密閉式晶圓傳送盒的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型是關于一種裝載晶圓的設備，特別是一種用于半導體制程工作站與工作站之間進行搬運或移動所需能開啟閉合的密閉式晶圓傳送盒。
【背景技術】
[0002]晶圓是半導體集成電路制作時的硅晶片，從晶棒切割研磨后多呈現圓形薄片狀，依不同的尺寸可分為6吋、8吋、12吋不等，由于晶圓十分薄，在搬運時會借助膠膜以將晶圓粘附固定于晶圓框架上而放入晶圓傳送盒(即Wafer frame cassette)內，通過承載多片晶圓框架的晶圓傳送盒來搬送。
[0003]照現有的晶圓傳送盒并無設計外蓋，在搬運時容易有細微的灰塵黏附在晶圓上，使后續的晶圓在使用上良率降低。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型目的在于提供一種密閉式晶圓傳送盒，能避免細微的灰塵在搬運中飄入該盒體內，進而提高該盒體內晶圓的良率。
[0005]為達成上述目的的技術手段在于:
[0006]密閉式晶圓傳送盒，其包括:
[0007]—個盒體，具有一個容置空間，且于該盒體的一側開設有一個供數個晶圓框架置入于該盒體內的開口；
[0008]一個蓋體，設于該開口處，且相對應于該開口，蓋合于該開口時該盒體呈一個密閉盒體；
[0009]至少一個樞接結構，設在該蓋體上，并樞接于該盒體的開口一端處，且該樞接結構樞接于該盒體與該蓋體之處相對應；以及
[0010]至少一個限位扣，其設在該盒體一端且位于該開口處，并與該樞接結構相配合，該限位扣與該樞接結構可組卸的連接。
[0011]上述密閉式晶圓傳送盒的該樞接結構包括一第一轉軸及一與該第一轉軸平行設置的第二轉軸；該第一轉軸的兩端分別與該第二轉軸的兩端連接，且該第一轉軸的軸表面與該第二轉軸的軸表面相互不接觸；該第一轉軸與該限位扣可拆卸地樞接；該第二轉軸與該蓋體樞接。
[0012]上述密閉式晶圓傳送盒的該蓋體的內表面設有第一彈性夾持件；該盒體內設有第二彈性夾持件及第三彈性夾持件，且該第二、第三彈性夾持件兩者與該第一彈性夾持件相對設置；該第一、第二、第三彈性夾持件三者與該各晶圓框架接觸的表面均富彈性且呈波浪狀，該波浪狀可用于卡固該各晶圓框架。
[0013]上述密閉式晶圓傳送盒的該蓋體與該盒體間的接合處設有至少一用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的活動鎖扣。
[0014]上述密閉式晶圓傳送盒的該活動鎖扣包含一活動連接軸片及一鎖扣；該活動連接軸片的一端可旋轉地連接于該蓋體上，該活動連接軸片的另一端可旋轉地連接于該鎖扣的一端；該鎖扣的另一端可拆卸地與該盒體連接。
[0015]上述密閉式晶圓傳送盒的該蓋體與該盒體間的接合處設有至少一用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的滑動鎖扣。
[0016]上述的密閉式晶圓傳送盒，其中，該滑動鎖扣包含一長滑軌、一短滑軌及一滑扣；該長滑軌設于該蓋體或該盒體上，且該短滑軌相對于該長滑軌設置于相應的該盒體或該蓋體上；該蓋體與該盒體呈扣緊狀態下，該滑扣與該長滑軌、該短滑軌兩者滑配連接:該蓋體與該盒體呈松開狀態下，該滑扣與該長滑軌滑配連接。
[0017]上述密閉式晶圓傳送盒的該蓋體上設有一用于扣緊或松開該蓋體與該盒體兩者連接狀態的旋動鎖扣。
[0018]上述密閉式晶圓傳送盒的該旋動鎖扣包含一個旋轉件及數根與該旋轉件連動設置的連桿；該旋轉件設置于該蓋體的外表面；該各連桿設置于該蓋體的內表面，且該各連桿的末端均設有勾扣；該盒體內設有與該各勾扣相配合的溝槽。
[0019]上述密閉式晶圓傳送盒的該第一彈性夾持件包含有數個間隔條，其中該各間隔條的側面呈現一個供引導并抵靠在該每一個晶圓框架相對于該蓋體內面的對向邊的V型開口，該兩相鄰間隔條之間具有一個供該各間隔條彈性接觸該晶圓框架的對向邊的間隙。
[0020]本實用新型的有益效果是:本實用新型的密閉式晶圓傳送盒，是由一盒體、一蓋體、至少一樞接結構及至少一限位扣所構成，其中，該盒體是具有一容置空間，且于該盒體的一側開設有一開口，其供數個晶圓框架經由該開口置入于該盒體；其中，置入該盒體內的晶圓框架為借助膠膜以將晶圓粘覆固定于該晶圓框架上；該蓋體設于該開口處，且相對應于該開口，用以蓋合于該開口，以使該盒體呈一密閉盒體；該樞接結構設在該蓋體上，并樞接于該盒體的開口一端處，以使該樞接結構樞接該盒體與該蓋體處可相對應；該限位扣設在該盒體一端且位于該開口處，用以與該樞接結構相配合，以使該限位扣能與該樞接結構組卸連接，通過將該蓋體蓋合于該盒體上，避免細微的灰塵在搬運中飄入該盒體內，進而提聞該盒體內晶圓的良率。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實用新型密閉式晶圓傳送盒的結構示意圖。
[0022]圖2為本實用新型密閉式晶圓傳送盒的分拆結構示意圖。
[0023]圖3為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中樞接結構與盒體結合的結構示意圖。
[0024]圖4為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中樞接結構與盒體拆分的結構示意圖。
[0025]圖5為本實用新型密閉式晶圓傳送盒的內部俯視圖。
[0026]圖6為本實用新型密閉式晶圓傳送盒于裝載晶圓狀態下的內部示意圖。
[0027]圖7a至圖7c為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中活動鎖扣的操作原理圖。
[0028]圖8為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中滑動鎖扣的結構示意圖。
[0029]圖9為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中滑動鎖扣于扣緊狀態下的局部結構示意圖。
[0030]圖10為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中旋動鎖扣的結構示意圖。
[0031]圖11為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中旋轉件與連桿的結構示意圖。
[0032]圖12為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中旋動鎖扣于扣緊狀態下的局部結構示意圖。
[0033]圖13為本實用新型密閉式晶圓傳送盒中旋動鎖扣于松開狀態下的局部結構示意圖。
[0034]圖14為本實用新型密閉式晶圓傳送盒的第一彈性夾持件的結構示意圖。
[0035]【主要元件符號說明】
[0036][本實用新型]
[0037]I 密閉式晶圓傳送盒
[0038]11 盒體
[0039]112 溝槽
[0040]12 蓋體
[0041]13樞接結構
[0042]131 第一轉軸
[0043]132 第二轉軸
[0044]14限位扣
[0045]2 晶圓框架
[0046]3 晶圓
[0047]4 第一彈性夾持件
[0048]40間隔條
[0049]41 間隙
[0050]42 凹口
[0051]43 凸部
[0052]5 第二彈性夾持件
[0053]6 第三彈性夾持件
[0054]7 活動鎖扣
[0055]71活動連接軸片
[0056]711活動連接軸片的一端
[0057]712活動連接軸片的另一端
[0058]72 鎖扣
[0059]721鎖扣的另一端
[0060]8 滑動鎖扣
[0061]81長滑軌
[0062]82短滑軌
[0063]83 滑扣
[0064]9 旋動鎖扣
[0065]91旋轉件
[0066]92 連桿
[0067]921 勾扣。
【具體實施方式】
[0068]為便于貴審查委員能對本實用新型的技術手段及運作過程有更進一步的認識與理解，茲舉實施例配合圖式，詳細說明如下。
[0069]請參閱圖1至圖13，密閉式晶圓傳送盒1，由一盒體11、一蓋體12、至少一樞接結構13及至少一限位扣14所構成。
[0070]該盒體11具有一容置空間，且于該盒體11的一側開設有一開口，其供數個晶圓或晶圓框架經由該開口置入于該盒體11內；其中，放入該盒體11內的晶圓2可以是外緣能套設有晶圓框架3的晶圓2 (如圖6所示)；該蓋體12設于該開口處，且相對應于該開口，用以蓋合于該開口，以使該盒體11呈一密閉盒體；該樞接結構13設在該蓋體12上，并樞接于該盒體11的開口一端處，以使該樞接結構13樞接該盒體11與該蓋體12處可相對應；該限位扣14設在該盒體11 一端且位于該開口處，用以與該樞接結構13相配合，從而使該限位扣14能與該樞接結構13組卸連接。通過樞接結構13將蓋體12蓋合于該盒體11上，當晶圓2放入盒體11中，該蓋體12能減少空氣中灰塵或微粒飄進盒體11內的風險，提高盒體11內晶圓2的良率。
[0071]本實施例中，該樞接結構13包括一第一轉軸131及一與該第一轉軸131平行設置的第二轉軸132 ;該第一轉軸131的兩端分別與該第二轉軸132的兩端連接，且為避免摩擦產生細微的顆粒，該第一轉軸131的軸表面與該第二轉軸132的軸表面二者相互不接觸；該第一轉軸131與該限位扣14可拆卸地樞接，其中該限位扣14具有一球型曲面以樞接該第一轉軸131 ;該第二轉軸132與該蓋體12樞接。通過第一轉軸131與限位扣14樞接且第二轉軸132與