清洗裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體器件制造領域，尤其涉及清洗裝置。
【背景技術】
[0002]在集成電路以及超大集成電路制造工藝中，光刻步驟一般是將光刻膠涂抹在玻璃片或金屬膜上，然后進行烘烤，曝光，顯影后得到所需要的有抗蝕劑保護的圖形。接著進行刻蝕工藝，將圖形轉移到晶圓表面上，然后將覆蓋在晶圓上的保護膜除去。
[0003]通常，在制造半導體器件的工藝中使用十幾次光刻工藝，它包括去掉光刻膠掩膜版沒有掩蓋部分的光刻膠，在半導體襯底的傳導層上形成光刻圖形，然后刻蝕掉傳導層上光刻膠圖形沒有掩蓋的部分，從而形成傳導層的圖形，在傳導層圖形形成后，光刻膠圖形必須用光刻膠剝離劑從傳導層去除。有專門的清洗裝置來去除光刻膠基板上的光刻膠，如圖1所示，在清洗裝置中設置有多個供液槽10，以及多個與供液槽10相連接的剝離槽20，其中，剝離槽上還設置有噴嘴(圖中未示出)，用來將光刻膠剝離液噴到基板上，以清洗基板上的光刻膠，供液槽10用來存儲光刻膠剝離液。供液槽10與剝離槽20之間設置有第一管路30，第一管路30上設置有第一栗體50，用于將供液槽10中的液體輸送至剝離槽20，同時剝離槽20上還設置有回收裝置，清洗過光刻膠的光刻膠剝離液通過回收裝置將基板上流下來的液體回收到供液槽10中。此外供液槽10還設置有出液口、與回收裝置對應的回收口和進液口，在清洗供液槽10或者為供液槽10更換光刻膠剝離液時，設置于第二管路40上的第二栗體60將水或者光刻膠剝離液輸送至供液槽。
[0004]現有技術的清洗裝置，由于在前的供液槽10最先剝離光刻膠，大部分剝離的光刻膠都在靠前的供液槽10中，以致多個供液槽10中的光刻膠剝離液渾濁度由前到后依次遞減，在需要換液時為了節省藥液和清洗供液槽10，需順序將后一個供液槽10中的液體排到前一個供液槽1中，例如，將第四個供液槽1中的液體排到第三個供液槽1，第三個供液槽10的液體排到第二個供液槽10，第二個供液槽10的液體排到第一個供液槽10，因此液體更換過程中，每個供液槽10設置一個第二栗體60，從而才能將后一個供液槽10的液體排入前一個供液槽10中。這種方式，需要為每個供液槽10單獨設置第二栗體60，從而提高了生產成本。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型提供清洗裝置，以克服現有技術中需要為每個供液槽單獨設置栗，從而提高了生產成本的技術問題。
[0006]本實用新型提供清洗裝置，包括多個供液槽、多個剝離槽、第一管路、第二管路、第一栗體和第二栗體，
[0007]多個所述供液槽的設置位置依次升高，所述剝離槽與所述供液槽的數量相等，所述供液槽由低到高與沿工序方向排布的多個所述剝離槽一一對應；
[0008]所述第一管路的一端與所述供液槽連通，另一端與所述剝離槽連通，所述第一栗體設置在所述第一管路上；
[0009]所述第二管路設置于相鄰兩供液槽之間，且所述第二管路的一端與所述位置較高的供液槽連通，另一端與位置較低的供液槽連通；
[0010]所述第二管路上設置有閥門，位置最高的所述供液槽的進液口與所述第二栗體連接。
[0011]優選地，所述供液槽設置有進液口、第一出液口和第二出液口，所述第一出液口與所述第一管路連接，相鄰兩個所述供液槽中高度較低的一個所述供液槽的進液口與高度較高的所述供液槽的第二出液口通過第二管路連接。
[0012]優選地，所述第一出液口的高度不高于所述第二出液口的高度。
[0013]優選地，所述進液口設置于所述供液槽的上部。
[0014]優選地，所述第一管路與所述第二管路連接，且所述第一管路與所述第二管路的連接處，位于相鄰兩個所述供液槽中位置較高的所述供液槽與閥門之間。
[0015]優選地，所述供液槽的底部設置有能夠開閉的第三出液口。
[0016]優選地，所述供液槽上還設置有與所述第三出液口相匹配的閥門。
[0017]優選地，在所述第一管路上還設置有過濾器。
[0018]優選地，所述閥門為自動閥門。
[0019]優選地，所述供液槽上還設置有液位傳感器。
[0020]本實用新型的技術方案，多個供液槽的設置位置依次升高，所述剝離槽與所述供液槽的數量相等，所述供液槽由低到高與沿工序方向排布的多個所述剝離槽一一對應；只需要為位置最高的供液槽設置連接一個栗體，利用位置最高的供液槽與其他的供液槽之間的液位差所產生液壓即可為其他供液槽灌液，從而簡化整個裝置，節約生產成本。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為現有技術的清洗裝置的示意圖；
[0023]圖2為本實用新型的清洗裝置的其中一個實施例的示意圖；
[0024]圖3為圖2所示清洗裝置的供液槽的放大示意圖；
[0025]圖4為本實用新型的清洗裝置的另一實施例的示意圖。
【具體實施方式】
[0026]為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0027]圖2為本實用新型的清洗裝置的其中一個實施例的示意圖，如圖2所示，本實施例的清洗裝置，具體可以包括多個供液槽10、多個剝離槽20、第一管路30、第二管路40、第一栗體50和第二栗體60。
[0028]多個供液槽10的設置位置依次升高，剝離槽20與供液槽10的數量相等，供液槽10由低到高與沿工序方向排布的多個剝離槽20—一對應;第一管路30的一端與供液槽10連通，另一端與剝離槽20連通，第一栗體50設置在第一管路30上;第二管路40設置于相鄰兩供液槽10之間，且第二管路40的一端與位置較高的供液槽連通，另一端與位置較低的供液槽連通;第二管路40上設置有閥門401，位置最高的供液槽的進液口與第二栗體60連接。
[0029]當需要為供液槽10換液體時，為清楚地介紹本實用新型，以供液槽10的數目為3個為例，設置位置由低到高依次稱為第一供液槽10a、第二供液槽1b和第三供液槽10c。相應的剝離槽20可以稱為第一剝離槽20a、第二剝離槽20b和第三剝離槽20c。每個剝離槽20上均設置有噴嘴和回收裝置，由噴嘴噴出的藥液與待清洗設備上的光刻膠反應時，使光刻膠溶解，并沿待清洗設備流到剝離槽20上的回收裝置，回收裝置朝向供液槽的一面設置有開口，相應地，供液槽10也設置有與開口對應的回收口，使溶解的光刻膠由回收裝置流回供液槽10，防止污染環境。
[0030]由于第一剝離槽20a、第二剝離槽20b和第三剝離槽20c從前到后排列，當清洗待清洗設備，例如基板時，位置處于最前面第一剝離槽20a所剝離的光刻膠最多，其所對應的第一供液槽I Oa里面的藥液最渾濁，第二供液槽I Ob中的藥液次渾濁，位置最高的供液槽中的藥液最不渾濁。為節省藥液，通常將第一供液槽1a中的藥液排出，將第二供液槽1b中的藥液排到第一供液槽10a，第三供液槽1c的藥液排到第二供液槽10b，為第三供液槽1c灌入新的藥液。
[0031]本實施例在清洗待清洗設備時，由于供液槽10的水平位置不一定高于剝離槽20，需要通過壓力設備將藥液輸送至剝離槽20，所以在供液槽10和剝離槽20之間的第一管路30上設置第一栗體50。在使用時，啟動第一栗體50，使供液槽10中的藥液通過第一管路30輸送至剝離槽20，再接收由剝離槽20的回收裝置回收的溶解的光刻膠。當第一供液槽I Oa的藥液嚴重渾濁，將第一供液槽1a的藥液排出，打開第二管路40上的閥門，以及第二栗體60。由于第二供液槽1b的設置位置高于第一供液槽1a，二者中的液體存在液位差，這樣第二供液槽I Ob中的藥液流入第一供液槽I Oa，第三供液槽I Oc中的藥液流入第二供液槽I Ob，第二栗體60將輸送管路中的藥液輸送至第三供液槽1c，當第一供液槽1a中的藥液注滿，或者將要注滿時，關于第一供液槽1a和第二供液槽1b之間的閥門，停止向第一供液槽1a注液，當第二供液槽1b中的藥液注滿或者將要注滿時，將第二供液槽1b與第三供液槽1c之間的閥門關閉，停止向第二供液槽1b注液，當第三供液槽1c中的藥液注滿或將要注滿時，關閉第二栗體60，從而完成了換藥液的