集成電路裝置及其靜電防護裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種集成電路的靜電防護裝置，由靜電防護裝置提供靜電防護功能給集成電路裝置。
【背景技術】
[0002]請參考圖17所示,現有集成電路(integrated circuit, IC)包含有一電力網81與一核心82，該電力網81包含有多個第一電極811與一接地電極812，該接地電極812呈環狀并包含有多個設置區813，該些第一電極811分別設于該些設置區813內。該核心82位于該接地電極812內側，并電性連接第一電極811與接地電極812。該些第一電極811與接地電極812供連接一電源以接收一工作電壓，使該核心82接收該工作電壓而作動。
[0003]隨著半導體工藝的進步，集成電路的尺寸已越來越小化，因此靜電防護更顯重要。為了保護集成電路免于靜電的威脅，現有集成電路需要額外設置一靜電防護電路，以在該第一電極811生靜電時，靜電防護電路將靜電快速導引至接地電極812而不會到達該核心82，避免核心82受到靜電破壞。然而，現有靜電防護電路占據集成電路一定的空間，使得集成電路的尺寸無法進一步縮小化。
【發明內容】
[0004]因此本發明的主要目的是提供一種集成電路的靜電防護裝置，該靜電防護裝置不會增加集成電路整體面積，有助于集成電路尺寸的縮小化。
[0005]本發明集成電路的靜電防護裝置中，該集成電路包含有一基板、一核心與一電力網，該電力網包含有至少一電源電極、一內接地電極與一外封環，該核心形成在該基板上并位于該內接地電極內側，該電源電極位于該內接地電極與外封環之間，該靜電防護裝置包含有:
[0006]多個放電單元，形成在該基板且對應于該電力網所涵蓋的區域，并分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間；
[0007]多個開關觸發單元，分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間，用以檢知是否發生靜電；
[0008]多個開關單元，分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間，該些開關單元電性連接該些開關觸發單元與放電單元，以在任一開關觸發單元檢知靜電時導通放電單元。
[0009]本發明之另一目的是提供一種集成電路裝置，包含有:
[0010]一集成電路，包含:
[0011]—基板；
[0012]一電力網，包含有至少一電源電極、一內接地電極與一外封環,該電源電極位于該內接地電極與外封環之間；
[0013]一核心，形成在該基板上并位于該內接地電極內側；以及
[0014]一靜電防護裝置，包含有:
[0015]多個放電單元，形成在該基板上且對應于該電力網所涵蓋的區域，并分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間；
[0016]多個開關觸發單元，分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間，用以檢知是否發生靜電；
[0017]多個開關單元，分別電性連接在該電源電極與內接地電極之間，以及連接在該電源電極與外封環之間，該些開關單元電性連接該些開關觸發單元與放電單元，以在任一開關觸發單元檢知靜電時導通放電單元。
[0018]根據本發明的結構，當該電力網任一處發生靜電，位在對應位置的開關觸發單元檢知靜電并驅動該開關單元，使該開關單元導通放電單元。如此一來，靜電能量從電源電極通過放電單元而導引到接地，確保集成電路的核心免于靜電的破壞。由于該靜電防護裝置設在對應于電力網的位置，該電力網的邊界相當于集成電路(即外封環)的邊界，故本發明可有效利用集成電路的空間，相較于現有技術，本發明不需擴大集成電路的整體面積以設置靜電防護電路，故本發明可使集成電路的尺寸最小化。
[0019]以下結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述，但不作為對本發明的限定。
【附圖說明】
[0020]圖1:本發明集成電路裝置的示意圖；
[0021]圖2:本發明第一較佳實施例的電力網與靜電防護裝置的連接示意圖；
[0022]圖3:對應于圖2之局部剖面示意圖；
[0023]圖4:本發明靜電防護裝置的等效電路示意圖；
[0024]圖5:本發明第一較佳實施例中放電單元、開關觸發單元與開關單元的分布示意圖；
[0025]圖6:本發明第二較佳實施例的電力網與靜電防護裝置的連接示意圖；
[0026]圖7:對應于圖6之局部剖面示意圖；
[0027]圖8:本發明第二較佳實施例中電源電極與接地電極的平面示意圖(一)；
[0028]圖9:本發明第二較佳實施例中電源電極與接地電極的平面示意圖(二)；
[0029]圖10:本發明第二較佳實施例的局部剖面示意圖(一)；
[0030]圖11:本發明第二較佳實施例的局部剖面示意圖(二)；
[0031]圖12:本發明第二較佳實施例中放電單元、開關觸發單元與開關單元的分布示意圖；
[0032]圖13:本發明第三較佳實施例的電力網與靜電防護裝置的連接示意圖；
[0033]圖14:本發明第三較佳實施例中該開關觸發單元的平面示意圖；
[0034]圖15:本發明第三較佳實施例的局部剖面不意圖(一)；
[0035]圖16:本發明第三較佳實施例的局部剖面示意圖(二)；
[0036]圖17:現有集成電路的電力網與核心布局示意圖。
[0037]其中，附圖標記
[0038]I集成電路裝置2集成電路
[0039]3靜電防護裝置10核心
[0040]20電力網21電源電極
[0041]210延伸部221內接地電極
[0042]222外封環223延伸部
[0043]224延伸部23內輔助導電層
[0044]24外輔助導電層30基板
[0045]300 P型阱區301第一 P型電極區
[0046]302第一 N型電極區303第二 P型電極區
[0047]304第二 N型電極區305導孔
[0048]306共同N型電極區307導孔
[0049]308絕緣層309 N型阱區
[0050]310金屬硅化物層
[0051]311第一 N型阱區312第一 P型電極區
[0052]313第二 P型電極區314第三P型電極區
[0053]315第四P型電極區316共同N型電極區
[0054]321 P型電極區322第一 N型電極區
[0055]323第二 N型電極區324絕緣層
[0056]325第二 N型阱區331 P型電極區
[0057]332第一 N型電極區333第二 N型電極區
[0058]334絕緣層335第三N型阱區
[0059]34電阻層35電容層
[0060]361直導孔362直導孔
[0061]40開關觸發單元50開關單元
[0062]51電子開關60放電單元
[0063]70驅動電路單元81電力網
[0064]811第一電極812接地電極
[0065]813設置區82核心
【具體實施方式】
[0066]下面結合附圖對本發明的結構原理和工作原理作具體的描述:
[0067]請參考圖1至圖3所示，本發明集成電路裝置I包含有一集成電路2與一靜電防護裝置3,該集成電路2為一封裝后的兀件并包含有一基板30、一核心10與一電力網20,該電力網20包含有至少一電源電極21、一內接地電極2