柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置。更詳細而言，涉及具備有機電致發光元件或液晶層等顯示元件的柔性顯示裝置的制造方法和柔性顯示裝置。
【背景技術】
[0002]近年來，液晶顯示裝置、有機電致發光顯示裝置等薄型顯示裝置快速普及，為了進一步提高這些薄型顯示裝置的商品性，正在進行具備新的功能的下一代顯示裝置的開發。作為這樣的下一代顯示裝置之一，可以列舉能夠彎曲的柔性顯示裝置。
[0003]為了制造柔性顯示裝置，需要在柔性的基板上形成薄膜晶體管等元件。作為用于進行該形成的方法，已知有將在玻璃基板上預先形成的薄膜晶體管轉印至柔性的基板上的方法(例如，參照專利文獻1、2)。在該方法中，在專利文獻2中，用于與外部端子連接的端子的取出，通過利用蝕刻將位于端子上部的層的規定部分除去來進行。
[0004]現有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2004-214281號公報
[0007]專利文獻2:日本特開2009-205941號公報
【發明內容】
[0008]發明要解決的技術問題
[0009]在柔性顯示裝置的制造中，根據端子的取出方法，存在使端子受到損傷、發生顯示元件的特性的劣化的情況。例如，在上述專利文獻2中記載的發明中，通過利用氫氟酸對如上述專利文獻2的圖9所示的玻璃基板進行蝕刻，并利用反應性離子蝕刻法將保護膜蝕刻除去，使端子露出。但是，在進行使用氫氟酸的濕式蝕刻的情況下，通常在濕式蝕刻之后存在清洗工序，因此，不能充分地防止水分從如上述專利文獻2的圖9所示的柔性基板和密封件侵入，可認為會發生有機電致發光元件的特性劣化的問題。
[0010]這樣，在具備有機電致發光元件的柔性顯示裝置的情況下，當通過利用濕式蝕刻等將位于端子上部的密封用的柔性基材或粘接層等除去而進行端子的取出時，存在有機電致發光元件的特性劣化的情況。這是因為，有機電致發光元件具有易受水分和氧氣影響的性質。此外，即使在以覆蓋有機電致發光元件的方式形成密封膜的情況下，也不能充分地防止由濕式蝕刻等引起的水分等的侵入的影響。
[0011]另一方面，在柔性顯示裝置的制造方法中，為了使得不進行端子的取出工序，例如可以考慮使密封用的柔性基材和粘接層有選擇地與端子上部(覆蓋端子的部分)以外的部分貼合。但是，在該情況下，在作為貼合與密封用的柔性基材相對的柔性基材的前階段，將玻璃基板剝離時，沒有支承端子的部件(例如，密封用的柔性基材和粘接層)，因此，存在在玻璃基板的剝離時產生端子的破損和褶皺等損傷的情況。
[0012]本發明是鑒于上述現狀而做出的，其目的是提供能夠不損傷端子地進行端子的取出并且充分地防止顯示元件的特性的劣化的柔性顯示裝置的制造方法、和能夠利用上述柔性顯示裝置的制造方法制造的柔性顯示裝置。
[0013]用于解決技術問題的手段
[0014]本發明的發明人對能夠不損傷端子地進行端子的取出并且充分地防止顯示元件的特性的劣化的柔性顯示裝置的制造方法進行了各種研究，著眼于在端子上預先形成與端子的界面的密合力弱的剝離層。發現了，通過使剝離層與端子的界面的密合力在位于剝離層與沒有設置端子的相對側的柔性基材之間的界面中最弱，從相對側的柔性基材側將剝離層的上層切斷，進一步在剝離層形成切口直至不到達與端子的界面的深度，將被切斷的剝離層剝離，將被切斷的剝離層的上層和剝離層除去，能夠不損傷端子地進行端子的取出。此夕卜，發現了，因為不是利用濕式蝕刻等濕式的方法而是利用干式的方法進行端子的取出，所以能夠充分地防止顯示元件的特性的劣化。由此，想到能夠很好地解決上述技術問題，實現了本發明。
[0015]S卩，根據本發明的一個方式，可以為一種柔性顯示裝置的制造方法，該柔性顯示裝置具備通過第一粘接層貼合的第一柔性基材和第二柔性基材，該柔性顯示裝置的制造方法的特征在于，依次包括下述工序(1)?(4):
[0016]工序(1)，在上述第一柔性基材或臨時的支承基板的主面上的顯示區域形成配線，并且在上述主面上的端部區域形成從上述配線導出的多個端子；
[0017]工序(2)，形成直接覆蓋上述多個端子的剝離層；
[0018]工序(3)，在上述顯示區域和上述端部區域依次配置包括上述第一粘接層和上述第二柔性基材的多個層，使得在位于上述剝離層與上述第二柔性基材之間的界面，得到比上述剝離層與上述多個端子的界面的密合力更強的密合力；和
[0019]工序(4)，在上述端部區域的上述顯示區域側，將上述多個層切斷，并在上述剝離層形成切口直至不到達與上述多個端子的界面的深度，進一步，將被切斷的上述剝離層的與上述顯示區域側相反的一側的部分剝離，將被切斷的上述多個層和上述剝離層的與上述顯示區域側相反的一側的部分除去，由此，使上述多個端子的至少一部分露出。
[0020]此外，根據本發明的另一個方式，可以為一種柔性顯示裝置，該柔性顯示裝置包括:第一柔性基材；配置在上述第一柔性基材的主面上的顯示區域的配線和顯示元件；配置在上述第一柔性基材的主面上的端部區域，從上述配線導出的多個端子；至少配置在上述顯示區域的第一粘接層；和通過上述第一粘接層至少與上述顯示區域貼合的第二柔性基材，上述柔性顯示裝置的特征在于:上述多個端子在上述顯示區域側具有被剝離層覆蓋的部分，上述剝離層與上述多個端子的界面的密合力在位于上述剝離層與上述第二柔性基材之間的界面中最弱。
[0021]另外，上述本發明的另一個方式的柔性顯示裝置能夠利用上述本發明的一個方式的柔性顯示裝置的制造方法來制造。
[0022]發明效果
[0023]根據本發明，能夠提供能夠不損傷端子地進行端子的取出并且充分地防止顯示元件的特性的劣化的柔性顯示裝置的制造方法、和適合利用上述柔性顯示裝置的制造方法制造的柔性顯示裝置。
【附圖說明】
[0024]圖1是實施方式1?6的柔性顯示裝置的平面示意圖。
[0025]圖2是表示實施方式1的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。
[0026]圖3是有機電致發光元件的截面示意圖。
[0027]圖4-1是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序A?D)。
[0028]圖4-2是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序E?F)。
[0029]圖4-3是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序G?H)。
[0030]圖4-4是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序I?J)。
[0031]圖4-5是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序K)。
[0032]圖5是表示實施方式2和3的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。
[0033]圖6-1是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式2的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序A?D)。
[0034]圖6-2是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式2的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序E?F)。
[0035]圖6-3是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式2的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序G)。
[0036]圖7是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式3的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖。
[0037]圖8是表示實施方式4的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。
[0038]圖9-1是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式4的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序A?C)。
[0039]圖9-2是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式4的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序D?E)。
[0040]圖9-3是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式4的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序F?G)。
[0041]圖9-4是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式4的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序H)。
[0042]圖10是表示實施方式5的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。
[0043]圖11-1是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式5的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序A?C)。
[0044]圖11-2是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式5的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序D?E)。
[0045]圖11-3是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式5的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序F?G)。
[0046]圖11-4是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式5的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序H)。
[0047]圖12是表示實施方式6的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。
[0048]圖13-1是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式6的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序A?C)。
[0049]圖13-2是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式6的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序D?E)。
[0050]圖13-3是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式6的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序F?G)。
[0051]圖13-4是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式6的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖(工序H)。
【具體實施方式】
[0052]以下給出實施方式，參照附圖對本發明進行更詳細的說明，但是本發明并不僅限定于這些實施方式。此外，以下的實施方式中的各方式在不脫離本發明的主旨的范圍內可以適當組合也可以適當變更。另外，本說明書中，第一柔性基材或臨時的支承基板的主面是指第一柔性基材或臨時的支承基板的、第二柔性基材側的面。此外，第二柔性基材的主面是指第二柔性基材的、第一柔性基材或臨時的支承基板側的面。
[0053][實施方式1]
[0054]在實施方式1中，將在有機電致發光元件上形成的密封膜在端子上也形成，作為剝離層使用。此外，通過在玻璃基板的主面上形成有機電致發光元件等，然后將玻璃基板剝離而改貼在柔性基材上的工藝，制造柔性顯示裝置。
[0055]圖1是實施方式1的柔性顯示裝置的平面示意圖。圖2是表示實施方式1的柔性顯示裝置的沿圖1中的線段A-A’的截面的截面示意圖。如圖1和圖2所示，在實施方式1的柔性顯示裝置la中，在柔性基材2a (第一柔性基材)的主面上的顯示區域AR1配置有配線5和有機電致發光元件6，在柔性基材2a的主面上的端部區域AR2配置有從配線5導出的多個端子3。在柔性基材2a，通過粘接層4b (第一粘接層)貼合有柔性基材2b (第二柔性基材)。
[0056]在柔性基材2a的主面上，依次疊層有粘接層4a (第二粘接層)、聚酰亞胺層7和保護膜8。上述的顯示區域AR1的配線5和端部區域AR2的端子3設置在保護膜8上。此夕卜，有機電致發光元件6設置在配線5上。在顯示區域AR1，進一步配置有覆蓋有機電致發光元件6的密封膜9a、9b和9c。在端部區域AR2，也在顯示區域AR1附近在端子3上疊層有密封膜％’和9c。此外，在端部區域AR2的端子3露出的部分，隔著各向異性導電膜10疊層有柔性印刷基板11。
[0057]參照圖3對有機電致發光元件6進行說明。圖3是有機電致發光元件的截面示意圖。如圖3所示，有機電致發光元件6包括電極13a(第一電極)、有機電致發光層14和電極13b (第二電極)。電極13a通過在覆蓋配線5的絕緣膜12a設置的開口部分與配線5電連接。在配置在電極13a上的有機電致發光層14的周圍設置有邊緣罩15，覆蓋電極13a的端部。電極13b覆蓋有機電致發光層14和邊緣罩15。
[0058]實施方式1的柔性顯示裝置la，在電極13a為具有光透射性或光半透射性的電極、且電極13b為具有光反射性的電極的情況下，成為從配線5側射出光的底部發光型。此外，在電極13a為具有光反射性的電極、且電極13b為具有光透射性或光半透射性的電極的情況下，成為從密封膜9a側射出光的頂部發光型。以下對頂部發光型的情況進行說明。
[0059]接著，參照圖4-1?4-5對實施方式1的柔性顯示裝置的制造方法進行說明。圖4-1?4-5是在沿圖1中的線段A-A’的截面表示實施方式1的柔性顯示裝置的制造流程的截面示意圖。
[0060](A)吸熱層和聚酰亞胺層的形成
[0061]如圖4-1的(A)所示，首先，在作為臨時的支承基板的玻璃基板16的主面上的顯示區域AR1和端部區域AR2形成吸熱層17。作為吸熱層17，例如通過濺射方式形成厚度為10nm?50nm的鉬(Mo)膜。接著，以覆蓋吸熱層17的方式，例如利用旋涂法、狹縫涂敷法或絲網印刷法，形成由聚酰亞胺的前體構成的膜。
[0062]另外，在形成由聚酰亞胺的前體構成的膜之前，出于改善潤濕性