促進用于多腔室的系統單點連接的緊密危險性氣體線分配的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本文所述的實施方式大體涉及具有用于多腔室的單點連接的氣體線分配系統。
【背景技術】
[0002]半導體制造廠(FAB)及其他研究、工業、及醫學操作(medical operat1n)需要使用多種氣體。氣體線載送所需氣體至這些氣體的使用點。安全法規(safety code)需要:若載送危險性氣體的氣體線使用配件，那么這些配件必須位于排氣封閉體(exhaustedenclosure)內。安全法規還需要高的排氣流經過排氣封閉體，這導致排氣封閉體的尺寸變得不實際的大且占用有價值的工作空間。
[0003]若不使用配件(諸如若使用全焊接線系統(all-welded line system))，那么可避免排氣封閉體。盡管全焊接線系統維持如排氣封閉體般的安全及防護，但是全焊接線系統涉及額外的復雜程度(level of complexity)，因為這些焊接線必須在設施內逐節地(sect1n-by-sect1n)制造。全焊接線系統還特別昂貴且需要長時間來建立。此外，很多載送危險性氣體的氣體線需要具有雙倍的容量，這大大地增加成本及復雜程度。因此，全焊接線系統并非令人滿意的解決方案。
[0004]運行使用現有方法的單獨氣體線的成本很高。設施通常需要大量的氣體線，這快速增大運行氣體線的總成本。例如，FAB內的多個處理腔室可各自需要相同的20至30種氣體以執行這些處理腔室的操作。使用傳統方法，對多個處理腔室中的每一個處理腔室來說將需要20至30個單獨氣體線以運行。在此常見狀況下，提供氣體線至FAB設備的成本快速變得異常昂貴。隨著FAB或其他設施的復雜度持續增加，提供所需氣體線的成本也會增加。
[0005]如前文所述，該領域所需要的是一種安全、不昂貴、且便利的用于輸送多個氣體線至FAB或其他研究、工業、或醫學設施內的不同使用點的方法。
【發明內容】
[0006]本文公開的實施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道內的至少一個氣體線能夠被輸送至至少一個使用點。更特定地，本文公開的實施方式包括真空氣體輸送系統。真空氣體輸送系統包括真空系統及氣體輸送系統，其中該氣體輸送系統被容納在該真空系統內。在示例性實施方式中，借助當氣體線行進(travel)通過FAB或在FAB底盤(floor)下方時維持圍繞單獨氣體線的真空管道處于低于大氣壓力，使用真空源來安全地輸送相同的一個或更多個氣體線至FAB內的一個或更多個處理腔室中的每一個處理腔室。這些實施方式允許各氣體至各腔室的輸送使用針對各氣體的單一饋送氣體線。
[0007]公開了一種用于安全地使能夠輸送至少一個單獨氣體線至設施中的至少一個使用點的方法，所述方法包括以下步驟:連接第一真空管道至真空源，其中所述真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一個單獨氣體線，且所述至少一個單獨氣體線的外部暴露于低于大氣壓力；及連接所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線至使用點，同時維持所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線的外部處于低于大氣壓力。
[0008]公開了一種用于安全地使能夠輸送至少一個單獨氣體線至設施中的至少一個使用點的系統，所述系統包括第一真空管道，所述第一真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一個單獨氣體線;及真空源，所述真空源連接至所述真空管道，使得所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線的外部維持處于低于大氣壓力。
[0009]公開了一種真空密封的接線盒，所述真空密封的接線盒包括接線盒，所述接線盒耦接至第一真空管道及耦合至第二真空管道，其中所述第一真空管道及所述第二真空管道兩者都包括管道及包含于所述管道中的至少一個單獨氣體線，其中所述第一真空管道的所述管道及所述第二真空管道的所述管道在所述接線盒內中斷一次，因此暴露所述至少一個單獨氣體線，其中所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線在所述接線盒內分開(split) 一次，使得所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線的第一長度可連接至使用點，且所述至少一個單獨氣體線中的每一個單獨氣體線的第二長度可變為包含于所述第二真空管道內。
[0010]附圖簡要說明
[0011]因此以可詳細理解本發明的上述特征的方式，通過參照實施方式可獲得上文簡要概述的本發明的更具體的描述，這些實施方式中的一些實施方式被圖示于附圖中。然而，應注意，這些附圖僅圖示本發明的典型的實施方式，且因此不應被視為對本發明的范圍的限制，因為本發明可允許其他等效實施方式。
[0012]圖1圖示根據本文公開的實施方式的真空管道，該真空管道具有容納于該真空管道中的多個單獨氣體線。
[0013]圖2圖示根據本文公開的實施方式的設施中的真空氣體輸送系統的示意圖。
[0014]圖3A圖示根據本文公開的實施方式的氣體輸送系統的接線盒及氣體面板排氣管路的頂視圖。
[0015]圖3B圖示根據本文公開的實施方式的真空氣體輸送系統的多個方面的側視圖。
[0016]圖4為根據本文公開的實施方式的真空氣體輸送系統的氣體線的示意圖。
[0017]具體描述
[0018]為說明目的呈現本發明的多個實施方式的描述，但并不意在窮舉或限制所公開的實施方式。對發明所屬技術領域的普通技術人員而言，許多修改及變化是顯而易見的，并不背離所述實施方式的范圍及精神。選擇本文所使用的術語以最佳地解釋這些實施方式的原理、實際應用或相對市場中能找到的技術的技術改進，或使其他發明所屬技術領域的普通技術人員能夠理解本文所公開的實施方式。
[0019]本文公開的實施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道內的至少一個氣體線能夠被輸送至至少一個使用點。更特定地，本文公開的實施方式包括真空氣體輸送系統。真空氣體輸送系統包括真空系統及氣體輸送系統，其中該氣體輸送系統被容納在該真空系統內。在示例性實施方式中，借助當氣體線行進通過FAB或在FAB底盤下方時維持圍繞單獨氣體線的真空管道處于低于大氣壓力，使用真空源來安全地輸送相同的一個或更多個氣體線至FAB內的一個或更多個處理腔室中的每一個處理腔室。實施方式允許各氣體至各腔室的輸送使用針對各氣體的單一饋送氣體線。真空源可提供與排氣封閉體相同的或比排氣封閉體更佳的安全特征，但真空源卻可使用具有比排氣封閉體所需的大型排氣管路小得多的直徑的真空管道。借助使用真空管道以封閉單獨氣體線及針對各氣體使用單一饋送線，本文公開的實施方式減少了必須借助設施來運行的單獨氣體線的數量。本文公開的實施方式的結果是，運行氣體線的成本大大減低，消除了由于排氣封閉體的擴大的管路所造成的珍貴工作空間損失，且消除了與使用全焊接系統相關聯的潛在設備停機時間。此外，保持氣體線處于真空下保護氣體線且允許氣體線具有配件以用于容易的安裝及修理。
[0020]圖1圖示根據本文公開的實施方式的真空管道100，真空管道100具有容納于真空管道100中的多個單獨氣體線20。盡管圖示真空管道100為圓形管道，但真空管道100可為任何形狀。真空管道100可以是例如管、密封托盤、或密封槽，但在任何情況下真空管道100都是封閉體，該封閉體可容納氣體線20且維持降低的壓力。真空管道100可由實質不透氣的材料制成，該材料諸如是金屬或不可燃復合材料(composite material)。可使用的示例性金屬包括鋁、鋼、不銹鋼及上述各項的合金。可使用的示例性不可燃復合材料包括金屬復合物、碳纖維、玻璃纖維及其他纖維復合物。真空