檢查裝置的制作方法

本發明涉及對裝配于電路基板的元件進行檢查的檢查裝置。

背景技術：

在專利文獻2、3中記載有具備探頭并通過該探頭的接觸來測定元件的電特性的檢查裝置。在專利文獻1中記載有從兩端夾持載置于保持臺的元件來測定電特性的檢查裝置。在該檢查裝置中，從送風口部28沿著保持臺的V槽供給空氣，將處于該V槽上的測定后的元件向導入口部7′傳送。并且，將不合格品廢棄，合格品使用于向電路基板的裝配。

而且，在專利文獻4記載的檢查裝置中，連接有接地線的接地用探針122經由插口123、換言之被絕緣而設于殼體120。當電路基板與接地用探針122的前端接觸時，電路基板被接地。

專利文獻1：日本特公昭52-30703號公報

專利文獻2：日本實開平1-76100號公報

專利文獻3：國際公開第2014/155657小冊子

專利文獻4：日本特開平11-242064號公報

技術實現要素：

本發明的課題是在能夠自動地測定元件的電特性的檢查裝置中實現電特性的測定精度的提高。

本發明的檢查裝置包括：殼體；保持臺，能夠相對于殼體移動；一對測定件，把持被保持于該保持臺的元件，并能夠測定電特性；及 接地線，與殼體的表面連接。由于在殼體上連接接地線，因此能良好地進行檢測裝置的接地，能良好地進行元件s的除電。其結果是，能夠實現元件的電特性的測定精度的提高。

附圖說明

圖1是包含本發明的一實施方式的檢查裝置的裝配機的立體圖。

圖2是上述檢查裝置的主要部分的立體圖。

圖3是上述檢查裝置的主要部分的剖視圖。

圖4(a)是上述檢查裝置的局部俯視圖。圖4(b)是概念性地表示接地線的連接狀態的圖。

圖5是上述檢查裝置包含的空氣回路圖。

圖6是概念性地表示上述裝配機的控制裝置的圖。

圖7(a)是表示上述控制裝置的存儲部中存儲的LCR測定程序的流程圖。圖7(b)是在上述檢查裝置中測定LCR的情況下的時間圖。

圖8是表示上述控制裝置的存儲部中存儲的元件適當判定程序的流程圖。

圖9是表示上述檢查裝置的工作的圖。圖9(a)是表示初始狀態的圖，圖9(b)是表示夾緊狀態的圖，圖9(c)是表示測定狀態的圖，圖9(d)是表示廢棄狀態的圖。

圖10是從與圖2不同的角度觀察上述檢查裝置的立體圖。

具體實施方式

以下，基于附圖，詳細說明包含本發明的一實施方式的檢查裝置的裝配機。

圖1所示的裝配機是將元件向電路基板裝配的結構，包括裝置主體2、電路基板搬運保持裝置4、元件供給裝置6、頭移動裝置8等。

電路基板搬運保持裝置4是將電路基板P(以下，簡稱為基板P)以水平的姿勢搬運并保持的結構，在圖1中，將基板P的搬運方向設 為x方向，將基板P的寬度方向設為y方向，將基板P的厚度方向設為z方向。y方向、z方向分別是裝配機的前后方向、上下方向。上述x方向、y方向、z方向相互正交。元件供給裝置6是供給向基板P裝配的電子元件(以下，簡稱為元件)s的結構，包括多個帶式供料器14等。頭移動裝置8是保持裝配頭16并使裝配頭16在x、y、z方向上移動的結構，裝配頭16具有吸附并保持元件s的吸嘴18。

而且，附圖標記20表示相機。相機20是拍攝由吸嘴18保持的元件s的結構，基于由相機20拍攝到的圖像，來判定元件s是否為裝配于電路基板P的預定的元件。附圖標記22表示檢查裝置。檢查裝置22是測定并檢查元件s的電特性的結構。測定元件s的電特性，并判定測定出的電特性與JOB信息包含的與元件s相關的信息(電特性)是否一致，即，與下面的作業使用的預定的元件s具備的電特性是否一致。

作為元件s的電特性，L(電感)、C(電容)、R(電阻)、Z′(阻抗)等相當于此，通過檢查裝置22來測定它們中的1個以上。

檢查裝置22經由廢物箱26而設于電路基板搬運保持裝置4的主體。廢物箱26與檢查裝置22由廢棄通路28連接，但是測定了電特性的元件s經由廢棄通路28而收容于廢物箱26。檢查裝置22以能夠進行高度調整的方式設于廢物箱26。如圖2、10所示，底座部30以能夠升降的方式與廢物箱26卡合，主體29通過包含螺栓及螺母的連接部31(參照圖3、4(a)、10)而固定于底座部30，這些底座部30及主體29被保持為能夠一體升降。而且，在主體29、底座部30分別設有能夠與廢棄通路28連通的開口29a、30a(參照圖3、4)。

如圖2～4(a)、10所示，檢查裝置22包括：(i)上述主體29及底座部30；(ii)能夠保持元件s的保持臺32；(iii)由定子34及動子36構成的一對測定件37；(iv)使保持臺32移動的保持臺移動裝置40；(v)使動子36相對于定子34接近/遠離的動子移動裝置41； (vi)作為電特性檢測部的LCR檢測部42等。在本實施例中，元件s在兩端部具有電極，能夠通過一對測定件37來把持。作為元件s，例如，被稱為方形芯片的結構相當于此。

保持臺32包括元件載置部44和保持元件載置部44的載置部保持體46。在元件載置部44的上表面形成V槽44c，來載放元件s。由于設為V形狀，因此能高精度地決定元件s的位置。

元件載置部44可以設為由具有導電性、耐磨損性且氧化難以進展的材料制造的結構。元件載置部44經由多個具有導電性的部件而與底座部30電連接，但是通過將底座部30接地而元件載置部44也接地。在本實施例中，元件載置部44與載置部保持體46抵接，且通過連接部47進行固定，并且，載置部保持體46經由止動件80(參照圖3)而與主體29抵接，主體29通過連接部31而固定于底座部30。并且，載置部保持體46、止動件80、主體29、底座部30、連接部31、47等具有導電性。因此，元件載置部44被接地。

這樣，元件載置部44由具有導電性的材料制造且被接地，由此能夠進行元件載置部44載置的元件s的除電。而且，元件載置部44由具有耐磨損性的材料制造，由此能夠抑制元件載置部44的磨損，并提高耐久性。此外，由氧化難以進展的材料、即作為金屬的氧化覆膜的非動態皮膜形成的材料來制造，由此能夠使元件載置部44難以生銹。能夠使銹難以附著于元件s等，能夠抑制元件s的電特性的測定精度的下降。例如，元件載置部44可以通過鋁合金或不銹鋼材料等來制造。

定子34、動子36分別具有彼此相向的相向面34f、36f，通過這一對相向面34f、36f來把持元件s。定子34經由定子保持體55而固定于主體29。動子36以能夠一體移動的方式保持于動子保持體56，能夠相對于定子34接近/遠離。在本實施例中，相向面36f的截面呈三角形形狀，相向面36f能夠沿V槽44c移動。換言之，動子36的相向面36f 的形狀設為大致與V槽44c對應的形狀，動子36的相向面36f、定子34的相向面34f及保持臺32的V槽44c位于大致同一高度。因此，無論元件s處于V槽44c內的何處，通過一對相向面34f、36f都能夠把持元件s。

而且，在本實施例中，動子36是沿y方向(移動方向)伸長的長度部件，在后退端處保持于動子保持體56。而且，與包含相向面36f的前端部相比，后部成為不具有比前端部沿x方向露出的部分的形狀。其結果是，保持臺32與動子36彼此能夠相對移動，保持臺32能夠向動子36的相向面36f的前方移動或向后方移動。

此外，形成包括由動子36和定子34構成的一對測定件37、LCR檢測部42、省略圖示的電源裝置等的電路58。向上述定子34與動子36之間供給電流并檢測流動的電流，基于上述的關系通過LCR檢測部42來測定元件s的電特性。LCR檢測部42并不局限于檢測L、C、R的檢測部，可以設為檢測L、C、R、Z′等表示電特性的物理量中的1個以上的結構。另外，圖2～4的附圖標記58a、b是一對測定件37向電路58的連接部。

在保持臺32安裝罩部50。罩部50包括相互沿x方向分隔而在V槽44c的兩側分別設置的一對罩用板部52、54。罩用板部52、54是分別設置在保持臺32的定子34側且沿y方向及z方向、即保持臺32、動子36的移動方向及上下方向延伸的結構，呈板狀部件彎曲的形狀。罩用板部52在俯視觀察下呈槽形，包括底板部52a和沿x方向分隔而設置在底板部52a的兩側的側板部52b、52c。底板部52a呈下部彎曲的形狀，在側視觀察下呈L字形，在上部安裝于元件載置部44的定子34側的側面。而且，在保持臺32的前進端位置，底板部52的下部位于定子保持體55的上方，側板部52b位于定子34的外側且定子保持體55的上方，側板部52c位于比側板部52b靠外側的位置且定子保持體55的外側。側板部52c的上下方向的尺寸比側板部52b的上下方向 的尺寸大，下端部延伸至主體29的開口29a附近。罩用板部54相對于V槽44c而安裝在罩用板部52的相反側的載置部保持體46。罩用板部54在保持臺32的前進端位置處，位于定子保持體55的外側。罩用板部54呈沿上下方向彎曲的形狀，下端部延伸至主體29的開口29a附近。

而且，側板部52c、罩用板部54的y方向的尺寸設為在定子34與動子36相互遠離的情況下的至少一時期從x方向能覆蓋一對相向面34f、36f之間的空間的大致整體的大小。

另外，如后所述，罩部50發揮防止空氣的擴散并防止由于空氣的噴出而落下的元件s的飛散的功能。

在定子側的部件{例如，定子34的上部或定子保持體55的定子34的上方的部分或主體29}形成有與動子36的相向面36f相向的空氣通路60的開口60a。空氣通路60包括如圖3所示大致沿y方向延伸的空氣噴出通路60s、形成于主體29的內部通路60h等。空氣噴出通路60s隨著接近動子36而向下方傾斜地延伸，在動子36處于遠離定子34的位置的情況下，延長線k以到達動子36的相向面36f的部分R的上方或部分R內的狀態延伸。部分R是把持動子36的相向面36f的元件s的頻度高的部分，可以稱為把持部。空氣從斜上方與相向面36f的延長線k交叉的部分接觸。

在空氣通路60連接有氣缸64、70。而且，在空氣通路60的氣缸64、70的下游側的部分設有電離器62。電離器62是產生電暈放電而使空氣離子化的結構，能向相向面36f供給離子化的空氣。

保持臺移動裝置40包括固定地設于主體29或底座部30的作為驅動源的氣缸64。在氣缸64的活塞桿66(參照圖5)連結有載置部保持體46。氣缸64在缸殼體的內部包含由活塞分隔而成的2個空氣室64a、 64b，在2個空氣室64a、64b與空氣源68、空氣通路60、過濾器(大氣)之間設有電磁閥裝置69。電磁閥裝置69可以包括1個以上的電磁閥，例如如圖5所示，包括方向切換閥、可變節流部。通過方向切換閥來控制載置部保持體46的移動方向，通過可變節流部來控制載置部保持體46的移動/停止。通過電磁閥裝置69，使空氣室64b與空氣源68連通并使空氣室64a與空氣通路60連通，由此使保持臺32前進(圖3的箭頭F方向的移動)，空氣室64b向大氣敞開且空氣室64a與空氣源68連通，由此使保持臺32后退(圖3的箭頭B方向的移動)。

動子移動裝置41包括固定地設于主體29的作為驅動源的氣缸70。在氣缸70的活塞桿71連結有能夠與動子一體移動的動子保持體56。在氣缸70的殼體的內部由活塞分隔而成的2個空氣室70a、70b，經由電磁閥裝置72而連接于空氣源68、空氣通路60、過濾器(大氣)。電磁閥裝置72是包含1個以上的電磁閥的結構，例如，可以設為包含方向切換閥、可變節流部等的結構。通過電磁閥裝置72，使空氣室70b與空氣通路60連通并使空氣室70a與空氣源68連通，由此使動子36后退，空氣室70a向大氣敞開并使空氣室70b與空氣源68連通，由此使動子36前進。

在本實施例中，由氣缸64、70、空氣通路60(包括空氣噴出通路60s)、開口60a、罩部50、電離器62等構成空氣供給裝置73。空氣供給裝置73也是動子供給部、驅動源連動型供給部。而且，相向面36f與供給對象面相對應。

另外，電磁閥裝置69、72的構造并不局限于本實施例的情況。例如，可以設為包含1個三位閥的結構或包含多個開閉閥的結構等。而且，設置電離器62的情況并非不可或缺。

在動子保持體56與主體29之間設有沿y方向延伸的一對引導桿74、75，在保持臺32與動子保持體56之間設有沿y方向延伸的一對 引導桿76、77。引導桿74、75的一端部連結于動子保持體56，另一端部以能夠滑動的方式與主體29卡合。引導桿76、77在一端部連結于載置部保持體46，并且以能夠滑動的方式與動子保持體56卡合。通過上述引導桿74、75、76、77，保持臺32與動子36相對于主體29能夠沿y方向彼此相對移動，并且保持臺32與動子36能夠沿y方向彼此相對移動。

而且，如圖3所示，在動子保持體56的定子側設有止動件82，在主體29的保持定子保持體55的部分設有止動件80。止動件82是規定動子保持體56與保持臺32(載置部保持體46)的接近限度的結構，止動件80是規定定子34(主體29)與保持臺32(載置部保持體46)的接近限度的結構。

在本實施例中，引導桿74～77由保持臺移動裝置40、動子移動裝置41共有，止動件80、82可認為是保持臺移動裝置40的構成要素。

另外，如圖3所示，動子36處于后退端位置的情況下的止動件82的前端部與保持臺32處于前進端位置的情況下的載置部保持體46之間的間隙Ld是容許動子36與保持臺32的相對移動的距離。

該裝配機包括控制裝置100。如圖6所示，控制裝置100包括以計算機為主體的控制器102和多個驅動電路104。控制器102包括執行部110、存儲部112、輸入輸出部114等，在輸入輸出部114，分別經由驅動電路104而連接有基板搬運保持裝置4、元件供給裝置6、頭移動裝置8，并且連接有動子移動裝置41、保持臺移動裝置40的電磁閥裝置69、72等。而且，連接有LCR檢測部42、顯示器116、動子位置傳感器118、保持臺位置傳感器120、檢測吸嘴18的高度的吸嘴高度傳感器122等。在存儲部112存儲有由圖7(a)的流程圖表示的LCR檢測程序等多個程序、表。而且，通過設于控制器102的計時器124進行時間的計測。

另外，在本實施例中，說明了通過控制裝置100控制裝配機整體的情況，但是基板搬運保持裝置4、元件供給裝置6、頭移動裝置8等也可以分別由相互獨立的控制裝置控制。

而且，如圖4(a)、4(b)、10所示，主體29的表面29f與底座部30的表面30f由接地線132連接。其結果是，主體29與底座部30通過基于連接部31的內部導通和基于接地線132的表面導通這兩方來導通。

接地線132的一端部132h設置在主體29的安裝有止動件80的部分的附近的上表面29f。該部分是距電路58的連接部58a近的部分。換言之，一端部132h被設置成來自元件載置部44的V槽44c的電力流動的路徑{44c→44→46→80→29→132h(29f)}的長度Lc(例如，可以設為路徑內的沿著部件的表面的長度。以下同樣)和來自連接部58a的電力流動的路徑{58a→55→29→132h(29f)}的長度La都為設定長度Lth(＝第一設定長度＝第二設定長度)以下的部分。

而且，接地線132的另一端部132b安裝于底座部30的上表面30f。與主體29的安裝一端部132h的部分相比，底座部30的連接另一端部132b的部分是來自元件載置部的V槽44c、連接部58a的電力流動的路徑Lcb{44c→44→46→80→29→30→132b(30f)}、Lab{58a→55→29→30→132b(30f)}較長的部分。

Lcb>Lc

Lab>La

而且，由于接地線132的長度Le設為接地線設定長度Ls以下，因此能夠快速地使電力從主體29向底座部30流動。

而且，在底座部30的下端部30d也連接有接地線136。由此，大氣中的離子等逃散，實現檢查裝置22的整體的除電。

而且，為了使電流從保持臺32朝向底座部30順暢地流動，優選利用具有導電性的相同材料，對元件載置部44、載置部保持體46、止動件80、主體29、底座部30進行表面處理，或者利用相同材料對它們和連接部31進行表面處理。通過利用具有導電性的相同材料進行表面處理，能夠減小電位差，并使直至接地為止的期間的電力的流動良好。例如，可以通過無電解鎳進行表面處理。

另外，但是不一定必須對夾設于元件載置部44與底座部30之間的多個部件全部利用相同材料進行表面處理。例如，可以對于夾設在元件載置部44與底座部30之間的多個部件實施表面處理，以使電位從元件載置部44朝向底座部30降低。在這種情況下，能夠使元件s帶有的電力快速逃散。另一方面，當電位從元件載置部44朝向底座部30降低或升高時，電力難以流動，因此不優選。相對于此，若電位差減小，則能夠使電流順暢地流動。

以下，對裝配機的工作進行說明。

在進行換產調整的情況下等進行新的帶式供料器14的安設、帶式供料器14的更換等的情況下等，測定該帶式供料器14保持的元件s的電特性，檢查該帶式供料器14(或元件s)是否適當。而且，其檢查結果顯示于顯示器116。在不適當的情況下，更換帶式供料器14。

元件s的電特性通過圖7(a)的流程圖表示的LCR測定程序的執行來測定。而且，保持臺32、動子36的動作、保持臺位置傳感器118、動子位置傳感器120的狀態如圖7(b)所示。

檢查裝置22始終處于圖9(a)所示的初始狀態。動子36處于后 退端位置，保持臺32處于前進端位置、即與止動件80抵接的位置。在此狀態下，保持臺32處于通過內部導通等而接地的狀態。通過內部導通和基于接地線132等的表面導通而處于被接地的狀態。在保持臺32的V槽44c的上方不存在動子36，處于能夠載置元件s的狀態。而且，罩部50(沿x方向分隔地)位于定子34的兩側。動子位置傳感器120、保持臺位置傳感器118都處于接通狀態。

在步驟1(以下，簡稱為S1。關于其他的步驟也同樣)中，判定是否作出了元件s的電特性的測定指令。在進行換產調整的情況下等，作出LCR等的電特性的測定指令。當作出測定指令時，在S2中，使裝配頭16移動，例如，新安裝的帶式供料器14保持的元件s由吸嘴18拾取，載放在保持臺32的V槽44c上。可知通過使吸嘴18下降并將元件s釋放，從而將元件s載置于V槽44c。

并且，當通過吸嘴高度傳感器122檢測到吸嘴18將元件s載置在V槽44c上而到達上升端的情況時，在S3中，通過電磁閥裝置72的控制，使動子36前進。動子36的前端的相向面36f沿著元件載置部44的V槽44c前進，通過相向面36f和定子34的相向面34f將元件s夾緊{圖9(b)}。在本實施例中，從后退端位置至夾緊元件s為止的動子36的行程L₁(參照圖3)根據夾緊的元件s的大小等來決定，并預先決定。從動子36的前進開始時經過了動子36前進行程L₁所需的時間即前進時間之后，通過可變節流部的控制等，使動子36的前進停止。前進時間由計時器124計測。通過動子36的前進而動子位置傳感器120斷開。該保持臺32處于前進端位置，使動子36前進，通過一對相向面34f、36f將元件s夾緊的狀態為夾緊狀態。

在S4中，通過電磁閥裝置69的控制，保持臺32后退至與止動件82抵接為止{圖9(c)}。保持臺32后退行程L₂(參照圖3)，將保持臺位置傳感器118從接通切換成斷開(L₂＝Ld-L₁)。通過電磁閥裝置69的控制，使保持臺32的后退停止。在本實施例中，行程L₂設為設 定值Lx以上的大小(L₂≥Lx)，使元件載置部44與元件s分離設定值Lx以上。具有導電性的部件(元件載置部44)在電特性的測定時若位于元件s的附近，則發生靜電感應，或者產生渦電流等，無法準確地檢測電特性。相對于此，若使元件載置部44與元件s分離設定值Lx以上(若元件載置部44與元件s的最短距離為設定值Lx以上)，則能夠減小以元件載置部44位于元件s的附近的情況為起因而產生的電特性的測定誤差。這樣，設定值Lx是元件載置部44難以對元件s的電特性的測定造成影響的距離，是預先通過實驗等而取得的值。該狀態是測定狀態。

在S5中，從通過吸嘴18釋放元件s并載放于V槽44c時開始，等待作為設定時間的除電時間的經過。帶式供料器14保持的元件s分別通過以伴隨著帶式供料器14的搬運的振動、與物體的接觸等為起因而產生的靜電從而處于帶電的狀態。該帶電的元件s由具有導電性的材料制造，且通過載置于接地的元件載置部44而被除電，或者通過向空氣中的放電而被除電。除電時間是將推定為具有元件s的容量的靜電除去所需的時間，可以預先通過實驗等求出，或者基于元件s的大小、特性等而理論性地求出等。當元件s載放于元件保持臺44起的經過時間達到除電時間時，S5的判定成為“是”，在S6中測定元件s的電特性。

并且，當經過電特性的測定所需的時間即測定時間時，執行S7，但是測定時間可以設為根據元件s的種類等而決定的時間，也可以設為恒定的時間。無論如何都預先取得而存儲。

當測定時間經過而元件s的電特性的測定結束時，在S7中，通過電磁閥裝置72的控制使動子36后退。當到達后退端時，動子位置傳感器120接通。在S8中，通過電磁閥裝置69的控制，使保持臺32后退{圖9(d)}。保持臺32從測定狀態至與處于后退端位置的動子36的止動件82抵接為止的行程為L₁。因此，可知保持臺32在經過了后退行程L₁所需的時間即后退時間之后，與止動件82抵接。該狀態是廢 棄狀態。

當保持臺32后退至與止動件82抵接時，在S9中，通過電磁閥裝置69的控制，使氣缸64中的空氣室64b與空氣源68連通，使空氣室64a與空氣通路60連通。當保持臺32前進而抵碰于止動件80時，保持臺位置傳感器118接通。保持臺32位于一對相向面34f、36f之間且上方為空間。因此，能夠載置元件s。該狀態為初始狀態。

通過動子36的相向面36f遠離定子34的相向面34f，在它們之間把持的元件s落下，經由開口29a、30a、廢棄通路28而收容于廢物箱26。而且，在動子36后退時，使氣缸70的空氣室70a與空氣通路60連通，罩用板部52、54分別位于一對相向面34f、36f之間的空間的x方向的兩側。

伴隨著動子36的后退，從空氣室70a流出的空氣從開口60a朝向動子36的相向面36f而從斜上方供給，但是被供給空氣的空間、換言之一對相向面34f、36f之間的空間由罩部50從x方向覆蓋。空氣主要抵碰于相向面36f之后，沿著相向面36f向下方流動。因此，假設元件s未從相向面36f落下，即使附著于部分R，也能夠使其良好地落下。而且，空氣在罩部50的內部呈渦狀地流動，因此即使假設元件s附著于定子34的相向面34f，在保持臺32上存在元件s的情況下，也能夠使元件s良好地向廢棄通路38落下。另外，在保持臺32后退時，使動子36的相向面36f相對前進，由此處于V槽44c上的元件s從保持臺32落下。通過以上所述，廢棄狀態可以認為是使元件良好地落下的狀態。

而且，通過設置罩部50，也能夠避免落下的元件s飛散。罩用板部52的側板部52c、罩用板部54的下端部伸長至主體29的開口29a的附近，因此能夠將元件s良好地從開口29a經由廢棄通路28向廢物箱收容。另一方面，在供給離子化的空氣的情況下，動子36、定子34 的相向面36f、34f能夠電中和，能夠提高如下的元件s的電特性的測定精度。

此外，在氣缸64中，在保持臺32前進時(S9)，使空氣室64a與空氣噴出通路60s連通。即使在從廢棄狀態向初始狀態轉變的情況下，也能夠向動子36的相向面36f供給空氣。其結果是，能夠良好地進行動子36的相向面36f的除電。

另一方面，將測定出的電特性與JOB信息包含的電特性進行比較，判定該元件s是否為應使用于從此開始進行的作業(JOB)的元件，其判定結果顯示于顯示器116。

在S21中，取得該元件s的電特性的測定值，在S22中，從如下的JOB的JOB信息讀入對應的信息。在S23中，將它們進行比較，判定是否一致。無論是一致的情況還是不一致的情況，判定結果都顯示于顯示器116。假設在不一致的情況下，進行與適當的帶式供料器更換等的作業。

如以上所述，在本實施例中，元件載置部44由具有導電性的材料制造并被接地。其結果是，在電特性的測定前，能夠良好地進行元件載置部44載放的元件s的除電。另一方面，當元件s帶電時，難以測定元件s的阻抗。相對于此，在本實施例中，由于良好地進行元件s的除電，因此能夠良好地測定元件s的阻抗。

而且，主體29與底座部30由接地線132連接，因此在保持臺32處于初始位置的期間，元件載置部44通過內部導通和表面導通這兩方而成為始終被接地的狀態。其結果是，能夠將元件載置部44保持的元件s快速且可靠地除電。而且，在底座部30的下端部30d連接有接地線136。其結果是，能夠使大氣中的離子等良好地逃散，能夠實現檢查裝置22整體的除電。其結果是，能夠進一步提高元件s的電特性的測 定精度。具體而言，得到即使是低阻抗元件也能夠高精度地測定元件s的阻抗等的效果。而且，若對于夾設在元件載置部44與底座部30之間的部件、連接部等通過具有導電性的相同材料實施表面處理，則能夠快速地進行元件s的除電。

此外，能夠與動子36的后退并行地使元件s向廢棄通路38落下，與通過不同的工序進行動子的后退和元件s的送出的情況相比，能夠縮短電特性的測定所需的時間。

如以上所述，在本實施例中，主體29對應于第一殼體，底座部30對應于第二殼體，由上述主體29、底座部30等構成殼體。而且，檢查裝置22的初始狀態下的保持臺32的位置(前進端位置)是初始位置，保持臺32與止動件80分離的位置是退避位置。

另外，也可以使一對測定件的兩方能夠移動，將保持臺固定于主體。即使在這種情況下，也是一對測定件把持保持臺上載放的元件s，通過使一對測定件移動，能夠使保持臺與元件s分離設定值以上。

而且，保持臺也可以在上下方向上能夠移動。即使在這種情況下，在元件s由一對測定件夾緊的狀態下，也能夠使保持臺與元件s分離設定值以上。

此外，可以將空氣噴出通路以具有大致沿x方向開設的開口的狀態設于檢查裝置22的主體29的側部。換言之，可以去除罩用板部52、54中的任一方(例如，去除罩用板部54)，在該去除的一側可以設置沿x方向具有開口的空氣噴出通路。其結果是，空氣沿著相向面34f、36f(沿xz方向延伸的面)朝向罩用板部52供給，由此，能夠使附著于一對相向面34f、36f的元件s落下。

而且，也可以將與主體29的表面連接的接地線132直接接地。

此外，在元件s的電特性的測定后，也可以使動子36及保持臺32同時后退。

而且，動子位置傳感器120、保持臺位置傳感器118并非不可或缺。例如，通過基于計時器124的計測而能夠控制電磁閥裝置69、72等，本發明除了前述實施方式記載的形態之外，能夠基于本領域技術人員的知識以實施了各種變更、改良的方式實施。

(1)一種檢查裝置，包含于拾取由元件供給裝置供給的元件而向電路基板裝配的裝配機，其特征在于，包括：能夠保持元件的保持臺；能夠彼此接近/遠離并且夾持上述元件而能夠測定該元件的電特性的一對測定件；使上述保持臺移動的保持臺移動裝置；及控制該保持臺移動裝置的保持臺移動控制裝置，并且，上述保持臺移動控制裝置包括測定時控制部，該測定時控制部從上述一對測定件把持由上述保持臺保持的上述元件的夾緊狀態開始，使上述保持臺與上述元件分離設定值以上，形成為能夠測定上述元件的電特性的測定狀態。

保持臺既能夠沿著與一對測定件的接近/遠離方向平行的方向移動，也能夠沿著交叉的方向移動。例如，在保持臺是具有導電性的結構的情況下，設定值可以設為保持臺難以對元件的電特性的測定造成影響的距離。

(2)根據(1)項記載的檢查裝置，其中，上述保持臺具有導電性。

(3)根據(1)項或(2)項記載的檢查裝置，其中，上述一對測定件包括彼此相向且能夠與上述元件接觸的一對相向面，通過使上述一對相向面彼此接近來保持上述元件，通過彼此遠離而放開上述元件，上述保持臺移動裝置包括廢棄時控制部，該廢棄時控制部從上述測定 狀態開始，使上述保持臺移動，由此形成為在上述彼此遠離的一對相向面之間的下方區域不存在上述保持臺的廢棄狀態。

(4)根據(3)項記載的檢查裝置，其中，上述保持臺移動控制裝置包括準備時控制部，該準備時控制部從上述廢棄狀態開始，使上述保持臺向上述下方區域內移動，形成為上述保持臺能夠保持上述元件的初始狀態。

(5)根據(3)項或(4)項記載的檢查裝置，其中，上述裝配機包括與上述檢查裝置連接的廢棄通路，該檢查裝置的主體具有能夠與上述廢棄通路連通的開口。

開口的位置、大小至少能夠以在廢棄狀態下在一對相向面之間的下方處于開口狀態的方式決定。

(6)根據(1)項至(5)項中任一項記載的檢查裝置，其中，該檢查裝置包括電特性取得裝置，該電特性取得裝置向上述一對測定件之間供給電流并檢測流過上述一對測定件之間的電流，取得上述元件的上述電特性，該電特性取得裝置包括延遲型測定部，在從上述保持臺載置有上述元件的時刻開始經過了設定時間以上的情況下，該延遲型測定部開始上述元件的上述電特性的測定。

設定時間例如可以設為元件的除電所需的時間即除電時間。除電時間可以是通過元件決定的時間，也可以是與元件無關地預先確定的時間。

另外，也可以將保持臺上載置元件的時間作為除電時間。

(7)根據(1)項至(6)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述一對測定件在主體包括固定的定子和相對于上述定子能夠相對移動 的動子，該檢查裝置包括使上述動子相對于上述定子移動的動子移動裝置和通過控制該動子移動裝置而使上述一對測定件彼此接近/遠離的動子移動控制部。

(8)根據(7)項記載的檢查裝置，其中，該檢查裝置包括連結機構，該連結機構將上述動子與上述保持臺連結成能夠彼此相對移動。

例如，動子可以設為呈與該動子的移動方向平行地伸長的長度形狀。而且，保持臺包括位于動子的前端的前方的情況和位于后方的情況。

(9)根據(1)項至(8)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述保持臺具有橫截面呈V字狀的槽即V槽，上述一對測定件的至少一方的前端部的橫截面呈與上述V槽對應的三角形形狀。

(10)一種檢查裝置，包含于拾取由元件供給裝置供給的元件而向電路基板裝配的裝配機，其特征在于，包括：能夠保持元件的保持臺；能夠彼此接近/遠離并且夾持上述元件而能夠測定該元件的電特性的一對測定件；使上述一對測定件與上述保持臺彼此相對移動的相對移動裝置；及控制該相對移動裝置的相對移動控制裝置，并且，上述相對移動控制裝置包括測定時控制部，該測定時控制部從上述一對測定件把持由上述保持臺保持的上述元件的夾緊狀態開始，使上述元件與上述保持臺分離設定值以上，形成為能夠測定上述元件的電特性的測定狀態。

本項記載的檢查裝置可以采用(1)項至(9)項中任一項記載的技術特征。

相對移動裝置可以設為(a)將保持臺固定并使一對測定件移動的裝置、或者(b)將一對測定件中的一方固定并使一對測定件的另一方 和保持臺移動的裝置等。作為(a)的情況，相當于例如在通過一對測定件將由保持臺保持的元件夾緊的狀態下，使一對測定件相對于保持臺相對移動，使元件與保持臺分離設定值以上的情況。

(11)一種檢查方法，在檢查裝置中進行與元件的電特性相關的檢查，上述檢查裝置設于拾取由元件供給裝置供給的上述元件而向電路基板裝配的裝配機，并包括(i)能夠保持元件的保持臺和(ii)能夠彼此接近/遠離且夾持上述元件而能夠測定該元件的電特性的一對測定件，其特征在于，包括：夾緊工序，使一對測定件把持由上述保持臺保持的元件；及測定工序，使上述保持臺與由上述一對測定件把持的上述元件分離設定值以上，來測定上述元件的電特性。

本項記載的檢查方法在(1)項至(10)項中任一項記載的檢查裝置中執行。

(12)根據(11)項記載的檢查方法，其中，包括：廢棄工序，在上述測定工序執行后，使上述一對測定件彼此遠離，使上述保持臺從上述一對測定件的彼此相向的相向面之間的下方區域退避，使上述元件向下方落下；及準備工序，使上述保持臺侵入到上述一對測定件的彼此相向的相向面之間的間隔的下方區域，形成為能夠保持上述元件的初始狀態。

在廢棄工序中，一對測定件的遠離和保持臺的退避可以依次進行，也可以并行進行。

(13)一種檢查裝置，包含于拾取由元件供給裝置供給的元件而向電路基板裝配的裝配機，其特征在于，包括：具有導電性并保持元件的保持臺；及電特性取得裝置，把持由上述保持臺保持的上述元件，并且在上述元件與上述保持臺分離的狀態下取得上述元件的電特性。

本項記載的檢查裝置可以采用(1)項至(12)項中任一項記載的技術特征。

(14)根據(1)項至(13)項中任一項記載的檢查裝置，其中，通過使上述一對測定件彼此接近而一對相向面夾持上述元件，測定該元件的電特性，通過使上述一對測定件彼此遠離而從上述一對相向面放開上述元件，該檢查裝置包括空氣供給裝置，在上述一對測定件遠離的情況下，該空氣供給裝置向上述一對相向面中的至少一方的供給對象面供給空氣。

使一對測定件遠離的情況相當于彼此遠離的期間、遠離期間的一部分或全部行程、遠離開始時、遠離結束時等。

(15)根據(14)項記載的檢查裝置，其中，上述空氣供給裝置包括使上述空氣離子化的電離器，將上述離子化的空氣向上述供給對象面供給。

(16)根據(14)項或(15)項記載的檢查裝置，其中，上述空氣供給裝置包括具有與上述供給對象面相向的開口的空氣通路。

(17)根據(16)項記載的檢查裝置，其中，上述空氣通路包括隨著接近上述供給對象面而向下方傾斜的空氣噴出通路。

(18)根據(17)項記載的檢查裝置，其中，上述空氣噴出通路的傾斜角度設為上述空氣與上述供給對象面的把持上述元件的部分的上方接觸的角度。

(19)根據(14)項至(18)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述一對測定件在主體包括固定的定子和與該定子能夠接近/遠離的動子，上述空氣供給裝置包括動子供給部，在上述動子遠離上述定子的 情況下，該動子供給部向上述供給對象面即上述動子的相向面供給上述空氣。

(20)根據(19)項記載的檢查裝置，其中，該檢查裝置包括動子移動裝置，該動子移動裝置具備動子用缸，通過該動子用缸的工作而使上述動子相對于上述定子接近/遠離，上述空氣供給裝置包括驅動源連動型供給部，該驅動源連動型供給部將伴隨著上述動子遠離上述定子而從上述動子用缸流出的空氣向上述動子的相向面供給。

(21)根據(1)項至(20)項中任一項記載的檢查裝置，其中，該檢查裝置包括罩部，在上述一對相向面遠離的狀態下該罩部將上述一對相向面之間覆蓋。

罩部是覆蓋一對相向面之間的大部分的結構，未必非要覆蓋一對相向面之間的整體，可以是以具有些許的間隙的狀態覆蓋的結構。優選在一對相向面彼此遠離的情況下的至少一時期從兩側覆蓋一對相向面之間的整體。

(22)根據(1)項至(21)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述罩部安裝于上述保持臺，在上述保持臺處于后退端位置的狀態下，從側方覆蓋上述一對相向面之間的大部分。

(23)根據(1)項至(22)項中任一項記載的檢查裝置，其中，該檢查裝置包括殼體和與該殼體的表面電連接的接地線。

(24)根據(23)項記載的檢查裝置，其中，上述殼體包括：第一殼體，能夠與上述保持臺電導通；及第二殼體，是與上述第一殼體不同的部件，且比上述第一殼體遠離上述保持臺，上述接地線的一端部與上述第一殼體的表面連接，另一端部與上述第二殼體的表面連接。

(25)根據(24)項記載的檢查裝置，其中，上述保持臺能夠移動在能夠保持上述元件的初始位置和從上述初始位置退避的退避位置之間進行移動，上述保持臺在上述初始位置處于與上述第一殼體電導通的狀態。

保持臺的初始位置是指檢查裝置處于初始狀態的情況下的保持臺的位置。退避位置是未處于與第一殼體電導通的狀態的位置，例如，檢查裝置處于測定狀態、廢棄狀態的情況下的保持臺的位置等相當于此。

(26)根據(24)項或(25)項記載的檢查裝置，其中，上述第一殼體與上述第二殼體通過由導電材料構成的連接部而相互連結。

(27)根據(26)項記載的檢查裝置，其中，利用相同的材料，對上述第一殼體、上述第二殼體及上述連接部各自的表面進行處理。

(28)根據(23)項至(27)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述保持臺包括載置上述元件的元件載置部，上述接地線連接于上述殼體的從上述元件載置部流動的電流的路徑為第一設定長度以下的部分。

(29)根據(23)項至(28)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述殼體具有將上述一對測定件與電路連接的電路連接部，上述接地線連接于上述殼體的從上述電路連接部流動的電流的路徑為第二設定長度以下的部分。

第一設定長度與第二設定長度可以設為相同長度。

(30)根據(23)項至(29)項中任一項記載的檢查裝置，其中，上述接地線的長度設為接地線用設定長度以下。

附圖標記說明

22：檢查裝置

26：廢物箱

28：廢棄通路

29：主體

29a：開口

30：底座部

30a：開口

31：連接部

32：保持臺

34：定子

36：動子

34f、36f：相向面

40：保持臺移動裝置

41：動子移動裝置

42：LCR檢測部

44：元件載置部

44c：V槽

50：罩部

72：空氣供給裝置

100：控制裝置

118：動子位置傳感器

120：保持臺位置傳感器

124：計時器。