技術總結
本發明公開了一種微波等離子體粉體處理裝置，包括安裝于角度調節架上的裝置體，所述裝置體包括管式微波等離子體源，管式微波等離子體源由石英、陶瓷或耐熱玻璃介質制成的介質管，矩形波導的一端連接微波源，其另一端連接可調節短路板，介質管一端與水冷金屬法蘭相連接，另一端與矩形波導的H面相連接。本發明用石英管式微波等離子體源，增添放置處理粉體的石英制成的旋轉鼓杯，構成一種微波等離子體粉體處理裝置，用這種裝置，將納米級或微米級的金剛石粉體、石墨烯粉體、立方氮化硼粉體或其他無機物粉體放置入旋轉鼓杯，在管式微波等離子體源的高密度等離子體區域進行表面刻蝕、凈化、接枝、沉積等功能化處理。
技術研發人員：鄔欽崇;鄔明旭;全峰
受保護的技術使用者：深圳優普萊等離子體技術有限公司
文檔號碼：201710124267
技術研發日：2017.03.03
技術公布日：2017.05.10