第一驅動軸和驅動片，所述風葉從動裝置包括從動片、第二驅動軸。
[0010]其中，所述驅動片與所述從動片之間具有磁感應。
[0011]其中，所述驅動電機轉動帶動所述第一驅動軸和所述驅動片轉動，所述驅動片轉動帶動所述從動片轉動，所述從動片轉動帶動所述第二驅動軸和風葉轉動。
[0012]其中，所述驅動片和所述從動片相對面磁極相反或相同。
[0013]其中，所述箱體設置至少一個氣體出口閥門。
[0014]其中，所述箱體內設置至少一個氧氣檢測裝置。
[0015]其中，所述箱體內設置至少一個加熱器。
[0016]其中，所述箱體內設置至少一個溫度傳感器用于檢測所述箱體內的環境溫度。
[0017]其中，所述箱體外側裝有隔熱材料。
[0018]與現有技術相比，本發明具有以下優點:
[0019]本發明的老煉試驗箱，可保證箱體的密封性，減少了惰性氣體的使用量，同時保護了驅動電機。
【附圖說明】
[0020]圖1為現有的老煉試驗箱示意圖；
[0021 ]圖2為本發明實施例中的老煉試驗箱示意圖；
[0022]附圖標記:
[0023]101:驅動電機； 102:驅動軸；103:風葉；
[0024]104:加熱器；105:老煉試驗板；106:老煉試驗插座；
[0025]107:溫度傳感器；
[0026]201:驅動電機； 202:驅動片；203:第一驅動軸；
[0027]204:隔熱材料； 205:從動片；206:第二驅動軸；
[0028]207:風葉；208:溫度傳感器；209:老煉試驗板；
[0029]210:加熱器；211:老煉試驗插座；212:箱體；
[0030]213:氣體充入孔；214:氧氣檢測裝置；215:氣體出口閥門。
【具體實施方式】
[0031]為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0032]本發明的處理方法可以被廣泛地應用于各個領域中，并且可利用許多適當的材料制作，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本發明并不局限于該具體實施例，本領域內的普通技術人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本發明的保護范圍內。
[0033]傳統老煉試驗箱的整體密封性不好，老煉試驗時，充入惰性氣體對器件管腳保護時，氣體會從安裝驅動軸的通孔中泄漏出去，造成氣體的浪費，對老煉試驗箱周圍環境造成影響，嚴重的話危害到人員健康，同時，熱量通過驅動軸傳導至驅動電機，對驅動電機也會造成損傷。
[0034]為了應對集成電路器件的高速發展，本發明提出了一種新的老煉試驗箱，可保證箱體的密封性，從而大大降低氣體泄漏，同時對驅動電機不會造成損傷。
[0035]圖2為說明本發明實施例中的老煉試驗箱的整體示意圖。下面結合圖2對本發明的實施例進行詳細說明。
[0036]如圖2所示，本發明的老煉試驗箱，包括箱體212、至少一個風葉控制模塊和至少一個氣體充入口 213，其中，所述風葉控制模塊包括位于所述箱體外部的風葉驅動裝置，位于所述箱體內部與所述風葉驅動裝置相分離的風葉從動裝置，以及與所述風葉從動裝置相連接的風葉207。
[0037]本實施例中，安裝一個風葉控制模塊，其安裝于箱體212的側部，改變箱體212內的氣流流向，在箱體212內形成循環氣流，令箱體212內的溫度分布較為均勻。具體地，加熱器210對箱體212內加熱，由風葉207平行吹過各老煉試驗板209為老煉試驗器件加熱，加熱器210的設定溫度可以為箱體212內的溫度設定值，其通常是根據老煉試驗器件的老煉試驗溫度要求而設定，可以在20°C-250°C之間，如為20°C、100°C、150°C、200°C或250°C。
[0038]本實施例中，風葉驅動裝置位于箱體212外部，風葉從動裝置位于箱體212內部，二者相互分離，使得箱體212側部無需為二者連接而開一個通孔，保證了箱體212的完整性，從而保證了箱體212的密封性。箱體212外部為常溫環境，因此，風葉驅動裝置可采用常溫材料設計，也可采用耐高溫材料設