一種基板檢測裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]技術領域:
[0002]本發明涉及太陽能電池、平板顯示等真空設備領域內的基板檢測，尤其涉及一種應用于團簇型真空設備內的基板檢測裝置。
[0003]技術背景:
[0004]在對大面積基板進行處理加工的真空設備系統內，例如對于制備大面積薄膜太陽能電池或顯示平板的系統，為了提高設備產能，需要基板以較快的速度運行并且盡可能地提高其工作效率。由于真空設備系統內通常涉及到多個功能腔體的加工處理，使得基板不得不頻繁地在傳輸腔、工藝腔、負載腔等各腔體之間進出，而每次基板與承載基板的機械手之間的分離與再接觸都有可能造成基板偏離原來的初始位置，使基板無法精確定位，另一方面，由于真空設備內工藝腔的工藝溫度較高(200°C -500°C)，容易使得機械部件產生變形，也會影響到基板的定位精度。在生產中，這種基板無法準確定位的情況會直接影響設備運行的穩定性和安全性，并且容易引起功能腔體中基板工藝處理質量的下降。因此，基板在進出功能腔體前后必須對基板進行對定位檢測。
[0005]另外，當基板在真空設備中運行時，基板本身也很有可能因碰撞或者高溫等原因出現破損情況，因此需要對基板進行破損檢測，以能夠及時進行停機檢修。
[0006]一般而言，矩形基板的4個頂角上出現破損的概率較高并且當基板定位發生偏移時4個頂角也更容易被檢測，所以通常對基板的破損檢測和定位檢測通過4個頂點來實現。然而用于檢測的傳感器單價比較昂貴，若針對基板的每一個檢測工位都需要使用4個傳感器來進行檢測，則會導致設備成本的增加。因此，在保證完整檢測功能的情況下，提供一種減少傳感器使用量、降低設備成本的基板檢測裝置十分必要。
[0007]【實用新型內容】:
[0008]為了解決上述問題，本實用新型提供了一種基板檢測裝置，該基板檢測裝置主要用于對多邊形團簇型真空設備內的基板進行定位檢測和破損檢測，本實用新型傳輸腔內任意相鄰的兩個檢測工位中設置了一個共同的基板待檢測部位，并且對應于該共同待檢測部位設置對應一個傳感器，通過這種方法，能夠在保證該基板檢測裝置完整檢測功能的情況下，減少了傳感器使用量、從而降低設備成本。
[0009]本實用新型提供了一種基板檢測裝置，位于中央為多邊形傳輸腔的團簇型真空設備內，所述多邊形傳輸腔外接有2個或多個功能腔，內部具有與所述功能腔相對應的基板檢測工位，所述基板檢測裝置包含多套傳感器，所述傳感器包括位于所述傳輸腔的頂部或底部的發射部和位于所述傳輸腔的底部或頂部的接收部，至少一套傳感器可以正對于相鄰的兩個檢測工位中基板的某一待檢測部位。
[0010]可選地，所述基板檢測裝置用于對矩形基板進行檢測，所述傳感器的發射部和接收部對應于所述矩形基板的頂角位置。
[0011]可選地，所述多邊形傳輸腔外接有3個以上的功能腔，與所述功能腔相接的所述傳輸腔的邊為對應邊，則所述每相鄰的2個對應邊之間形成的夾角相同。
[0012]可選地，所述矩形基板包括第一邊長和第二邊長，所述第一邊長與基板進出功能腔的運動方向垂直，所述第二邊長與基板進出功能腔的運動方向平行。
[0013]可選地，在所述傳輸腔內部能夠構建一個以所述基板第一邊長的長度為邊長的內部正多邊形，其邊數應與所述功能腔之間形成的夾角相對應。
[0014]優選地，所述傳輸腔為正多邊形腔體，則以該正多邊形的中心為中心，以所述基板第一邊長的長度為邊長構建了一個內部正多邊形，所述內部正多邊形的邊數與所述傳輸腔邊數相同，在對應有所述檢測工位的所述內部正多邊形的頂點位置處設置有傳感器。
[0015]優選地，所述基板為面積大于Im2的矩形基板。
[0016]相對于現有技術，本實用新型的技術效果為:在連續型生產過程中，該基板檢測裝置能夠保證在實現基板定位檢測和破損檢測功能的情況下，減少傳感器使用量，降低設備成本。
[0017]【附圖說明】:
[0018]圖1為本實用新型的第一具體實施例的團簇型真空設備結構示意圖。
[0019]圖2為與圖1相對應的第一具體實施例的基板檢測裝置結構示意圖。
[0020]圖3為本實用新型的第二具體實施例的團簇型真空設備結構示意圖。
[0021]圖4為本實用新型的第三具體實施例的團簇型真空設備結構示意圖。
[0022]圖5為內部正多邊型為5邊形的團簇型真空設備結構示意圖。
[0023]圖6為內部正多邊型為7邊形的團簇型真空設備結構示意圖。
[0024]【具體實施方式】:
[0025]以下將結合附圖所示的具體實施例對本實用新型進行詳細描述。值得說明的是，下文所記載的實施例并不限制本實用新型，本領域的普通技術人員根據這些實施例所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本實用新型的保護范圍內。
[0026]實施例1:
[0027]圖1為本實用新型中一個具體實施例的結構示意圖，如圖所示，團簇型真空設備200包括了正六邊形的傳輸腔300，其外周接有六個功能腔100-105，所述功能腔可以是進料腔、出料腔、工藝腔、沉積腔、刻蝕腔、預熱腔、退火腔、冷卻腔、備用腔等各種不同類型的腔體，只要滿足基板的工作路徑為依次經過各相鄰腔體即可，若將與所述功能腔相接的所述傳輸腔的邊稱為對應邊，則所述每相鄰的2個對應邊之間形成的夾角相同，均為120°。在本實施例中，在所述傳輸腔的外周依次設置了進料腔/出料腔100，第一工藝腔101，第二工藝腔102，第三工藝腔103，第四工藝腔104，第五工藝腔105，當基板在團簇型真空設備200中進行加工處理時，首先從所述進料腔100進入傳輸腔300中，然后被送至第一工藝腔101進行第一次工藝，工藝完成后，基板又傳回傳輸腔300，然后再被送至第二工藝腔102進行第二次工藝，工藝完成后，基板又被傳回傳輸腔300，就這樣依次進行完后面幾個工藝腔的工藝處理后，基板最終從出料腔100傳送至真空設備200外。在本實施例中，所述基板為矩形基板。根據圖1所示，在傳輸腔300內對應于進料腔/出料腔100的位置為基板進料/出料檢測工位110，其包含有4個待檢測部位01，02，13，14，對于基板為矩形基板的情況，待檢測部位通常設置為矩形基板的四個頂角。同樣的道理，對應于第一至第五工藝腔101-105的位置分別為基板的第一至第五檢測工位111-115，這些檢測工位包含的基板待檢測部位標號03-18請參見圖1，此處不再一一贅述。需要注意的是，在所述傳輸腔300相鄰的兩個檢測工位所包含的基板待檢測部位中，總是有所述待檢測部位是重合的，例如，待檢測部位14既位于進料/出料檢測工位110中，也位于第一檢測工位111中；又如，待檢測部位15既位于第一工位111中，也位于第二檢測工位112中；同理待檢測部位16-18也均是位于兩個相鄰的檢測部位中。分析待檢測部位14-18的位置特點:若矩形基板的邊長分別為第一邊長和第二邊長，其中第一邊長與基板進出功能腔的運動方向垂直，第二邊長與基板進出功能腔的運動方向平行，則待檢測部位14-18構建了一個以傳輸腔300的中心為中心，所述基板第一邊長的長度為邊長的一個內部正六邊形。
[0028]本實用新型提供了一種基板檢測裝置，該裝置包含了與所述檢測工位110-115相匹配的多個傳感器，所述傳感器可以為激光傳感器或者其他傳感器。所述傳感器包括發射部和接收部，具體可參見圖2所示，所述傳感器的發射部40設置于所述傳輸腔300的頂部，所述傳感器的接收部50設置于所述傳輸腔300的底部，結合圖1與圖2，每一個傳感器的發射部和接收部均對應于基板的一個待檢測部位，即每一個傳感器的發射部或接收部的位置剛好位于一個待檢測部位的正上方或者正下方，針對矩形基板情況，所述傳感器的發射部和接收部對應于所述矩形基板的頂角位置。由于圖1中基板的待檢測部位為18個，則所述傳感器的個數也為18套，其中，待檢測部位13-18對應了 6套傳感器，這6個傳感器以內部正六邊形的方式設置于腔體頂部和底部，同樣地該正六邊形的邊長與基板第一邊長的長度相同，中心與傳輸腔300的中心在同一豎直線上。
[0029]在本實施例中，可以看出，在所述團簇型真空設備的連