準分子放電燈裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種準分子放電燈裝置。更詳細地講，涉及用于清潔處理以及殺菌處理等的準分子放電燈裝置。
【背景技術】
[0002]以往，準分子放電燈被用于清潔處理或殺菌處理等。作為準分子放電燈的一種，如圖7所示，有如下放電燈，具備在發光部52的兩端部形成有密封部53、53的棒狀的發光管51，在發光部52的外周面配置有網狀的外側電極56，在發光管51的內部配置有內部電極57 (例如參照專利文獻I)。該準分子放電燈中，發光管51由石英玻璃構成。并且，在發光部52的內部，作為發光氣體例如封入有氙氣(Xe)，該發光氣體的封入壓力為20?200kPa。密封部53、53通過一邊加熱發光管形成材料(石英玻璃管)的端部一邊擠壓的夾封法形成。
[0003]并且，內部電極57通過沿發光管51的中心軸配置的金屬棒構成，其兩端部與買設在密封部53、53的內部的金屬箔58、58的一端連接，并由密封部53、53支撐。金屬箔58、58的另一端上連接有外部引線59、59的一端部，該外部引線59、59的另一端部從密封部53、53的外端向外部突出。
[0004]但是，這種結構的準分子放電燈由于外側電極56露在外部，因此有工作人員等接觸點燈狀態的準分子放電燈的外側電極56的可能。并且，點燈狀態的準分子放電燈為高溫，因此還存在構成外側電極56的電極材料容易蒸發的問題。進而也存在由于照射來自準分子放電燈的光而從被照射物產生的飛散物附著到該準分子放電燈的表面的問題。
[0005]為了解決上述問題，例如使用如圖8所示準分子放電燈61的發光管62例如被由石英玻璃構成的保護管71覆蓋而成的準分子放電燈裝置60(例如參照專利文獻2)。
[000?]在該準分子放電燈裝置60中，準分子放電燈61具備石英玻璃制的棒狀發光管62，在該發光管62的外周面，沿該發光管62的中心軸延伸的一對帶狀的外側電極63、63相互對置，且相對于該中心軸對稱配置。外側電極63、63通過由鉬等構成的長條的金屬板的一部分構成，并緊貼固定在發光管62的外周面。在發光管62的內部封入有氙氣(Xe)等發光氣體。
[0007]并且，保護管71以包覆發光管62的整體的方式同軸狀設置，在保護管71與發光管62之間形成有大致圓筒狀的空間。該空間為減壓狀態或填充有氮氣等惰性氣體的狀態。在保護管71的兩端部分別埋設有鉬箔72、72，該鉬箔72、72上連接有構成外側電極63、63的金屬板，并且連接有從保護管71的兩端部分別突出到外部的外部引線74、74。并且，在保護管71的內部，發光管62被構成外側電極63、63的金屬板和鉬箔72、72支撐。
[0008]但是，這種結構的準分子放電燈裝置60由于發光管62被鉬箔72、72和構成外側電極63、63的金屬板支撐，因此存在應對從外部施加的振動沖擊的耐性小的問題。
[0009]并且，準分子放電燈裝置60在制造工序中具體而言為在使用玻璃加工車床對保護管形成用材料(石英玻璃管)進行密封以及除氣的過程中，發光管62的位置容易位移，因此很難將發光管62以高位置精度配置在保護管71的內部。因此，還存在以下問題，發光管62容易成為相對于保護管71偏心的狀態，即容易成為保護管71的中心軸與發光管62的中心軸大幅偏斜的狀態。在這里，在準分子放電燈裝置60成為保護管71的中心軸與發光管62的中心軸大幅偏斜的狀態時，即使被照射物與保護管71為正確的位置關系即被照射物與保護管71處于平行的狀態，發光管62與被照射物之間的距離在發光管62的軸向上也不均勻。因此產生不能以高均勻性對被照射物照射光的問題。
[0010]專利文獻1:日本特開2013 — 257999號公報
[0011]專利文獻2:日本特開2009 — 224089號公報
【發明內容】
[0012]本發明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于提供一種準分子放電燈裝置，對于從外部施加的振動沖擊具有高的耐性，并且能夠準確地限制準分子放電燈的位置，因此能夠以高均勻性照射光。
[0013]本發明的一種準分子放電燈裝置，其特征在于，具備:棒狀的準分子放電燈；以及棒狀的保護管，在內部封入該準分子放電燈，并沿著該準分子放電燈的軸向延伸，在上述保護管上，在一個端部的內表面形成有凹部，上述準分子放電燈在一個端部具有插入到上述保護管的凹部的被支撐部。
[0014]本發明的準分子放電燈裝置優選為，上述被支撐部由被設置成向準分子放電燈的軸向外方突出的突出部件形成。
[0015]在該構成的本發明的準分子放電燈裝置中，優選在上述突出部件上設置有與上述保護管的凹部的內表面接觸的緩沖部件。
[0016]并且，本發明的準分子放電燈裝置，優選上述準分子放電燈具備:發光管，具有在內部封入有發光氣體的發光部、以及與該發光部的兩端分別連續設置的密封部;外側電極，配置在該發光部的外周面；以及內部電極，配置在發光部的內部，上述突出部件由不與上述內部電極電連接的金屬棒構成。
[0017]并且，在本發明的準分子放電燈裝置中，優選上述緩沖部件通過網狀的導電部件而與上述外側電極一體地構成。
[0018]發明效果
[0019]根據本發明的準分子放電燈裝置，在保護管的內部，準分子放電燈被以該準分子放電燈的被支撐部插入到保護管的凹部內部的狀態保持。因此，能夠準確地限制準分子放電燈相對于保護管的位置，將準分子放電燈以高位置精度配置在所期望的位置，因此能夠以高均勻性照射光，并且相對于從外部施加的振動沖擊能夠得到高的耐性。另外，即使由金屬形成被支撐部，也不會因該被支撐部的熱膨脹而在保護管上產生裂痕。
【附圖說明】
[0020]圖1是以將一部分用沿軸向的截面切斷的狀態表示本發明的準分子放電燈裝置的一例的概略結構的說明用局部剖面圖。
[0021]圖2是放大表示圖1的主要部分的說明用放大圖。
[0022]圖3是表示本發明的準分子放電燈裝置中的緩沖部件的一例的說明圖。
[0023]圖4是表示本發明的準分子放電燈裝置中的緩沖部件的其他例的說明圖。
[0024]圖5是表示本發明的準分子放電燈裝置中的緩沖部件的另一其他例的說明圖。
[0025]圖6是表示本發明的準分子放電燈裝置中的緩沖部件的又一其他例的說明圖。
[0026]圖7是表示以往的準分子放電燈的一例的結構的說明用剖面圖。
[0027]圖8是表示以往的準分子放電燈裝置的一例的概略結構的說明用剖面圖。
[0028]符號說明
[0029]10準分子放電燈裝置
[0030]11準分子放電燈
[0031]12發光管
[0032]13發光部
[0033]14a一個密封部
[0034]14b另一個密封部
[0035]16突出部件
[0036]18緩沖部件
[0037]19吸氣劑
[0038]20內部電極
[0039]21金屬箔
[0040]22內部電極用外部引線[0041 ]25外側電極
[0042]30保護管
[0043]31光透射部
[0044]32光非透射部
[0045]33凹部
[0046]35密封部件
[0047]40金屬箔
[0048]41供電線
[0049]42內部引線
[0050]43外部電極用外部引線[0051 ]45底座部件
[0052]46供電線
[0053]A發光管的中心軸(燈中心軸)
[0054]51發光管
[0055]52發光部
[0056]53密封部
[0057]56外側電極
[0058]57內部電極
[0059]58金屬箔
[0060]59外部引線
[0061 ]60準分子放電燈裝置
[0062]61準分子放電燈
[0063]62發光管
[0064]63外側電極
[0065]71保護管
[0066]72鉬箔
[0067]74外部引線
【具體實施方式】
[0068]以下，對本發明的準分子放電燈裝置的實施方式進行說明。
[0069]圖1是以將一部分用沿軸向的截面切斷的狀態表示本發明的準分子放電燈裝置的一例的概略結構的說明用局部剖面圖。
[0070]該準分子放電燈裝置10具備棒狀的準分子放電燈11，該準分子放電燈裝置10是該準分子放電燈11被封入到在一端部的內表面形成有凹部33的棒狀的保護管30的內部而成的。在該保護管30的內部，準分子放電燈11被配置成沿保護管30的中心軸延伸。
[0071]準分子放電燈11具備發光管12，該發光管12具有圓管狀的發光部13以及與發光部13的兩端分別連續設置的密封部14a、14b。
[0072]在該圖的例中，發光管12的一個密封部14a具有由夾封法(Pinch seal method)形成的扁平的形狀，另一個密封部14b具有由收縮密封法(Shrink seal method)形成的圓柱狀的形狀。發光管12例如由合成石英玻璃形成。
[0073]在發光部13的內部，金屬線卷繞成線圈狀而成的內部電極20以線圈軸與發光管12的中心軸A—致的狀態配置成沿該中心軸A延伸。內部電極20的另一端部經由氣密地埋設在另一個密封部14b的金屬箔21，與從另一個密封部14b的外端向軸向外方突出的內部電極用外部引線22電連接。并且，內部電極20的一端部通過另一個密封部14b支撐。
[0074]并且，在發光部13的內部填充有發光氣體。作為發光氣體，例如能夠使用氙氣(Xe)、氬氣