一種基于鏈式氧化法提升太陽電池抗pid效應的裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于太陽能電池制造領域，涉及一種基于鏈式氧化法生長氧化硅層的裝置，以提尚晶體娃太陽電池抗PID效應的能力。
【背景技術】
[0002]PID效應(Potential Induced Degradat1n)又稱電勢誘導衰減。晶娃光伏組件在高溫、高濕和負電壓作用下，組件中太陽電池與玻璃、封裝材料之間存在漏電流，大量電荷聚集在電池片表面，導致太陽電池的光電轉換效率降低，最終使光伏組件性能嚴重低于設計標準。可見，PID效應嚴重影響光伏電站的發電功率，這對客戶來說是難以接受的。
[0003]一些國家和地區已逐步開始把抗PID效應作為組件的關鍵要求。提升晶硅光伏組件抗PID效應的方法有多種。提升晶硅電池表面氮化硅薄膜的折射率，這使氮化硅薄膜的致密性增強，可阻擋電荷迀移至硅表面，對提升組件抗PID效應有一定的效果。但這種方法會一定程度的降低晶硅太陽電池的轉換效率。另一種方法是采用無鋁邊框或非金屬邊框的組件設計方案，這種方法可避免施加到組件上的負偏壓，但這一方案會降低組件的機械強度。
[0004]上述兩種方案雖然能提高組件的抗PID效應，但都會對組件產生其它的不利因素。經大量研究發現，在晶硅電池的硅片和氮化硅薄膜之間生長一層氧化硅薄膜是一種更好的提升組件抗PID效應的方法。這層氧化硅薄膜既不會影響晶硅電池的光電轉換效率，又可阻擋電荷迀移到硅片表面而避免或減輕PID效應的發生。所以，在晶硅電池中的硅片與氮化硅薄膜之間生長氧化硅薄膜的技術如何應用于太陽電池生產線是一個亟待解決的問題。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的就是解決現有技術中存在的上述問題，提供一種基于鏈式氧化法提升太陽電池抗PID效應的裝置，該裝置能夠在沉積氮化硅薄膜之前于硅片表面迅速生長氧化硅薄膜，提升光伏電池抗PID效應，延長其使用壽命。
[0006]為實現上述目的，本實用新型的技術解決方案是:一種基于鏈式氧化法提升太陽電池抗PID效應的裝置，其包括混合器發生裝置和勻流板，混合器發生裝置包括臭氧發生器、壓縮空氣輸送管道和混合器；臭氧發生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接混合器，壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接混合器，混合器通過混合氣輸送管道連接混和氣輸出端；混合器輸出端連接在勻流板的進氣口 ；勻流板內為空心，其一端開有進氣口，下端壁上均勻開有多個出氣孔；勻流板安裝在電池片制作設備的刻蝕裝置和PECVD裝置之間的硅片傳輸軌道上方，出氣孔正對硅片傳輸軌道；臭氧發生器上安裝有控制臭氧產生量的裝置。
[0007]上述所述的壓縮空氣輸送管道上安裝有減壓閥A和流量計A。能夠控制進入混合器的壓力和流量，使進入的壓縮空氣的壓力和流量可調。
[0008]上述所述的臭氧發生器有氧氣進口和臭氧出口，氧氣通過氧氣輸送管道連接臭氧發生器的氧氣進口，且氧氣輸送管道上安裝有減壓閥B和流量計，220V交流電源通過電源開關連接變頻器的電源輸入端，變頻器的電源輸出端連接臭氧發生器的電源端口 ；控制臭氧產生量的裝置包括臭氧濃度檢測儀和工作環境臭氧濃度檢測裝置；所述的臭氧濃度檢測儀和流量計B串聯連接后并聯在所述的混合氣輸送管道上，臭氧濃度檢測儀信號輸出端連接在所述變頻器的一個控制端上，控制變頻器功率的輸出；工作環境臭氧濃度檢測裝置的進氣端和出氣端分別由管道連接工作空間內的環境空氣，其信號輸出端連接在所述變頻器的另一個控制端上和報警器，當環境空氣中的臭氧濃度超出安全標準時控制變頻器停止工作，并輸出報警。臭氧濃度檢測儀監測混合氣輸送管道內混合氣中臭氧的濃度，濃度高時，控制變頻器的頻率變低，使臭氧發生器產生的臭氧減少，濃度低時，控制變頻器的頻率變高，使臭氧發生器產生的臭氧增加，以使進入勻流板內的混合氣的臭氧濃度達到設定的要求。工作環境臭氧濃度檢測裝置檢測到環境中的空氣含有臭氧的量超標后，控制變頻器斷電，并報警，使整個電池片制作設備停止運行，檢查漏氣的原因，維修維護，消除故障后，電池片制作設備繼續工作。
[0009]上述所述的混合器為一負壓發生器；負壓發生器有三個口，相對的兩壁上分別開有的壓縮空氣進氣口和混合氣出口，側壁上開有臭氧進氣口 ；壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接負壓發生器的壓縮空氣進氣口，臭氧發生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接負壓發生器的臭氧進氣口，負壓發生器的混合氣出口連接混和氣輸出端。這樣在壓縮空氣的流動過程中，在臭氧進氣口處形成負壓，自動將臭氧吸入負壓發生器中與壓縮空氣混合輸出。負壓發生器自動將臭氧吸入，無需動能，減少了能耗。
[0010]本實用新型的勻流板安裝在電池片制作設備的刻蝕裝置和PECVD裝置之間的硅片傳輸軌道上方，硅片通過該裝置的勻流板下方時可迅速在硅片表面生長一層氧化硅薄膜。最終PID實驗檢測結果證明，經過該裝置處理而制成的電池組件PID測試功率衰減可控制在1%以內，完全符合TUV和IEC關于PID檢測功率小于5%的質量要求。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0012]圖2為本實用新型中混合器發生裝置的外觀示意圖；
[0013]圖3為本實用新型的電氣原理圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的描述。
[0015]如圖1、圖2和圖3所示，本實施例包括混合器發生裝置2和勻流板I。混合器發生裝置2包括柜體21、臭氧發生器22、壓縮空氣輸送管道23和混合器