熱處理裝置的腔室及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種熱處理裝置的腔室及其制造方法。更加詳細而言，涉及一種接合構成主體的外面的第一金屬板以及構成主體的內面的第二金屬板來構成主體，從而增加剛性和耐腐蝕性的熱處理裝置的腔室及其制造方法。
【背景技術】
[0002]時至今日，為了減少對日益枯竭的化石燃料的依賴性，對于利用不會枯竭且環保的太陽能的太陽能電池(So Iar Ce 11)等的研究開發進行得很活躍。
[0003]作為該研究開發的一個環節，開發出了一種形成有CIGS{Cu(Im-xGax)Se2}層的薄膜型太陽能電池，其太陽光的吸收率高，太陽光或放射線引起的劣化現象少，可實現薄膜化，可節約制造材料成本。
[0004]薄膜型太陽能電池是包括如下的多層層積結構，即玻璃等基板、形成于基板上并由金屬層構成的作為(+ )極的電極層、形成于電極層上并吸收光的P型的CIGS層、形成于CIGS層上的η型的緩沖層、以及形成于緩沖層上的作為(-)極的透明電極層。
[0005]因此，如果太陽光通過作為受光部的透明電極層射入，則在ρ-η接合部位附近生成被激發的具有大致1.04eV的帶隙能量的一對電子以及空穴。并且，被激發的電子和空穴通過擴散到達Ρ-η接合部，通過接合部的內部電場，電子分離后集合到η區域，空穴分離后集合至Ijp區域。
[0006]這時，η區域帶負電，P區域帶正電，形成于各區域的電極之間產生電勢差。并且，將電勢差作為電動勢，用導線連接各電極之間，則能夠獲得光電流。
[0007]薄膜型太陽電池的CIGS層的形成方法經過如下工序，即前體膜形成工序，在形成于基板上的電極層上以適當比率真空濺射銅、銦、鎵等元素，從而形成前體膜；砸化(selenizat1n)工序，向如此沉積的前體膜上供應砸化氫(H2Se)氣體并對基板施加溫度。根據這樣的一系列的工序，可以形成具有銅(Cu)、銦(In)、鎵(Ga)以及砸(Se)元素的適當組成比的 CIGS {Cu(In1-xGax)Se2}層。
[0008]該砸化工序為如下所述的工序，即將形成有前體膜的基板裝載于密閉的腔室，用惰性氣體填充腔室后，將作為處理氣體的砸化氫(H2Se)導入到腔室后，使腔室升溫至一定溫度并保持一定時間，從而形成砸化的CIGS層。
[0009]現有的用于形成CIGS層的熱處理裝置的腔室，由于由單金屬制造，因此若使用對于諸如H2Se、H2S等工藝氣體耐腐蝕性弱的金屬時，腔室內部被腐蝕，壽命縮短，若使用對于諸如H2Se、H2S等工藝氣體耐腐蝕性強的金屬時，腔室會受到因外部撞擊產生裂紋等損傷，或因通常使用高價的材料導致費用增加。另外，由于腔室損傷，因此存在腔室內部的氣體會向外部泄露的問題。
[0010]作為用于解決上述問題的現有技術，雖然有公開了耐腐蝕性提高的部件的韓國公開特許公報第10-2006-0050203號等，但是更需要耐腐蝕性和剛性均能確保的腔室。
【發明內容】
[0011]發明所要解決的技術問題
[0012]因此，本發明是為了解決上述現有技術的問題而提出的，其目的在于，提供一種提高耐腐蝕性和剛性并且費用低廉的熱處理裝置的腔室及其制造方法。
[0013]另外，本發明的目的在于，提供一種簡化內部結構且增加擴展性以便能夠具備多個腔室的熱處理裝置的腔室及其制造方法。
[0014]解決問題的技術方案
[0015]本發明的上述目的由如下所述的熱處理裝置的腔室來實現，該熱處理裝置包括:主體，提供裝載基板并對其進行熱處理的空間；多個肋條，以放射狀圍繞所述主體的外面，并沿著所述主體的長度方向以相同間隔配置，所述主體由第一金屬板以及第二金屬板的接合體構成，其中，所述第一金屬板構成所述主體的外面，所述第二金屬板構成所述主體的內面。
[0016]所述主體可以由多個單位主體構成。
[0017]所述主體可以通過焊接所述多個單位主體的一端邊緣而制造。
[0018]可以利用爆炸焊接、熱乳或組裝方式將所述第一金屬板以及所述第二金屬板接入口 ο
[0019]所述第一金屬板可以包括不銹鋼(SUS)或鋼(steel)中的至少任一種，所述第二金屬板可以包括鋁(Al)、鈦(Ti )、鋯(Zr)、鉭(Ta)、鈮(Nb)、鎳合金、鈦合金、鈷合金或S1-DLC(Silicon-diamond like carbon:娃-類金剛石碳)中的至少任一種。
[0020]所述主體可以呈六方體形狀。
[0021]具有所述六方體形狀的主體的邊緣可以是直角形狀或被圓角處理的圓弧形狀。
[0022]在所述主體的內側面可以設置板狀的加熱器。
[0023]另外，本發明的上述目的由如下所述的腔室的制造方法來實現，該腔室的制造方法包括如下步驟:焊接多個單位主體的一端邊緣來形成主體，將以放射狀圍繞所述主體的外面的多個肋條與所述主體進行焊接，所述主體由第一金屬板以及第二金屬板的接合體構成，其中，所述第一金屬板構成所述主體的外面，所述第二金屬板構成所述主體的內面。
[0024]發明效果
[0025]根據本發明，能夠提供一種熱處理裝置的腔室及其制造方法，由于接合兩個金屬板來構成腔室主體，因此，提高耐腐蝕性和剛性，以防止腔室損傷，同時，防止腔室內部的氣體向外部泄露的危險。
[0026]另外，根據本發明，能夠提供一種熱處理裝置的腔室及其制造方法，簡化內部結構，增加擴展性以具備多個腔室。
[0027]另外，根據本發明，能夠提供一種熱處理裝置的腔室及其制造方法，提高耐腐蝕性和剛性，實現低成本。
【附圖說明】
[0028]圖1是示出本發明的一實施例涉及的熱處理裝置的立體圖。
[0029]圖2是示出本發明的一實施例涉及的腔室的立體圖。
[0030]圖3是示出本發明的一實施例涉及的主體的立體圖。
[0031 ]圖4是示出本發明的一實施例涉及的主體的分解立體圖。
[0032]圖5是示出本發明的一實施例涉及的焊接單位主體的方法的剖視圖。
[0033]附圖標記
[0034]10:熱處理裝置主體
[0035]20:門
[0036]30、50:移送裝置
[0037]40:晶舟
[0038]45:基板
[0039]100:腔室、內部腔室
[0040]110:主體
[0041 ]110a、110aa、110ab、110ac:單位主體
[0042]111:第一金屬板
[0043]lllaa、lllab、lllba、lllbb:焊接傾斜面
[0044]112:第二金屬板
[0045]113a、113b、113c:單位主體邊緣
[0046]120:肋條
[0047]130:加熱器
[0048]140:晶舟支承部
[0049]150:焊接部
【具體實施方式】
[0050]對于后述的本發明的詳細說明，參照了例示出能夠實施本發明的特定實施例的附圖。這些實施例充分詳細說明，以便本領域技術人員能夠實施本發明。應理解為，本發明的各種實施例雖彼此不同，但無需相互排斥。例如，這里所記載的特定形狀、結構以及特性與一實施例相關，在不超出本發明的精神以及范圍的情況下，可以實現為其他實施例。另外，應理解為，各公開的實施例內的個別結構要素的位置或配置在不超出本發明的精神以及范圍的情況下可以變更。因此，后述的詳細說明并非旨在限定本發明，本發明的范圍僅被權利要求書和其等同的所有范圍限定。附圖中的相似的附圖標記在多個方面指的是相同或相似的功能，為方便起見，長度以及面積、厚度等和其形狀有可能被夸大示出。
[0051 ]下面，參照附圖，對本發明的優選實施例進行詳細說明，以便本發明所屬技術領域的普通技術人員能夠容易實施本發明。
[0052]在對本發明的一實施例涉及的熱處理裝置的腔室進行說明時，將CIGS層形成裝置為例進行說明。
[0053]圖1是示出本發明的一實施例涉及的熱處理裝置的立體圖。需要說明的是，本發明的熱處理裝置的腔室并不是限定為必須用于圖1的熱處理裝置。
[0054]參照圖1，本實施例涉及的熱處理裝置包括熱處理裝置主體10。在熱處理裝置主體10的內部形成裝載玻璃等基板45并對其進行處理的密閉的空間10a，在前面形成有出入口1b0
[0055]熱處理裝置主體10包括內部形成有密閉空間1a的內部腔室100和包圍內部腔室100的外部腔室200，出入口 1b包括形成在內部腔室100的前面的內部出入口 1ba和形成在外部腔室200的前面并與內部出入口 1ba對置的外部出入口 10bb。
[0056]在外部腔室200的前面設置有門20，該門20設置為能夠沿著熱處理裝置主體10的前后方向以及左右方向滑動，并開閉外部出入口 10bb。門20通過設置在熱處理裝置主體10的前面的移送裝置30進行滑動。可以在門20和外部腔室200的前面之間夾設有密封部件(未圖示)，以便通過門20完全封閉外部出入口 1bb。
[0057]基板45疊載保管于晶舟40上，晶舟40裝載于內部腔室100或從內部腔室100被卸載。因此，基板45以被疊載保管于晶舟40的狀態下，在內部腔室100被處理。通過設置在熱處理裝置主體10的前方側的移送裝置50，晶舟40裝載于內部腔室100或從內部腔室100被卸載。
[0058]圖2是示出本發明的一實施例涉及的腔室100的立體圖，圖3是示出本發明的一實施例涉及的主體110的立體圖，圖4是示出本發明的一實施例涉及的主體110的分解立體圖。下面，將圖1的內部腔室100假設為腔室100進行說明。
[0059 ]參照圖2時，本發明的一實施例涉及的腔室100包括主體110以及肋條120。
[0060]主體110提供裝載基板45并對其進行熱處理的空間。主體110可以呈六方體的形狀。由于主體110形成為六方體，從而腔室100的形狀也具有六方體形狀，因此，在六方體的腔室100的左側、右側或上側容易附加配置另一個腔室100。因此，具有如下優點，即可以實現具備多個腔室100的熱處理裝置，可以對大量的基板45進行熱處理。另一方面，主體110的六方體形狀的拐角部分被圓角處理為并非直角拐角的圓弧形拐角，以