聲波器件、濾波器和分波器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明的特定方面涉及聲波器件、濾波器和分波器(duplexer)。
【背景技術】
[0002]在用于諸如移動電話終端的無線通信設備的濾波器和分波器中采用聲波器件。作為聲波器件，已知包括具有位于壓電基板上的一對梳形電極的叉指換能器(IDT)的表面聲波(SAW)器件。另外，為了改進功率持久性，已知連續地劃分單個SAW器件，如在日本特開2001-285025號公報和日本特開2001-24471號公報中公開的。另外，為了改進諧振器中的表面聲波的限制，已知在各個梳形電極中的電極指之間提供虛設電極指，如在日本特開2003-198317號公報中公開的。另選地，已知使用不同模式下的波的多模式類型的表面聲波器件、或者在多個階段連接所述多模式類型的表面聲波器件，如在日本特開平5-129884號公報、日本特開平6-37585號公報、日本特開平10-32463號公報、日本特開2000-323935號公報以及日本特開2001-127587號公報中公開的。
[0003]當單個聲波器件被連續地劃分以改進功率持久性時，器件尺寸增加。
【發明內容】
[0004]根據本發明的一方面，提供了一種聲波器件，該聲波器件包括:壓電基板；第一IDT，其位于所述壓電基板上并且包括多個電極指和兩個匯流條(bus bar);以及第二 IDT，其位于所述壓電基板上，包括多個電極指和兩個匯流條，并且與所述第一 IDT串聯連接，其中，所述第一 IDT和所述第二 IDT共享一個公共匯流條作為所述第一 IDT的所述兩個匯流條中的第一匯流條和所述第二 IDT的所述兩個匯流條中的第一匯流條，所述公共匯流條的寬度不大于傳播通過所述第一 IDT和所述第二 IDT的聲波的波長的兩倍，并且所述公共匯流條不連接到隔著間隙面對與所述第一 IDT的所述兩個匯流條中的第二匯流條連接的電極指的前端的虛設電極指，并且不連接到隔著間隙面對與所述第二 IDT的所述兩個匯流條中的第二匯流條連接的電極指的前端的虛設電極指。
[0005]根據本發明的另一方面，提供了一種濾波器，該濾波器包括:以上聲波器件。
[0006]根據本發明的另一方面，提供一種分波器，該分波器包括:以上濾波器。
【附圖說明】
[0007]圖1的(a)是根據第一實施方式的SAW器件的俯視圖，并且圖1的(b)是(a)中的區域A的放大圖；
[0008]圖2是根據第一比較示例的SAW器件的俯視圖；
[0009]圖3是根據第一實施方式的第一變形例的SAW器件的俯視圖；
[0010]圖4示出根據第一實施方式的第一變形例的SAW器件的頻率特性的仿真結果；
[0011]圖5示出根據第一實施方式的第一變形例的使用SAW器件的梯形濾波器的通過特性(pass characteristic)的仿真結果；
[0012]圖6是根據第一實施方式的第二變形例的SAW器件的俯視圖；
[0013]圖7A是根據第一實施方式的第三變形例的SAW器件的俯視圖，并且圖7B是圖7A中的區域A的放大圖；
[0014]圖8是根據第一實施方式的第四變形例的SAW器件的俯視圖；
[0015]圖9A示出第一實施方式的第四變形例的SAW器件的頻率特性的測量結果，并且圖9B是圖9A中的區域A的放大圖；
[0016]圖10是第一實施方式的第四變形例的SAW器件的反射特性的史密斯圓圖；
[0017]圖11是根據第二實施方式的SAW器件的俯視圖；
[0018]圖12示出根據第三實施方式的濾波器；
[0019]圖13A是示出第三實施方式的濾波器的通過特性的圖(第I條)，并且圖13B是圖13A中的通帶的放大圖；
[0020]圖14A是示出第三實施方式的濾波器的通過特性的圖(第2條)，并且圖14B是圖14A的通帶的放大圖；
[0021]圖15示出根據第三實施方式的第一變形例的濾波器；以及
[0022]圖16示出根據第四實施方式的分波器。
【具體實施方式】
[0023]在下文中，將參照附圖給出本發明的實施方式的描述。
[0024]第一實施方式
[0025]圖1的(a)是根據第一實施方式的SAW器件的俯視圖，并且圖1的(b)是(a)中的區域A的放大圖。如圖1的(a)和(b)中所示，第一實施方式的SAW器件100包括在壓電基板10上的第一 IDT 20、串聯連接至第一 IDT 20的第二 IDT 40、以及在表面聲波的傳播方向上位于第一 IDT 20和第二 IDT 40的兩側的反射器60。壓電基板10由例如諸如鈮酸鋰(LiNbO3)或鉭酸鋰(LiTaO3)的壓電材料制成。第一 IDT 20、第二 IDT 40以及反射器60可以由例如單層金屬膜(諸如鋁(Al)或銅(Cu))或者主要由Al構成的合金制成。另選地，第一 IDT 20、第二 IDT 40以及反射器60可以由多層金屬膜制成，多層金屬膜包括位于單層金屬膜(諸如Al或Cu)或者主要由Al構成的合金下面的金屬(諸如鈦(Ti)或鉻(Cr))。
[0026]第一 IDT 20包括一對梳形電極。所述梳形電極中的第一梳形電極包括電極指22a、虛設電極指24、以及連接到電極指22a和虛設電極指24的匯流條26a。例如，電極指22a和虛設電極指24被另選地定位。匯流條26a連接至輸入/輸出端子28。所述梳形電極中的第二梳形電極包括電極指22b和連接到電極指22b的匯流條26b。電極指22b被定位成使得電極指22b的前端隔著間隔52面對虛設電極指24的前端。另一方面，匯流條26b不連接至電極指22b之間的虛設電極指。因此，電極指22a被定位成使得電極指22a的前端隔著間隙52面對匯流條26b。
[0027]以相同方式，第二 IDT 40包括一對梳形電極。所述梳形電極中的第一梳形電極包括電極指42a、虛設電極指44以及連接到電極指42a和虛設電極指44的匯流條46a。例如，電極指42a和虛設電極指44被另選地定位。匯流條46a連接至輸入/輸出端子28。所述梳形電極中的第二梳形電極包括電極指42b和連接至電極指42b的匯流條46b。電極指42b被定位成使得電極指42b的前端隔著間隙52面對虛設電極指44的前端。另一方面，匯流條46b不連接至電極指42b之間的虛設電極指。因此，電極指42a被定位成使得電極指42a的前端隔著間隙52面對匯流條46b。
[0028]第一 IDT 20和第二 IDT 40共享作為匯流條26b和匯流條46b的單個公共匯流條50，匯流條26b是第一 IDT 20的兩個匯流條中的一個匯流條，匯流條46b是第二 IDT 40的兩個匯流條中的一個匯流條。公共匯流條50是浮置電極。
[0029]第一 IDT 20的電極指22a、22b的節距與第二 IDT 40的電極指42a、42b的節距相同。第一 IDT 20的線與間隔比(此后稱為L/S比)(其是電極指22a、22b的寬度與相鄰的電極指22a、22b之間的距離的比率)與第二 IDT 40的L/S比(其是電極指42a、42b的寬度與相鄰的電極指42a、42b之間的距離的比率)相同。開口長度Wl (其是第一 IDT 20的電極指22a、22b彼此交疊的寬度)等于開口長度W2(其是第二 IDT 40的電極指42a、42b彼此交疊的寬度)。
[0030]由于第一 IDT 20的電極指22a、22b的節距與第二 IDT 40的電極指42a、42b的節距相同，所以傳播通過第一 IDT 20的表面聲波的波長與傳播通過第二 IDT 40的表面聲波的波長相同。