具有修復結構的光傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種光傳感器，尤其涉及一種具有修復結構的光傳感器。
【背景技術】
[0002]現有技術中X光探測器由于無損檢測的特性在許多領域得到廣泛的應用。現有技術的X光探測器通常包括一 X光探測面板以及與X光探測面板電性連接的一感測驅動電路。X光探測面板將光訊號轉換成電訊號，并將電訊號傳遞至感測驅動電路，從而獲得相應的圖像信息。
[0003]但是，X光探測器包含復數金屬走線，而這些金屬走線存在斷線的風險，當斷線時X光探測器無法正常運作，所以斷線的金屬線位置需進行修補。然而，X光探測器進行修補需付出相對的費用與人力，所以如何克服X光探測器于金屬線斷線時所產生的成本，成為重要的課題。
【發明內容】
[0004]本發明的目的之一，為解決光傳感器因金屬線斷線而無法正常運作的問題。
[0005]為達以上目的，本發明的具有修復結構的光傳感器包含一閘極線、一絕緣層、一汲極線、一源極線、一修復線及一光電組件。閘極線堆棧于一基板之上，絕緣層堆棧于閘極線及基板之上，汲極線堆棧于絕緣層之上，源極線堆棧于絕緣層之上，修復線平行汲極線，修復線堆棧于汲極線之上，修復線的堆棧位置對應汲極線的堆棧位置，修復線電性連接汲極線，及光電組件堆棧于源極線之上。
[0006]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，還包含:
[0007]至少一鈍態層，堆棧于該汲極線之上 '及
[0008]至少一接觸孔，貫穿該至少一鈍態層；
[0009]其中，該修復線通過該接觸孔而電性連接該汲極線。
[0010]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，該光電組件依據一入射光產生一光電訊號，該光電訊號由該汲極線輸出。
[0011]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，還包含:
[0012]一半導體層，形成于該絕緣層、該汲極線及該源極線的間，且該修復線形成于該半導體層的形成位置之上。
[0013]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，該汲極線的面電阻值為0.2?0.6 Ω/sq。
[0014]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，該修復線的面電阻值為0.01?0.5Ω/sq。
[0015]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，還包含:
[0016]一鈍態層，堆棧于該光電組件之上；
[0017]一接觸孔，貫穿該鈍態層，以裸露該光電組件；及
[0018]一共享電極線，通過該接觸孔而形成于該光電組件之上，且電性連接該光電組件。
[0019]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，還包含:
[0020]一共享電極層，堆棧于該鈍態層之上，并形成該共享電極線與該修復線。
[0021]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，該光電組件包含:
[0022]一電極，形成于該源極線之上；及
[0023]一二極管層，形成于該源極線與該電極的間，該二極管層電性連接該源極線及該電極。
[0024]根據本發明的具有修復結構的光傳感器，還包含:
[0025]一保護層，堆棧于該修復線及該共享電極線之上。
[0026]本發明的具有修復結構的光傳感器的有益效果如下:提供一種具有修復結構的光傳感器，其設置一修復線，并利用修復線解決光傳感器因金屬線斷線而無法正常運作的問題。
【附圖說明】
[0027]下面將結合附圖及實施例對本發明作進一步說明，附圖中:
[0028]圖1為本發明的具有修復結構的光傳感器的一實施例的第一俯視圖；
[0029]圖2為圖1的ZZ’線的剖面圖；
[0030]圖3為本發明的具有修復結構的光傳感器的一實施例的第二俯視圖；
[0031]圖4為圖3的AA’線的剖面圖；及
[0032]圖5為光電訊號的路徑示意圖。
[0033]圖中:
[0034]10 光傳感器
[0035]20 基板
[0036]21 閘極線
[0037]22 絕緣層
[0038]23 半導體層
[0039]24 汲極線
[0040]25 源極線
[0041]26 共享電極層
[0042]30 光電組件
[0043]31 二極管層
[0044]33 電極
[0045]40 保護層
[0046]50 入射光
[0047]260修復線
[0048]261共享電極線
[0049]270接觸孔
[0050]271接觸孔
[0051]280鈍態層
[0052]281鈍態層
[0053]S30光電訊號
【具體實施方式】
[0054]為了對本發明的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本發明的優選實施例。
[0055]請參閱圖1，為本發明的具有修復結構的光傳感器10的一實施例的第一俯視圖。如圖所示，本發明的具有修復結構的光傳感器10包含復數閘極線21、復數汲極線24、復數源極線25、復數修復線260、復數共享電極線261、復數接觸孔270及復數光電組件30。修復線260平行汲極線24，修復線260的堆棧位置對應汲極線24的堆棧位置，且修復線260電性連接汲極線24。如此，當汲極線24斷線時，光電組件30所產生的訊號可以藉由修復線260輸出，而使光傳感器10正常運作。
[0056]請參閱圖2，為圖1的ZZ’線的剖面圖。如圖所示，光傳感器10更包含一基板20、一絕緣層22、一半導體層23、復數鈍態層280、281、一共享電極層26、復數接觸孔270、271及一保護層40。閘極線21堆棧于基板20之上，絕緣層22堆棧于閘極線21及基板20之上，汲極線24堆棧于絕緣層22之上，源極線25堆棧于絕緣層22之上，修復線260堆棧于汲極線24之上，光電組件30堆棧于源極線25之上。再者，修復線260形成于半導體層23的形成位置之上，如此修復線260可以做為遮光層，而改善光漏電流的產生。
[0057]再參閱圖2，半導體層23形成于絕緣層22、汲極線24及源極線25之間，復數鈍態層280、281堆棧于該汲極線24之上，共享電極層26堆棧于鈍態層281之上并形成共享電極線261與修復線260。接觸孔270貫穿復數鈍態層280、281，如此修復線260通過接觸孔270而電性連接汲極線24