一種硅片頂針的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能生產設備領域,具體涉及一種硅片頂針。
【背景技術】
[0002]近年來,光伏電池產業發展迅速。據2004年數據分析,各種太陽能電池中硅基太陽能電池占總廣量的98 %,晶體娃太陽能電池占總廣量的84.6 %,多晶娃太陽能電池占總量的56%。中國政府已經把新能源產業列為戰略性新興產業,未來10年投資將達3萬億,將為新能源產業創造難得的發展機遇。光伏發電是本世紀最有市場潛力、最具發展前景的新能源。光伏產業以其技術先進性、資源無限性和綠色環保性,成為全球產業革命的核心、發展低碳經濟的方向、應對能源危機和實現可持續發展的重要途徑。在太陽能光伏電池制備過程中蝕刻,硅片頂針常用于硅片的搬送和消除靜電。因此,硅片頂針的設計,對太陽能光伏電池的發展有重要影響。
[0003]中國專利CN200710094069.5公開了一種硅片頂針,包括:接觸部、升降部,接觸部具有彈性組件;接觸部通過彈性組件嵌設、套設或直接連接在所述升降部的頂部。該發明的彈性組件可以是由壓縮金屬彈簧組成,或者由可變形的導體彈片組成,也可以用重力方式實現等。但是該硅片頂針在使用過程中容易對硅片造成損傷,同時不能確保硅片被可靠托起,有時會出現硅片沒有托起,造成硅片損壞,影響生產。
[0004]因此急需一種能將硅片可靠托起、不損傷硅片的硅片頂針。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型針對上述問題,提供一種能將硅片可靠托起、不損傷硅片的硅片頂針。
[0006]本實用新型解決上述問題所采用的技術方案是:
[0007]—種硅片頂針,其中,包括:導向套,所述導向套呈圓柱形;頂出裝置,所述頂出裝置包括導桿、若干個連接體和若干個引腳,所述導桿可上下移動地設置在導向套內,所述連接體固定設置在導桿的上部,所述引腳固定設置在連接體的一端。
[0008]進一步地,所述引腳包括依次相連接的第一桿、第二桿和第三桿,所述第一桿與第二桿之間的夾角為A。
[0009]更進一步地,所述夾角A為165°?175°。
[0010]更進一步地,所述夾角A為170°。
[0011]更進一步地,所述引腳還包括依次相連接的第一支撐體和第二支撐體,所述第一支撐體連接在第三桿的末端,且向導桿中心延伸,所述第二支撐體連接在第一支撐體的末端,且向導桿中心延伸。
[0012]更進一步地,所述第三桿呈弧形,所述第二支撐體呈弧形。
[0013]更進一步地,所述第一支撐體和第二支撐體的表面上均設有若干個凸起。
[0014]更進一步地,所述連接體具有過渡壁和凹槽,所述過渡壁位于連接體的下部,所述凹槽位于連接體的上部。
[0015]本實用新型的優點是頂出裝置的引腳能夠確保硅片平穩的、可靠地被托起,避免發生跳片現象,能有效防止損壞硅片。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和優點之外,本實用新型還有其它的目的、特征和優點。下面將參照圖,對本實用新型作進一步詳細的說明。
【附圖說明】
[0017]構成本說明書的一部分、用于進一步理解本實用新型的附圖示出了本實用新型的優選實施例,并與說明書一起用來說明本實用新型的原理。在附圖中:
[0018]圖1是本實用新型的剖視圖;
[0019]圖2是本實用新型的頂出裝置的結構示意圖;
[0020]圖3是本實用新型的頂出裝置的局部結構示意圖;
[0021]圖4是本實用新型的頂出裝置的另一局部結構示意圖;以及
[0022]圖5是本實用新型的頂出裝置的又一局部結構示意圖。
[0023]其中,圖中標記為:
[0024]1為吸盤、11為容納腔、2為硅片、3為頂出裝置、31為導桿、32為連接體、321為過渡壁、322為凹槽、33為引腳、331為第一桿、332為第二桿、333為第三桿、334為第一支撐體、335為第二支撐體、336為凸起、4為導向套。
【具體實施方式】
[0025]以下結合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明,但是本實用新型可以由權利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0026]實施例一:
[0027]參考圖1至圖5,如圖1所示的一種硅片2頂針,其中,包括導向套4和頂出裝置3,導向套4安裝在吸盤1下端的定位孔內,導向套4呈圓柱形,導向套4與定位孔過盈配合,以便安裝牢靠,吸盤1內設有一容納腔11,容納腔11貫穿吸盤1的上面,且與定位孔相貫通,如圖1和圖2所示,頂出裝置3包括導桿31、若干個連接體32和若干個引腳33,導桿31可上下移動地設置在導向套4內,導桿31的上部延伸至容納腔11,連接體32固定設置在導桿31的上部,連接體32和引腳33均位于容納腔11內,引腳33固定設置在連接體32的一端,硅片2位于容納腔11的上開口,引腳33抵擋在硅片2的下部。
[0028]如圖3和圖4所示,引腳33包括依次相連接的第一桿331、第二桿332和第三桿333,第一桿331連接在連接體32的一端,第二桿332的一端連接在第一桿331的末端,第二桿332的另一端連接在第三桿333的首端,引腳33還包括依次相連接的第一支撐體334和第二支撐體335,第一支撐體334連接在第三桿333的末端,且向導桿31中心延伸,第二支撐體335連接在第一支撐體334的末端,且向導桿31中心延伸,第二桿332沿導桿31的軸向和徑向向外延伸,第三桿333的首端高于導桿31的上部,第一桿331與第二桿332之間的夾角為A,引腳33可避免發生硅片2跳片現象,確保硅片2被頂出時平穩的、可靠地被托起,能有效防止損壞娃片2。
[0029]優選地,夾角A為165°,使得頂出時硅片2受力緩慢,確保平穩的、可靠地被托起硅片2。
[0030]優選地,第三桿333呈弧形,第二支撐體335呈弧形,弧形結構使得頂出硅片2時接觸緩慢,避免沖擊力,防止損壞硅片2。
[0031]第一支撐體334和第二支撐體335的表面上均設有若干個凸起336,以確保硅片2在被頂出時不滑落,并且可靠地抵擋在第一支撐體334和第二支撐體335的表面上。
[0032]如圖5所示,優選地,連接體32具有過渡壁321和凹槽322,過渡壁321位于連接體32的下部,凹槽322位于連接體32的上部,過渡壁321和凹槽322的設置防止硅片2被托起時連接體32斷裂。
[0033]實施例二:
[0034]參考圖1至圖5,如圖1所示的一種硅片2頂針,其中,包括導向套4和頂出裝置3,導向套4安裝在吸盤1下端的定位孔內,導向套4呈圓柱形,導向套4與定位孔過盈配合,以便安裝牢靠,吸盤1內設有一容納腔11,容納腔11貫穿吸盤1的上面,且與定位孔相