一種線性等離子發生器的制造方法

            文檔序號:10039309閱讀:309來源:國知局
            一種線性等離子發生器的制造方法
            【技術領域】
            [0001]本實用新型是涉及等離子發生器,尤其是涉及一種線性等離子發生器。
            【背景技術】
            [0002]兩條高頻高壓線之間,當距離足夠靠近,最近的位置即會產生電弧放電,電弧放電時周圍的氣體發生電離,形成等離子體,一旦等離子體形成,則變成導體,致使此位置持續產生電弧放電(可以視為此位置短路放電),其他位置則無法形成電弧放電,進而其他位置無法產生等離子體。
            [0003]現有的等離子發生器利用上述原理進行電弧放電,再用高壓氣體將等離子吹出,只能實現單點產生等離子體,輻射寬度不超過5厘米,無法滿足更大輻射寬度的要求。
            【實用新型內容】
            [0004]鑒于上述內容,為了滿足更大輻射寬度等離子體產生,有必要將“點變線”,使等離子輻射寬度加大至無限長。
            [0005]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案為:一種線性等離子發生器,包括一套高頻高壓電源、一套線性等離子射出裝置,所述線性等離子射出裝置包括一組等離子外殼所形成的多組氣體緩沖區、恒壓限流電容組件區和接地電極,所述恒壓限流電容組件區包括恒壓限流電容和放電電極,所述恒壓限流電容與放電電極串聯,并通過電源高壓線與高頻高壓電源連接,所述接地電極通過電源接地線與高頻高壓電源連接后接地,由恒壓限流電容和放電電極組成的恒壓限流電容組件區的數目不少于兩組,且恒壓限流電容組件區的各個部分并聯。
            [0006]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案進一步還包括:
            [0007]所述高頻高壓電源為電壓10-15KV,頻率25KHz,電流0.1-0.5A的高頻高壓電源。
            [0008]所述多組氣體緩沖區為三組,分別是第一緩沖區、第二緩沖區和第三緩沖區,高壓氣體進入發生器后,經過緩沖區最終保證氣體生成的等離子體均勻的從通孔射出。
            [0009]所述第一緩沖區包含上板、兩個側板、前板、后板和緩沖板。
            [0010]所述第二緩沖區包括緩沖板、電容板、兩個側板、前板和后板。
            [0011]所述第三緩沖區包括電容板、底板、側板以及不少于兩組的放電電極和陶瓷,在底板上還設有的通孔以及在放電電極上還設有電極缺口。
            [0012]所述放電電極為可導電的直徑為4mm的不銹鋼材質,底部并設有缺口,方便氣體通過并產生等離子體,所述陶瓷為三氧化二鋁材質,內徑為5mm,所述通孔直徑為l-2mm。
            [0013]所述電容板上電容的一只接線柱與等離子射出裝置內部高壓電線連接,另一只接線柱通過電容螺絲固定在電容板上,在電容螺絲的底部鑲嵌有導電彈簧,導電彈簧的另一端鑲嵌在放電電極上,內部高壓線與等離子射出裝置高壓電接入線連接,等離子射出裝置高壓電接入線與電源高壓線連接,即高頻高壓電源通過電源高壓線、等離子射出裝置高壓電接入線、內部高壓電線將電量接通于電容板上電容的一只接線柱上,恒壓限流電容通過另一只接線柱、電容螺絲、導電彈簧將電源的電量均勻分配給其對應的放電電極上。
            [0014]所述電容螺絲和導電彈簧為可導電的不銹鋼材質。
            [0015]所述上板、側板、前板、后板和緩沖板均為環氧樹脂材質。
            [0016]所述電容板和位于底板與電容板之間的限位板為環氧樹脂材質。
            [0017]本實用新型的有益技術效果是:本實用新型的發生器通過恒壓限流電容組件,實現了在高頻高壓電上并聯2組及以上數目的電極。可以使等離子體由“點變線”,使等離子區域輻射面積由5厘米提高至無限大。
            【附圖說明】
            [0018]圖1,本實用新型高頻高壓電源及恒壓限流并聯電容示意圖;
            [0019]圖2,本實用新型線性等離子射出裝置右上視角示意圖;
            [0020]圖3,本實用新型線性等離子射出裝置右下視角示意圖;
            [0021]圖4,本實用新型線性等離子射出裝置前板打開后內部結構示意圖;
            [0022]圖5,本實用新型線性等離子射出裝置上板隱藏后內部結構示意圖;
            [0023]圖6,本實用新型線性等離子射出裝置上板、前板、緩沖板隱藏后內部結構示意圖;
            [0024]圖7,本實用新型第三緩沖區沿B-B線的剖視圖;
            [0025]圖8,圖7中部分放大示意圖;
            [0026]圖9,本實用新型線性等離子射出裝置電容、高壓線、放電電極、陶瓷、底板結構圖;
            [0027]圖10,本實用新型高頻高壓電源及恒壓限流并聯電容的其中一實施例示意圖。
            [0028]主要元件符號說明:
            [0029]1.高頻高壓電源2.電源高壓線 3.電容
            [0030]4.放電電極5.接地電極 6.電源接地線
            [0031]7.M4 18mm螺絲52條8.充氣孔 9.等離子射出裝置高壓電
            [0032]接入線
            [0033]10.等離子射出裝置地線11.通孔12.上板
            [0034]13.前板14.側板 15.緩沖板通孔
            [0035]16.后板17.緩沖板 18.電容
            [0036]19.等離子射出裝置內部高壓電線20.電容板21.電容螺絲
            [0037]22.陶瓷23.放電電極 24.底板
            [0038]25.限位板26.導電彈簧 27.電容板通孔
            [0039]28.第一緩沖區29.第二緩沖區30.第三緩沖區
            [0040]31.電極缺口
            【具體實施方式】
            [0041]下面將結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步說明。
            [0042]具體實施例一
            [0043]請參閱圖1,本實用新型主要采用的是材質SL,電容量22PF,誤差10%,耐壓值50KV的高電壓低容量電容(包括但不限于此型號電容)。電源的電量被電容均勻的分到5個電極上,可以使5個電容同時產生電弧,避免單個電極產生電弧,其他電極無法產生電弧的弊端。具體操作方式是將電容3與電極4串聯,然后再將電容4和電極4并聯,接通在電源輸出高壓電線2上,在電極4和接地電極5之間充入氣體,使電極4和接地電極5之間產生等離子體。
            [0044]本實用新型的氣體充入和射出方式:
            [0045]本實用新型的氣體充入和等離子射出請參閱圖2和圖3,圖2中充氣孔8接通
            0.6MPa左右的空氣(可以是壓縮空氣,氮氣,氬氣等,但絕對不允許是純度大于30%的氧氣),經過內部電弧放電形成等離子體并由圖3中的直徑1-2毫米的通孔11射出,具體實現方法如下:
            [0046]參考圖4、圖5、圖6、圖7、圖8、圖9,圖4中0.6MPa的氣體經過充氣孔8進入等離子射出裝置后,被圖5中上板12 (隱藏,材質環氧樹脂,高絕緣性)、兩個側板14 (材質環氧樹脂,尚絕緣性)、如板13 (材質環氧樹脂,尚絕緣性)、后板16 (材質環氧樹脂,尚絕緣性)和緩沖板17 (材質環氧樹脂,高絕緣性)形成的第一緩沖區28緩沖,緩沖后經緩沖板通孔15進入第二緩沖區29。
            [0047]參考圖6、圖7,由緩沖板17 (隱藏)、電容板20 (材質環氧樹脂,高絕緣性)、兩個側板14、前板13(隱藏)、后板形成的第二緩沖區對進入
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