技術總結
本實用新型公開一種承載治具，其是用于等離子體除膠系統。承載治具包括承載板、第一止擋件、第二止擋件、鎖固件以及彈性件。承載板具有相對的上表面與下表面以及貫穿上表面及下表面的第一貫孔。第一止擋件可移動地配置于上表面上，并且具有第二貫孔。第二止擋件配置于下表面上，并且具有第三貫孔。鎖固件貫穿第一貫孔、第二貫孔以及第三貫孔。彈性件套設于鎖固件并且承頂于鎖固件與第一止擋件之間。第一止擋件與第二止擋件之間適于夾持承載板及容置于其中的基板。
技術研發人員：朱健祥;劉永安;張歸武;孫奇;楊中賢
受保護的技術使用者：健鼎（湖北）電子有限公司
文檔號碼：201620723264
技術研發日：2016.07.08
技術公布日：2016.12.14