一種開啟前開式晶圓盒的工具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路工藝裝置領域，尤其涉及一種開啟前開式晶圓盒的工具。
【背景技術】
[0002]半導體制造工藝對于生產廠區有嚴格的潔凈度要求，因為晶圓對于污染十分敏感，污染物往往會造成晶圓的缺陷，從而降低產品合格率，提高制造成本。在半導體制造過程中，在向各種處理裝置、檢查裝置等搬送晶圓時，為了減少對晶圓的污染，通常將待搬送晶圓置于前開式晶圓盒(Front Open Unit Pod，F0UP)中，通過搬送前開式晶圓盒來達到搬送晶圓的目的。
[0003]前開式晶圓盒作為一種搬送晶圓的裝置，是一個密閉型的容器，通過門的開啟與關閉來取放晶圓。參照附圖，圖1是前開式晶圓盒的示意圖，圖2是開啟前開式晶圓盒的門的鑰匙的示意圖，通過圖2中的鑰匙將圖1中前開式晶圓盒的門上的栓條調成水平，即可將門開啟。
[0004]因為開啟前開式晶圓盒的門的鑰匙與前開式晶圓盒分離，因此存在以下兩點不足之處:一是開啟FOUP不方便，FOUP門易脫落；二是鑰匙易丟失，給工作帶來很多不便。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型針對現有技術的局限性，開創性地提供一種開啟前開式晶圓盒的工具，使之能夠方便容易開啟F0UP，解決提供生產部門或涉及工程試驗要開啟FOUP的工程師在實際操作中碰到的問題。
[0006]本實用新型解決上述技術問題所采用的技術方案為:
[0007]提供一種開啟前開式晶圓盒的工具，其特征在于，所述前開式晶圓盒設置有門閂鎖，所述工具包括:
[0008]鑰匙，與所述門閂鎖匹配；
[0009]連接裝置，所述鑰匙可轉動地設置于所述連接裝置的一端；
[0010]活動把手，設置于所述連接裝置的另一端，所述活動把手通過所述連接裝置與所述鑰匙連接；以及
[0011 ] 將所述鑰匙插入所述門閂鎖的鎖孔后，通過握緊所述活動把手以利用所述連接裝置驅動所述鑰匙轉動，以開啟所述前開式晶圓盒。
[0012]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置包括:
[0013]雙導輪，通過一鋼絲帶與所述活動把手連接；
[0014]單導輪，所述鋼絲帶經由所述雙導輪通過所述單導輪與所述鑰匙連接；
[0015]鑰匙托，所述鑰匙固定設置在所述鑰匙托上，且所述鋼絲帶與所述鑰匙托連接；以及
[0016]通過握緊所述活動把手以利用所述鋼絲帶拉動所述鑰匙托來控制所述鑰匙的轉動。
[0017]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置還包括:
[0018]導向塊，所述鋼絲帶通過所述導向塊與所述雙導輪以及所述單導輪連接；
[0019]導向槽，所述導向塊在所述導向槽內上下滑動。
[0020]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述活動把手包括:
[0021]伸縮彈簧，當緊握所述活動把手時，所述伸縮彈簧通過所述鋼絲帶拉動所述導向塊在所述導向槽內向上滑動，則所述鋼絲帶拉動所述鑰匙托轉動，以帶動所述鑰匙轉動。
[0022]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述連接裝置還包括:
[0023]圓形固定盤，所述鑰匙托固定設置于所述圓形固定盤上；
[0024]兩個回位彈簧，分別設置在所述鑰匙托的兩端，所述回位彈簧的一端與所述鑰匙托固定連接，另一端均固定設置在所述固定盤的邊緣，以控制所述鑰匙托的轉動幅度。
[0025]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述鋼絲帶為不銹鋼材質。
[0026]優選的，上述的開啟前開式晶圓盒的工具，其中，所述鑰匙為不銹鋼材質。
[0027]上述技術方案具有如下優點或有益效果:本實用新型的一種開啟前開式晶圓盒的工具，通過將開啟前開式晶圓盒的鑰匙與控制鑰匙的活動把手一體式設計，通過連接裝置將鑰匙與活動把手連接，緊握活動把手，則連接裝置中的鋼絲帶帶動鑰匙轉動來開啟前開式晶圓盒，這一方案解決了傳統單獨的鑰匙易丟失，且開啟前開式晶圓盒之后FOUP門易脫落的問題。
【附圖說明】
[0028]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型及其特征、外形和優點將會變得更加明顯。需要注意的是，附圖中并未按照比例繪制相關部件，重點在于示出本實用新型的主旨。
[0029]圖1是前開式晶圓盒的示意圖；
[0030]圖2是現有技術中開啟如開式晶圓盒的鑰匙的不意圖；
[0031]圖3是本實用新型的一種開啟如開式晶圓盒的工具的不意圖；
[0032]圖4是本實用新型的連接裝置內部結構示意圖；
[0033]圖5是本實用新型的雙導輪結構示意圖；
[0034]圖6是本實用新型的單導輪結構示意圖；
[0035]圖7是本實用新型的鑰匙結構示意圖；
[0036]圖8是本實用新型的活動把手松弛(不需開啟)時連接裝置內部的結構圖；
[0037]圖9是本實用新型的活動把手握緊(開啟)時連接裝置內部的結構圖。
【具體實施方式】
[0038]下面結合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的說明，但是不作為本實用新型的限定。
[0039]參照圖3以及圖4，本實用新型的一種開啟前開式晶圓盒的工具，包括活動把手1、連接2以及鑰匙3，通過將鑰匙3插入前開式晶圓盒的門上的門閂鎖內并轉動鑰匙3以使門閂鎖由豎直狀態變為水平，從而開啟前開式晶圓盒的門；連接裝置2的一端連接鑰匙3，控制鑰匙3的轉動，另一端連接活動把手1，通過活動把手I緊握或松弛來控制鑰匙3的轉動。
[0040]結合參照圖4，連接裝置2內部，設置有三角導向塊22，該三角導向塊22在導向槽21內滑動。三角導向塊22通過一鋼絲帶27與設置在活動把手I內部的伸縮彈簧1