層合體。
[0158] 接著，構(gòu)成圖1所示的電路，并施加直流電壓。此時，電解液101使用純水，對電極 105使用厚度為1mm的銅板。然后，將上述形成有已被圖案化的抗蝕劑的導(dǎo)電層合體，在50°C 的3質(zhì)量％氨氧化鋼水溶液中浸潰30秒，除去干膜抗蝕劑，得到經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。W 下，對導(dǎo)電層103施加+的電壓時，用正電壓值表示。反之，將對對電極105施加+的電壓的情 況用負(fù)電壓值表示。
[0159] W下，說明各實(shí)施例的步驟及結(jié)果。
[0160] (實(shí)施例1)
[0161] 按照上文中說明過的[內(nèi)涂層形成例]，形成內(nèi)涂層。在凹版漉為UR120線、凹版漉 的周速相對于線速度的比為1.2倍的條件下，在內(nèi)涂層上涂布碳納米管分散液，形成碳納米 管層。需要說明的是，根據(jù)凹版漉線數(shù)和凹版漉的周速相對于線速度的比可預(yù)測分散液的 厚度，因此碳納米管的設(shè)計膜厚也可算出。
[0162] 利用[外涂層形成例]的方法在周速比碳納米管層上設(shè)置外涂層，制作導(dǎo)電層合 體。表面電阻值為600 Ω/□，全光線透過率為90%。按照上述[經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制 造方法1]，對該導(dǎo)電層合體施加10V的直流電壓2秒，結(jié)果，確認(rèn)到圖案線是絕緣的。
[0163] (實(shí)施例2~6、比較例1)
[0164] 到內(nèi)涂層的制作為止各實(shí)施例、比較例是相同的。使各實(shí)施例、比較例中的碳納米 管分散液的涂布條件（凹版漉線數(shù)、凹版漉的周速相對于線速度的比）、碳納米管的計劃每 平方米重量及有無外涂層為表1及表2所示的組合，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作，制作 導(dǎo)電層合體。對于所制作的導(dǎo)電層合體，W表2所示的施加電壓、電壓施加時間，與實(shí)施例2 同樣地進(jìn)行圖案化。
[0165] (實(shí)施例7)
[0166] 將PET膜作為基材，使用由作為導(dǎo)電體的石墨締形成了導(dǎo)電層的Itrix Corporation制石墨締膜(尺寸50mm X 50mm)，W表2所示的施加電壓、電壓施加時間，與實(shí)施 例1同樣地進(jìn)行圖案化。
[0167] (實(shí)施例8)
[0168] 將膜作為基材，使用由作為導(dǎo)電體的導(dǎo)電性高分子形成了導(dǎo)電層的長懶產(chǎn)業(yè)(株） 制NCF-100，W表2所示的施加電壓、電壓施加時間，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行圖案化。
[0169] (實(shí)施例9)
[0170] 與實(shí)施例1同樣地操作，制作導(dǎo)電層合體。按照上文中說明過的[經(jīng)圖案化的導(dǎo)電 層合體的制造方法2]，對導(dǎo)電層合體施加5V的直流電壓20秒。確認(rèn)到該經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層 合體的細(xì)線部501是導(dǎo)通的，間隙502實(shí)現(xiàn)了絕緣。
[0171] (實(shí)施例10)
[0172] 將施加的直流電壓條件變更為5V、60秒，除此之外，利用與實(shí)施例9同樣的方法得 到經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。確認(rèn)到該經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的細(xì)線部501也是導(dǎo)通的，間隙 502也實(shí)現(xiàn)了絕緣。
[0173] 綜上，將實(shí)施例1~6、9、10及比較例1的碳納米管層形成時的凹版漉線數(shù)、碳納米 管的計劃每平方米重量示于表1中，將實(shí)施例1~10及比較例巧無外涂層、外涂層膜厚、導(dǎo) 電層合體的表面電阻值、全光線透過率、施加電壓、電壓施加時間、間隙有無絕緣、細(xì)線部有 無導(dǎo)通、及圖案化后有無外涂層殘留示于表2中。
[0174] 從表2、實(shí)施例1~3可知，對于表面電阻值為600 Ω /□、全光線透過率為90%的樣 品而言，若分別W施加電壓為10V且電壓施加時間為2秒的條件、W施加電壓為7.5V且電壓 施加時間為5秒的條件、W施加電壓為5V且電壓施加時間為15秒W上的條件來施加電壓，貝U 可將碳納米管充分除去，可實(shí)現(xiàn)絕緣。對實(shí)施例3和比較例1進(jìn)行比較可知，對于本圖案化方 法而言，電壓的極性是重要的，即使施加相反的電壓，碳納米管也不會被除去。從實(shí)施例1、 4、5可知，若選擇適當(dāng)?shù)氖┘与妷褐?、電壓施加時間，則本方法至少在全光線透過率成為 88%~92%的碳納米管存在量的范圍內(nèi)有效，無論有無外涂層，均可適用。需要說明的是， 對于設(shè)置了外涂層進(jìn)行實(shí)驗的實(shí)施例1~4、9、10而言，即使在圖案化后，外涂層仍有殘留， 圖案線與間隙的邊界不容易被目視識別。
[0175] 此外，從實(shí)施例7及8可知，本方法不僅對W碳納米管為導(dǎo)電體的導(dǎo)電層合體有效， 對于在導(dǎo)電層中含有石墨締或?qū)щ娦愿叻肿拥劝荚拥膶?dǎo)電體的導(dǎo)電層合體也是有 效的。
[0176] 此外，從實(shí)施例9及10可知，即使通過在導(dǎo)電層合體上形成已圖案化的抗蝕劑的方 法，也能夠?qū)?dǎo)電層合體圖案化。
[0177] (實(shí)施例11)
[0178] 使光掩模的圖案為靜電電容式觸摸開關(guān)動作的形狀，除此之外，與實(shí)施例1同樣地 制造經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。將其作為靜電電容式觸摸開關(guān)來安裝驅(qū)動電路，結(jié)果，確認(rèn)到 了其作為靜電電容式觸摸開關(guān)工作。
[0179] (實(shí)施例12)
[0180] 使光掩模的圖案為靜電電容式觸摸面板動作的形狀，除此之外，與實(shí)施例10同樣 地制造經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。將其作為靜電電容式觸摸面板來安裝驅(qū)動電路，結(jié)果，確認(rèn) 到了其作為靜電電容式觸摸面板工作。
[0181] 表1
[0182] [表 1]
[0183]
[0184]
[01化]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0186] 通過本發(fā)明的制造方法得到的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體可廣泛用于靜電電容式觸 摸開關(guān)、靜電電容式觸摸面板、電阻膜式觸摸面板、太陽能電池用電極等。
[0187] 附圖標(biāo)記說明
[018引 101:電解液
[0189] 102:基材
[0190] 103:導(dǎo)電層
[0191] 104:抗蝕劑
[0192] 105:對電極
[0193] 106:導(dǎo)線
[0194] 201:基材
[0195] 202:導(dǎo)電層
[0196] 203:導(dǎo)電層合體
[0197] 204:間隔物
[019引 205:下部基材
[0199] 206:電解液
[0200] 207:對電極
[0201] 301:基材
[0202] 302:導(dǎo)電層
[0203] 303:導(dǎo)電層合體
[0204] 304:間隔物 [02化]305:下部基材
[0206] 306:電解液
[0207] 307:對電極
[0208] 308:下部電極層合體
[0209] 401:電阻計
[0210] 402:+端子
[0211] 403:-端子
[0212] 404:導(dǎo)電體殘留部
[0213] 405:間隙
[0214] 406:導(dǎo)電體殘留部
[0215] 501:細(xì)線部
[0216] 502:間隙
[0217] 503:導(dǎo)電體殘留部
[0218] 504A、504B:導(dǎo)通確認(rèn)用電極連接部位
[0219] 601:導(dǎo)電層
[0220] 602:間隙
[0221] 701:電爐
[0222] 702:石英燒結(jié)板
[0223] 703:反應(yīng)器
[0224] 704:催化劑層 [02巧]705:熱電偶
[0226] 706:排氣管
[0227] 707:質(zhì)量流量控制器
[0228] 708:混合氣體導(dǎo)入管 [02巧]709:控氣儲氣瓶
[0230] 710:非活性氣體儲氣瓶
[0231] 801:相當(dāng)于細(xì)線部的部分
[0232] 802:相當(dāng)于間隙的部分
[0233] 803:相當(dāng)于導(dǎo)電體殘留部的部分
[0234] 804A、804B:相當(dāng)于導(dǎo)通確認(rèn)用電極連接部位的部分
【主權(quán)項】
1. 經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，包括以下工序： 對于導(dǎo)電層合體，在隔著電解液而存在有對電極的狀態(tài)下，以導(dǎo)電層為陽極、以對電極 為陰極地施加電壓，從導(dǎo)電層合體中除去導(dǎo)電層中的導(dǎo)電體， 所述導(dǎo)電層合體依次具有基材及導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層含有包含碳原子的導(dǎo)電體。2. 如權(quán)利要求1所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，在施加電壓時，在導(dǎo) 電層合體的導(dǎo)電層側(cè)的表面的一部分上存在掩蔽材料，所述掩蔽材料阻擋導(dǎo)電層合體與電 解液的接觸，并且已被圖案化。3. 如權(quán)利要求1所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，在施加電壓時，在對 電極的導(dǎo)電層合體側(cè)的表面的一部分上存在掩蔽材料，所述掩蔽材料阻擋對電極與電解液 的接觸，并且已被圖案化。4. 如權(quán)利要求1所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，對電極具有圖案形 狀。5. 如權(quán)利要求1~4中任一項所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，所述包 含碳原子的導(dǎo)電體為選自由碳納米管、石墨烯及導(dǎo)電性高分子組成的組中的至少1種。6. 如權(quán)利要求1~5中任一項所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，導(dǎo)電層 在施加電壓前含有絕緣物，在除去了導(dǎo)電層中的導(dǎo)電體后，在除去了導(dǎo)電體的部位仍殘留 有絕緣物。7. 如權(quán)利要求1~6中任一項所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，施加電 壓為5V以上且15V以下。8. 如權(quán)利要求1~7中任一項所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，其中，電壓的 施加時間為2秒以上且60秒以下。9. 一種經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體，其是利用權(quán)利要求1~8中任一項所述的制造方法制得 的。10. -種靜電電容式觸摸開關(guān)，其使用了權(quán)利要求9所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。11. 一種觸摸面板，其使用了權(quán)利要求9所述的經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體。
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種得到導(dǎo)電層合體的方法，所述方法可以在不使用酸等腐蝕性高的液體的情況下在短時間內(nèi)進(jìn)行圖案化。該方法是經(jīng)圖案化的導(dǎo)電層合體的制造方法，包括以下工序：對于依次具有基材及導(dǎo)電層(其含有包含碳原子的導(dǎo)電體)的導(dǎo)電層合體，在隔著電解液而存在有對電極的狀態(tài)下，以導(dǎo)電層為陽極、以對電極為陰極地施加電壓，從導(dǎo)電層合體中除去導(dǎo)電層中的導(dǎo)電體。
【IPC分類】H01B13/00, G06F3/041, B32B9/00, B32B27/18
【公開號】CN105493206
【申請?zhí)枴緾N201480047761
【發(fā)明人】大井亮, 西岡和也, 渡邊修
【申請人】東麗株式會社
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2014年8月28日
【公告號】WO2015030115A1