有機發光顯示設備和制造有機發光顯示設備的方法
【專利說明】
[0001] 本申請要求于2014年10月14日在韓國知識產權局提交的第10-2014-0138613 號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的公開通過引用全部包含于此。
技術領域
[0002] 本發明的一個或更多個示例性實施例涉及有機發光顯示設備和制造有機發光顯 示設備的方法。
【背景技術】
[0003] 有機發光顯示設備是包括空穴注入電極、電子注入電極和形成在空穴注入電極與 電子注入電極之間的有機發射層的自發射顯示設備，在有機發射層中，從空穴注入電極注 入的空穴和從電子注入電極注入的電子復合，從而發射光。有機發光顯示設備具有諸如功 耗低、亮度高和響應時間快的各種高質量特性，因此，已經作為下一代顯示設備受到關注。
【發明內容】
[0004] 本發明的一個或更多個示例性實施例包括具有改善的顯示質量和良率的有機發 光顯示設備以及制造有機發光顯示設備的方法。
[0005] 將在下面的描述中部分地闡述附加方面，并且附加方面將部分地通過該描述而明 顯，或者可以通過給出的實施例的實踐而獲知。
[0006] 根據本發明的一個或更多個示例性實施例，有機發光顯示設備包括：基底；薄膜 晶體管，位于基底上并包括有源層、柵電極、源電極和漏電極；第一層間絕緣層，位于柵電極 與源電極之間并且位于柵電極與漏電極之間，第一層間絕緣層包括無機材料；第二層間絕 緣層，位于第一層間絕緣層與源電極之間并且位于第一層間絕緣層與漏電極之間，第二層 間絕緣層包括有機材料；第一有機層，位于源電極和漏電極上；電容器，包括第一電極、第 二電極和位于第一電極與第二電極之間的第一層間絕緣層，其中，第一電極包括與柵電極 的材料相同的材料，第二電極包括與源電極和漏電極的材料相同的材料；像素電極，位于第 二層間絕緣層中的開口中，其中，所述開口位于與薄膜晶體管和電容器相鄰的區域處，像素 電極結合到源電極和漏電極中的一個電極；有機發射層，位于像素電極上；以及對電極，位 于有機發射層上。
[0007] 在一些實施例中，像素電極可以是半透射電極，對電極是反射電極。
[0008] 在一些實施例中，像素電極可以包括第一透明導電氧化物層、半透射金屬層和第 二透明導電氧化物層。
[0009] 在一些實施例中，像素電極的端部可以位于第一層間絕緣層上，并且可以被第二 層間絕緣層覆蓋。
[0010] 在一些實施例中，設置有像素電極的開口可以形成在第二層間絕緣層和第一有機 層中。
[0011] 在一些實施例中，第二層間絕緣層中的開口的直徑可以大于第一有機層中的開口 的直徑。
[0012] 在一些實施例中，第二層間絕緣層中的開口的直徑可以小于第一有機層中的開口 的直徑。
[0013] 在一些實施例中，第一有機層的端部可以位于第二層間絕緣層中的開口的外部。
[0014] 在一些實施例中，像素電極的下表面可以接觸第一層間絕緣層的上表面。
[0015] 在一些實施例中，柵電極的厚度可以在大約6,000Λ到大約12,000Λ的范圍內。
[0016] 在一些實施例中，電容器的第二電極可以位于第二層間絕緣層中的另一個開口 中。
[0017] 在一些實施例中，電容器的第二電極的下表面可以接觸第一層間絕緣層的上表 面。
[0018] 在一些實施例中，保護層可以位于源電極上并且位于漏電極上。
[0019] 在一些實施例中，有機發光顯示設備還可以包括與源電極和漏電極位于同一層上 的墊電極。
[0020] 在一些實施例中，保護層可以位于墊電極上。
[0021] 在一些實施例中，有機發光顯示設備還可以包括位于第二層間絕緣層上并通過第 一有機層中的接觸開口接觸對電極的陰極接觸層。
[0022] 在一些實施例中，陰極接觸層可以包括與源電極和漏電極的材料相同的材料。
[0023] 在一些實施例中，保護層可以位于陰極接觸層上。
[0024] 在一些實施例中，像素電極可以包括第一透明導電氧化物層、半透射金屬層和第 二透明導電氧化物層。
[0025] 根據本發明的一個或更多個示例性實施例，制造有機發光顯示設備的方法包括以 下步驟：第一工藝，包括在基底上形成半導體層，將半導體層圖案化，從而形成薄膜晶體管 的有源層；第二工藝，包括形成第一絕緣層，在第一絕緣層上形成第一金屬層，將第一金屬 層圖案化以形成薄膜晶體管的柵電極和電容器的第一電極；第三工藝，包括形成第一層間 絕緣層，在第一層間絕緣層上形成半透射金屬層，將半透射金屬層圖案化以形成像素電極； 第四工藝，包括將第一層間絕緣層圖案化以在第一層間絕緣層中形成開口以暴露有源層的 部分；第五工藝，包括形成第二層間絕緣層，并且將第二層間絕緣層圖案化，以形成分別暴 露有源層的所述部分、像素電極的上部以及與電容器的第一電極對應的第一層間絕緣層的 開口；第六工藝，包括形成第二金屬層和保護層并且將第二金屬層和保護層圖案化以形成 源電極、漏電極、電容器的第二電極和墊電極；第七工藝，包括形成第一有機層，并且將第一 有機層圖案化以形成分別暴露像素電極的上部和墊電極的上部的開口。
[0026] 在一些實施例中，第一層間絕緣層可以包括無機膜，第二層間絕緣層可以包括有 機膜。
[0027] 在一些實施例中，在第五工藝中，可以將第二層間絕緣層圖案化，使得第二層間絕 緣層的一部分保留在像素電極的上表面上，在第七工藝中，可以將第一有機層和第二層間 絕緣層的保留部分圖案化，以暴露像素電極的上表面。
[0028] 在一些實施例中，在第七工藝中，第一有機層的端部可以位于第二層間絕緣層中 的暴露像素電極的上部的開口的外部。
【附圖說明】
[0029] 通過下面結合附圖進行的對示例性實施例的描述，這些和/或其它方面和特性將 變得明顯和更容易理解，在附圖中：
[0030] 圖1是示出根據本發明的實施例的有機發光顯示設備的示意性平面圖；
[0031] 圖2是示出根據本發明的實施例的有機發光顯示設備的發射像素和墊的某些部 分的示意性剖視圖；
[0032] 圖3A至圖3G是示出根據本發明的實施例的制造有機發光顯示設備的方法的示意 性剖視圖；
[0033] 圖4是根據本發明的實施例的有機發光顯示設備的陰極接觸部的一部分的示意 性剖視圖；
[0034] 圖5A至圖5C是示出根據本發明的另一個實施例的制造有機發光顯示設備的方法 的示意性剖視圖；
[0035] 圖6是示出根據本發明的另一個實施例的有機發光顯示設備的發光像素和墊的 某些部分的示意性剖視圖；
[0036] 圖7是示出根據本發明的實施例的第一有機層的空氣暴露時間與吸水率之間的 關系的曲線圖。
【具體實施方式】
[0037] 現在，將詳細參照本發明的示例性實施例，附圖中示出了本發明的示例性實施例 的示例，其中，同樣的附圖標記始終指示同樣的元件。給出的示例性實施例可以具有不同的 形式，并且不應該被解釋為局限于這里所闡述的描述。因此，下面通過參照附圖僅描述示例 性實施例，以對本說明書的各方面進行解釋。如這里所使用的，術語"和/或"包括一個或更 多個相關所列項的任意和全部組合。此外，當使用"可以"來描述本發明的實施例時，指的 是"本發明的一個或更多個實施例"。當諸如"......中的至少一個（種）（者）"的 表述用在一系列元件之后時，修飾的是整個系列的元件，而不是修飾該系列中的個別元件。 另外，術語"示例性"意圖表示示例或舉例說明。
[0038] 將理解的是，盡管在這里可以使用術語第一、第二、第三等來描述各種元件、組件、 區域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區域、層和/或部分不應當被這些術語限制。這些 術語僅用于將一個元件、組件、區域、層或部分與另一個元件、組件、區域、層或部分區分開。 因此，在不脫離示例實施例的教導的情況下，下面討論的第一元件、第一組件、第一區域、第 一層或第一部分可以稱為第二元件、第二組件、第二區域、第二層或第二部分。
[0039] 為了易于描述，在這里可以使用諸如"在……下面"、"在……下方"、"下面的"、 "在……上方"、"上面的"等的空間相對術語來描述附圖中示出的一個元件或特征與其它元 件或特征的關系。將理解的是，除了附圖中描繪的方位之外，空間相對術語還意圖涵蓋裝置 在使用中或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉，則描述為"在"其它元件 或特征"下方"或"下面"的元件將隨后被定位為"在"其它元件或特征的"上方"或"上面"。 因此，術語"在……下方"可包括上方和下方兩種方位。裝置可以被另行定位