氣體激光裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種具備將激光氣體作為介質來振蕩出激光的氣體激光振蕩器的氣 體激光裝置。
【背景技術】
[0002] 氣體激光振蕩器通過在氣體容器內引發放電來激勵激光氣體，從而振蕩出激光。 從氣體激光振蕩器的外部通過供給配管向氣體容器內供給激光氣體。另外，已知在這種氣 體激光振蕩器中，由于激光氣體中混入水分或者激光氣體的成分從氣體容器或供給配管漏 出，而激光輸出下降。因此，為了保證穩定的激光輸出，需要檢查氣體容器和供給配管的氣 密性。
[0003] -般來說，在排出氣體容器內的氣體之后的真空狀態下執行氣體容器的密閉性檢 查。例如，在日本特開2002-319724號公報中公開了以下內容：在排出氣體容器內的氣體之 后使氣體容器密閉，每隔規定時間測定氣體容器內的壓力，由此自動地檢查氣體容器的氣 密性。
[0004] 另一方面，為了檢查激光氣體的供給配管的氣密性，而對供給配管加壓之后使供 給配管的內部空間密閉并檢測供給配管內的壓力下降，這種方法是公知的。一般來說，作業 者讀取附屬于激光氣體供給裝置的調節器的壓力計的數值來計算供給配管內的壓力下降。
[0005] 在日本特開平4-80979號公報和國際公開第2013/171951號中公開了以下內容： 為了防止由于氣體激光振蕩器停止時的激光氣體成分的漏出或者雜質的混入而導致激光 輸出變得不穩定的問題，暫時將供給配管內的氣體排出到氣體激光振蕩器的外部。
[0006] 由于真空用（負壓用）的氣密設計和加壓用的氣密設計是不同的，因此如日本特 開2002-319724號公報所記載的那樣的檢查氣體容器的氣密性的方法無法應用于在加壓 狀態下使用的供給配管。
[0007] 在通過讀取調節器的壓力計的數值來檢查供給配管的壓力下降的方法中，需要作 業者通過目視來測定壓力值以計算壓力下降量，作業效率低。另外，一般在調節器中使用的 布爾登管（Bourdon Tube)式壓力計的檢測分辨率約為10kPa，直到產生能夠檢測的IOkPa 的壓力下降為止需要等待長時間、例如8小時以上。
[0008] 因而，尋求一種能夠在短時間內且自動地執行激光氣體的供給配管的氣密性檢查 的氣體激光裝置。
【發明內容】
[0009] 根據第一發明，提供一種具備將激光氣體作為介質來振蕩出激光的氣體激光振蕩 器的氣體激光裝置，該氣體激光裝置的特征在于，具備：氣體容器，其容納上述激光氣體； 供給配管，其形成從上述氣體激光振蕩器的外部向上述氣體容器供給的上述激光氣體的供 給路徑；壓力傳感器，其檢測上述供給配管內的壓力；供給控制閥，其控制從上述供給配管 向上述氣體容器供給的上述激光氣體的供給量；以及控制裝置，其控制上述供給控制閥的 開閉動作，其中，上述控制裝置具備：壓力獲取部，其通過上述壓力傳感器來獲取上述供給 配管內的壓力值；壓力變化計算部，其基于在關閉上述供給控制閥來使上述供給配管密閉 的狀態下由上述壓力獲取部在規定時間內多次獲取的壓力值，來計算上述供給配管內的壓 力變化；以及氣密性判定部，其基于由上述壓力變化計算部計算的上述壓力變化，來判定上 述供給配管的氣密性是否良好。
[0010] 根據第二發明，在第一發明所涉及的氣體激光裝置中，上述壓力變化計算部構成 為：基于在上述規定時間內最初獲取的至少一個壓力值與在上述規定時間內最后獲取的至 少一個壓力值之差，來計算上述壓力變化。
[0011] 根據第三發明，在第一發明所涉及的氣體激光裝置中，上述壓力變化計算部構成 為：基于獲取的多個壓力值，通過回歸分析來計算上述壓力變化。
[0012] 根據第四發明，在第一發明至第三發明中的任一發明所涉及的氣體激光裝置中， 上述控制裝置還具備：顯示部，其顯示由上述壓力獲取部獲取的上述壓力值或由上述壓力 變化計算部計算的上述壓力變化；以及警告通知部，其在由上述壓力變化計算部計算的上 述壓力變化超過預先決定的閾值時通知警告。
[0013] 根據第五發明，在第一發明至第四發明中的任一發明所涉及的氣體激光裝置中， 該氣體激光裝置還具備排出控制閥，該排出控制閥使激光氣體不通過上述氣體容器而從上 述供給配管向上述氣體激光振蕩器的外部排出，上述控制裝置還具備排出閥控制部，該排 出閥控制部構成為：在由上述壓力變化計算部計算的上述壓力變化超過預先決定的閾值的 情況下，在上述氣體激光振蕩器的啟動時將上述排出控制閥打開預先決定的時間。
[0014] 根據第六發明，在第一發明至第五發明中的任一發明所涉及的氣體激光裝置中， 上述控制裝置還具備保持部，該保持部不從外部接受電力供給而保持由上述壓力獲取部獲 取的壓力值和獲取到該壓力值的時刻，上述壓力變化計算部構成為：在來自外部的電力供 給重新開始時，基于由上述保持部保持的上述壓力值和上述時刻來計算上述壓力變化。
[0015] 這些以及其它本發明的目的、特征及優點通過參照附圖所表示的本發明的例示性 的實施方式所涉及的詳細說明會變得更明確。
【附圖說明】
[0016] 圖1是表示本發明的一個實施方式所涉及的氣體激光裝置的結構例的圖。
[0017] 圖2是一個實施方式所涉及的氣體激光裝置中的控制裝置的功能框圖。
[0018] 圖3是說明按照一個實施方式計算的壓力變化的曲線圖。
[0019] 圖4是說明按照圖3的實施方式的變形例計算的壓力變化的曲線圖。
[0020] 圖5是說明按照其它實施方式計算的壓力變化的曲線圖。
[0021] 圖6是說明按照另一實施方式計算的壓力變化的曲線圖。
[0022] 圖7是其它實施方式所涉及的氣體激光裝置中的控制裝置的功能框圖。
[0023] 圖8是另一實施方式所涉及的氣體激光裝置中的控制裝置的功能框圖。
[0024] 圖9是表示由一個實施方式所涉及的控制裝置執行的氣密性檢查的處理的流程 圖。
【具體實施方式】
[0025] 下面，參照附圖來說明本發明的實施方式。對于圖示的結構要素適當變更了尺寸 以助于理解本發明。另外，對于相同或對應的結構要素，使用相同的參照標記。
[0026] 圖1是表示本發明的一個實施方式所涉及的氣體激光裝置的結構例的概要圖。氣 體激光裝置10具備：氣體激光振蕩器20,其包括未圖示的光諧振器；激光氣體供給裝置 12,其對氣體激光振蕩器20的氣體容器22供給激光氣體；以及控制裝置50,其控制向氣體 容器22供給的激光氣體的量或從氣體容器22排出的激光氣體的量。氣體激光裝置10例 如在激光加工裝置中被用于金屬板的切割等用途。
[0027] 雖未詳細圖示，但激光氣體供給裝置12具備容納激光氣體的儲氣瓶（bombe)以及 調整對氣體激光振蕩器20供給的激光氣體的壓力的調節器。氣體激光振蕩器20與激光氣 體供給裝置12通過供給配管30而相互連接。例如，由激光氣體供給裝置12通過供給配管 30向氣體容器22供給表壓為OkPa~1000 kPa的激光氣體。
[0028] 氣體激光振蕩器20具備：氣體容器22,激光氣體在該氣體容器22的內部循環；供 給控制閥24,其控制從供給配管30向氣體容器22供給的激光氣體的量；以及第一排出控 制閥26,其控制從氣體容器22排出的激光氣體的量。
[0029] 在氣體容器22中容納有表壓為-IOOkPa~_70kPa的激光氣體。氣體激光振蕩器 20對設置于氣體容器22內的放電管（未圖示）賦予能量來引發放電，由此激勵激光氣體從 而振蕩出激光。激光