一種中心傳感器的修復方法及中心傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種中心傳感器的修復方法及便于修復的中心傳感器。
【背景技術】
[0002]中心傳感器是ESEC (European Semiconductor Equipment Center,歐洲半導體設備中心)裝片機的重要部件，主要用于引線框防反和初步定位。中心傳感器價格昂貴，修復率極低。中心傳感器的損壞大都是因為光路的老化。
[0003]如圖5所示，原先的中心傳感器光電檢測區域是直徑為Imm的小孔100，其周圍是一層鏡面200。其檢測原理如圖6所示，激光二極管300發出激光，通過透鏡聚焦后進入小孔100,然后通過2個不同向的45°設置的反射鏡片400射入娃光電池500 (此時的娃光電池500接收面朝上，此中所述硅光電池500即接收管)，由此實現引線框透光與擋光的反映。
[0004]此種中心傳感器修復技術存在的問題為:
[0005]1、激光二極管壟斷，原裝發光源(即激光二極管)是型號為頂220，帶ro(反饋保護端)，共陽激光二極管，在市場上無法找到此型號的激光二極管；
[0006]2、光線接收面太小及位置受限，激光二極管發射的光通過透鏡發射到接收面的有效區域就為lmm(通過測量光斑確定)，并且中心傳感器主要通過檢測引線框小孔邊沿來定位，因此，在光線接收面制造Imm的限制區域，增加了維修難度——激光二極管出射角度各有所異，原裝置在性能和功能方面考慮的過于嚴謹、給維修、調試、元件代用帶來很大困難；
[0007]3、內置光路維修困難，中心傳感器的光路關鍵元件為激光二極管和光電池，其原理無非就是讓光射入硅光電池，原光路2個45°鏡面完全密閉，無法對其調試和修復。
【發明內容】
[0008]本部分的目的在于概述本發明的實施例的一些方面以及簡要介紹一些較佳實施例。在本部分以及本申請的說明書摘要和發明名稱中可能會做些簡化或省略以避免使本部分、說明書摘要和發明名稱的目的模糊，而這種簡化或省略不能用于限制本發明的范圍。
[0009]鑒于上述和/或現有中心傳感器的修復方法中存在的問題，提出了本發明。
[0010]因此，本發明的一個目的是基于設備使用年限的原因，中心傳感器逐步老化，嚴重影響產品質量和設備停機率，主要解決中心傳感器修復困難，激光二極管代用等問題。
[0011]為解決上述技術問題，本發明提供了如下技術方案:一種中心傳感器的修復方法，其包括，去除原中心傳感器中包括小孔和鏡面在內的整個光線接收面以及內置光路；將接收管取出，放置于原小孔所在位置，其中，設置接收管的接收面方向向下；通過測量中心傳感器輸出電壓來選取光線接收面的位置；將所述接收管固定。
[0012]作為本發明所述中心傳感器的修復方法的一種優選方案，其中:在所述去除原中心傳感器中包括小孔和鏡面在內的整個接收面以及內置光路的步驟后，所述將接收管取出，放置于原小孔所在位置，其中，設置接收管的接收面方向向下的步驟前，還包括，將代用激光二極管更換到原激光二極管位置；調試代用激二極光管的安裝角度，通過觀察激光到達光線接收面的光斑來決定代用激二極光管的角度，并固定代用激二極光管。
[0013]作為本發明所述中心傳感器的修復方法的一種優選方案，其中:所述代用激光二極管為5V，帶反饋保護端近紅外共陰激光二極管。
[0014]作為本發明所述中心傳感器的修復方法的一種優選方案，其中:在所述將所述接收管固定的步驟之后，還包括，確保中心傳感器上機后的小孔能與另一位置中心傳感器的小孔校正到同一直線上的步驟，具體為:以所述另一位置中心傳感器的小孔位置為基準，向上檢測至預先設置的橫條位置的邊緣，在固定的檢測距離內，若通過所述中心傳感器上機后的小孔無法檢測到橫條，則校正失敗；反之，成功。
[0015]本發明的另一個目的是提供一種便于檢修的中心傳感器。
[0016]為解決上述技術問題，本發明提供了如下技術方案:一種中心傳感器，包括，控制部件、與所述控制部件連接的主體部、激光發射裝置、激光感應接收裝置，所述激光發射裝置包括代用激光二極管，其設置于所述控制部件中并通過所述控制部件的上表面上開口暴露在外，以使得所述激光發射裝置發出的激光能夠射出所述控制部件；所述激光感應接收裝置包括接收管，其設置于所述主體部的小孔正上端，以使得激光能夠直接射入所述激光感應接收裝置。
[0017]本發明提供了一種中心傳感器的修復方法及一種中心傳感器，與現有技術相比，其有益效果為:
[0018](I)降低激光二極管的功率要求，從而降低了激光二極管的使用成本；由于去除了內部光路，縮短了激光路徑，降低了激光能耗，從而降低了激光功率要求，擴大了代用激光二極管的選取空間，同時延長了激光二極管的有效使用壽命；
[0019](2)光線接收面的擴大消除了激光二極管出射角度的限制，大大擴大了代用激光管選擇范圍；
[0020](3)由于光線接收面位置能夠調節，使得能夠選擇到硅光電池最佳吸收位置，大大降低修理難度；
[0021](4)進口備件國產化代用，大大降低備件采購費用。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。其中:
[0023]圖1為本發明所述一種中心傳感器的修復方法第一種【具體實施方式】的步驟示意圖；
[0024]圖2為根據本發明所述一種中心傳感器的修復方法進行改造后的結構示意圖；
[0025]圖3為本發明所述一種中心傳感器的修復方法第二種【具體實施方式】的步驟示意圖；
[0026]圖4為本發明所述一種中心傳感器的修復方法保證中心傳感器上機后其檢測點能與另一位置中心傳感器校正到同一直線上的示意圖；
[0027]圖5為現有技術中心傳感器光電檢測區域示意圖；
[0028]圖6為現有技術中心傳感器光電檢測原理示意圖。
【具體實施方式】
[0029]為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0030]在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本發明，但是本發明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發明內涵的情況下做類似推廣，因此本發明不受下面公開的具體實施例的限制。
[0031]其次，本發明結合示意圖進行詳細描述，在詳述本發明實施例時，為便于說明，表示器件結構的剖面圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應限制本發明保護的范圍。此外，在實際制作中應包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。
[0032]如圖1所示，本發明的第一種【具體實施方式】，首先提供了一種中心傳感器的修復方法，該方法包括如下步驟:
[0033]步驟一 S1:去除原中心傳感器中包括小孔和鏡面在內的整個光線接收面以及內置光路。
[0034]在此步驟中，由于原中心傳感器組裝結構以及材料的牢固性，必須將頭部完全破壞，以便于后續步驟的操作。
[0035]步驟二 S2:將接收管取出，放置于原小孔所在位置。
[0036]參見圖2所示，接收管10(即硅光電池)自原中心傳感器的位置被取出后，放置于原小孔100所在位置。此時，設置接收管10的接收面方向向下，以便于接收激光二極管300發射的激光。但此時并不能保證激光能準確有效得被接收管10吸收，由于光線接收面的擴大(為整個硅光電池10接收面)和其活動性給予了光線接收面的可調性并大大擴大了激光二極管300出射角度的選取范圍。
[0037]步驟三S3:通過測量中心傳感器輸出電壓來選取光線接收面的位置。
[0038]參見圖2，在此步驟中，通過測量中心傳感器的輸出電壓來選取光線接收面的最佳位置。
[0039]步驟四S4:將所述接收管固定。
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