量為兩個以上的多臂機器人。此處,在手腕的關節部2020、機器手2000的內部,除包括壓電驅動裝置10之外,還包括向力傳感器、陀螺儀傳感器等各種裝置供電的電力線、傳遞信號的信號線等,需要非常多的布線。因此,在關節部2020、機器手2000的內部配置布線是非常困難的。然而,上述實施方式的壓電驅動裝置10的驅動電流比通常的電動馬達、現有的壓電驅動裝置小,因此在關節部2020(尤其是臂2010的前端的關節部)、機器手2000那樣小的空間也能夠配置布線。
[0075]圖12是表示利用了上述壓電驅動裝置10的送液栗2200的一個例子的說明圖。送液栗2200在殼體2230內設置有儲液部2211、管部2212、壓電驅動裝置10、轉子2222、減速傳遞機構2223、凸輪2202以及多個指部2213、2214、2215、2216、2217、2218、2219。儲液部2211是用于收納作為輸送對象的液體的收納部。管部2212是用于輸送從儲液部2211送出的液體的管。壓電驅動裝置10的突起部20以按壓于轉子2222的側面的狀態被設置,從而壓電驅動裝置10驅動轉子2222旋轉。轉子2222的旋轉力經由減速傳遞機構2223被傳遞至凸輪2202。指部2213?2219是用于關閉管部2212的部件。若凸輪2202旋轉,則通過凸輪2202的突起部2202A依次向放射方向外側推壓指部2213?2219。指部2213?2219從輸送方向上游側(儲液部2211側)開始依次關閉管部2212。由此,將管部2212內的液體依次向下游側輸送。這樣一來,能夠以較高的精度輸送極少量的液體,并且能夠實現小型的送液栗2200。此外,各部件的配置并不限定于圖示的配置。另外,也可以不具備指部等部件,而是構成為被設置于轉子2222的球狀體等關閉管部2212。上述送液栗2200能夠活用于向人體投放胰島素等藥液的投藥裝置等。此處,使用上述實施方式的壓電驅動裝置10,由此驅動電流比現有的壓電驅動裝置小,因此能夠抑制投藥裝置的耗電。因此,在電池驅動投藥裝置的情況下,特別有效。
[0076].變形例:
[0077]此外,本發明并不限定于上述實施例、實施方式,在不脫離其主旨的范圍內,能夠在各種方式中實施,例如也能夠進行如下變形。
[0078].變形例1:
[0079]在上述實施方式中,在基板120之上形成有第一電極130、壓電體140以及第二電極150,但也可以省略基板120,在振動板200之上形成第一電極130、壓電體140以及第二電極150。
[0080]以上,根據幾個實施例對本發明的實施方式進行了說明,但上述發明的實施方式是為了容易理解本發明,并不限定本發明。當然,能夠將本發明不脫離其主旨及技術方案地進行變更、改進,并且本發明包括其等價物。
[0081]附圖標記說明:
[0082]10...壓電驅動裝置;20...突起部;50...轉子;51...中心;100、100a、100b...壓電振動體;110...壓電兀件;120...基板;130...第一電極;140...壓電體;150...第二電極;151、152...布線;200...振動板;210...振動體部;211...第一面;212...第二面;220...連接部;230...安裝部;240...螺釘;300...驅動電路;310、312、314、320...布線;2000...機器手;2003...把持部;2010...臂;2012...連桿部;2020...關節部-,2022...手腕轉動部;2050...機器人-,2200...送液栗-,2202...凸輪;2202A...突起部;2211...儲液部;2212...管部;2213...指部;2222...轉子;2223...減速傳遞機構;2230...箱體。
【主權項】
1.一種壓電驅動裝置,其特征在于,具備: 振動板,其具有第一面以及第二面; 第一壓電振動體,其具有第一壓電元件并被配置于所述振動板的第一面; 第二壓電振動體,其具有第二壓電元件并被配置于所述振動板的第二面;以及 突起部,其被設置于所述振動板且與被驅動體接觸, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體具有相對于所述振動板相互非對稱的非對稱性。2.根據權利要求1所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 在所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體中將第一方向設為長邊方向并且將與所述第一方向正交的第二方向設為短邊方向時, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括在從由所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體構成的層疊構造的層疊方向亦即第三方向觀察所述層疊構造時,所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體被配置于在所述第一方向與所述第二方向中的至少一個方向相互偏移的位置的情況。3.根據權利要求2所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體被配置于在所述第一方向相互偏移5 μ m?30 μ m的位置的情況。4.根據權利要求2或3所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體被配置于在所述第二方向相互偏移5 μ m?30 μ m的位置的情況。5.根據權利要求1所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 在所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體中將第一方向設為長邊方向并且將與所述第一方向正交的第二方向設為短邊方向時, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括在從由所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體構成的層疊構造的層疊方向亦即第三方向觀察所述層疊構造時,所述第一壓電元件與所述第二壓電元件被配置于在所述第一方向與所述第二方向中的至少一個方向相互偏移的位置的情況。6.根據權利要求1所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 在所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體中將第一方向設為長邊方向并且將與所述第一方向正交的第二方向設為短邊方向時, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括在從由所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體構成的層疊構造的層疊方向亦即第三方向觀察所述層疊構造時,所述第一壓電元件與所述第二壓電元件在所述第一方向與所述第二方向中的至少一個方向長度相互不同的情況。7.根據權利要求1所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述第一壓電振動體具有第一基板、和被形成于所述第一基板之上的所述第一壓電元件, 所述第二壓電振動體具有第二基板、和被形成于所述第二基板之上的所述第二壓電元件, 在所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體中將第一方向設為長邊方向并且將與所述第一方向正交的第二方向設為短邊方向時, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括在從由所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體構成的層疊構造的層疊方向亦即第三方向觀察所述層疊構造時,所述第一基板與所述第二基板被配置于在所述第一方向與所述第二方向中的至少一個方向相互偏移的位置的情況。8.根據權利要求1所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述第一壓電振動體具有第一基板、和被形成于所述第一基板之上的所述第一壓電元件, 所述第二壓電振動體具有第二基板、和被形成于所述第二基板之上的所述第二壓電元件, 在所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體中將第一方向設為長邊方向并且將與所述第一方向正交的第二方向設為短邊方向時, 所述第一壓電振動體與所述第二壓電振動體的所述非對稱性包括在從由所述第一壓電振動體、所述振動板以及所述第二壓電振動體構成的層疊構造的層疊方向亦即第三方向觀察所述層疊構造時,所述第一基板與所述第二基板在所述第一方向與所述第二方向中的至少一個方向長度相互不同的情況。9.根據權利要求1?8中任一項所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述壓電體的厚度為0.5 μπι以上20 μm以下。10.根據權利要求1?8中任一項所述的壓電驅動裝置,其特征在于, 所述壓電體的厚度為0.5 μπι以上3 μπι以下。11.一種機器人,其特征在于,具備: 多個連桿部; 關節部,其連接所述多個連桿部;以及 壓電驅動裝置,其為使所述多個連桿部在所述關節部彎曲的權利要求1?10中任一項所述的壓電驅動裝置。12.—種機器人的驅動方法,其特征在于, 是驅動權利要求11所述的機器人的驅動方法, 所述壓電驅動裝置的驅動電路將交流電壓或者對交流電壓施加有偏置電壓的電壓作為驅動電壓施加于所述壓電驅動裝置的所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件,由此使所述多個連桿部在所述關節部彎曲。13.一種電子部件搬運裝置,其特征在于,具備: 把持裝置,其把持電子部件; 至少一個工作臺,其用于使所述把持裝置移動;以及 壓電驅動裝置,其為使所述工作臺移動的權利要求1?10中任一項所述的壓電驅動裝置。14.一種壓電驅動裝置的驅動方法,其特征在于, 是權利要求1?10中任一項所述的壓電驅動裝置的驅動方法, 將交流電壓或者對交流電壓施加有偏置電壓的電壓作為驅動電壓施加于所述壓電驅動裝置的所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件。
【專利摘要】本發明提供壓電驅動裝置、機器人以及它們的驅動方法。在突起部與被驅動體接觸的位置,突起部的磨損集中,從而導致突起部過度消耗。壓電驅動裝置具備:振動板;第一壓電振動體,其被配置于振動板的第一面;第二壓電振動體,其被配置于振動板的第二面;以及突起部,其被設置于振動板且與被驅動體接觸。第一壓電振動體與第二壓電振動體具有相對于振動板相互非對稱的非對稱性。
【IPC分類】H02N2/12, H02N2/10
【公開號】CN105375814
【申請號】CN201510477169
【發明人】橋本泰治
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年8月6日
【公告號】US20160049886