四腔室結構射頻激光器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及激光器，具體涉及四腔室結構的射頻激光器。
【背景技術】
[0002]目前市場上存在的傳統的射頻激光器都不具有四腔室結構。
[0003]功率大于百瓦的射頻激光器都是單腔結構，包括氣密激光腔和附著于激光腔外的各功能配件，有的沒有安裝位置就只能分體，如高功率射頻單元、直流電源被分離；這種單腔結構的缺陷就是:結構復雜，裝配困難，屏蔽差，調節困難，激光器工效低。
【發明內容】
[0004]鑒于上述背景情況，本發明提供一種結構簡單、緊湊、易裝配、不泄漏、低輻射、功率高、效果好的四腔室結構射頻激光器。
[0005]根據本發明的一方面，提供一種四腔室結構射頻激光器，四腔室包括:中心的氣密激光腔，和圍繞在氣密激光腔周圍的光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔；四腔室結構射頻激光器主要包括四腔室和附著于四腔室上的各功能配件；四腔室結構射頻激光器整體采用氣密激光腔在內，光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于其周圍的一體式結構。
[0006]在一個不例實施例中，一種四腔室結構射頻激光器，在一塊招材上的中心位置加工出氣密激光腔，圍繞著氣密激光腔再加工出光束整形腔，低功率射頻腔，高功率射頻腔。在低功率射頻腔與氣密激光腔之間加工出安裝預電離電極孔位；在高功率射頻腔與氣密激光腔之間加工出安裝射頻電極孔位。最后在光束整形腔，低功率射頻腔，高功率射頻腔處各加工出腔室蓋板位。
[0007]氣密激光腔內安裝有正電極板和負電極板，射頻電極穿過腔殼和正電極板連接。在氣密激光腔的一端安裝有全反射鏡，另一端安裝有部分反射鏡，在部分反射鏡的外側安裝有折返鏡座，在折返鏡座上安裝有兩片反射鏡，將部分反射鏡窗口輸出的激光束折反到光束整形腔內。激光束通過光束整形腔內的光束整形鏡整形成接近于圓形光束平行輸出。
[0008]高功率射頻腔由控制單元、高功率射頻單元兩部分組成，并且內部安裝有大功率穿芯電容用于引入電流，旁邊還有負極線連接孔。
[0009]低功率射頻腔由驅動分配單元、驅動單元、預電離單元三部分組成，各單元之間都是各自獨立的，各單元之間的導線都安裝在線槽內，這樣確保線路信號不受干擾。控制信號從控制單元進入低功率射頻腔是通過同軸的一對穿芯電容實現的，這樣防止高功率射頻單元內射頻電流對控制信號的干擾。
[0010]光束整形腔內安裝有光束整形鏡和直流電源兩部分。
[0011]優選地，四腔室結構射頻激光器整體呈長方體形。
[0012]優選地，氣密激光腔位于四腔室結構射頻激光器的中心位置。
[0013]優選地，光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于氣密激光腔的外圍。
[0014]優選地，氣密激光腔、光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔是在一塊鋁材上加工而成，它們是一個整體。
[0015]優選地，在光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔外都有蓋板密封各自腔室。
[0016]優選地，在低功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有預電離電極。
[0017]優選地，在高功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有射頻電極。
[0018]優選地，在光束整形腔內安裝有光束整形鏡和直流電源。
[0019]優選地，在氣密激光腔內安裝有正電極板和負電極板，射頻電極穿過腔殼與正電極板連接。
[0020]優選地，高功率射頻腔由控制單元、高功率射頻單元組成，并且腔內安裝有大功率穿芯電容用于引入電流，旁邊還有負極線連接孔
[0021 ] 優選地，低功率射頻腔由驅動分配單元、驅動單元、預電離單元組成。
[0022]優選地，低功率射頻腔內的各單元之間都是各自獨立的，各單元之間的導線都安裝在線槽內，這樣確保線路信號不受干擾。控制信號從控制單元進入低功率射頻腔是通過同軸的一對穿芯電容實現的，這樣防止高功率射頻單元內射頻電流對控制信號的干擾。
[0023]優選地，在氣密激光腔的一端安裝有全反射鏡，另一端安裝有部分反射鏡，在部分反射鏡的外側安裝有折返鏡座，在折返鏡座上裝有兩片反射鏡，將部分反射鏡窗口輸出的激光束折反到光束整形腔內。激光束通過光束整形腔內的光束整形鏡整形成接近于圓形光束平行輸出。
[0024]與傳統的射頻激光器相比，四腔室結構射頻激光器具有結構簡單、緊湊、易裝配、不泄漏、低輻射、功率高、效果好等優點。
【附圖說明】
[0025]結合以下附圖來詳細描述本發明的示例實施例，附圖中:
[0026]圖1示出了根據本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器的橫斷面剖視圖。
[0027]圖2示出了根據本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器的右視圖，即低功率射頻腔部位；
[0028]圖3示出了根據本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器的左視圖，即光束整形腔部位；
[0029]圖4示出了根據本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器的俯視圖，即高功率射頻腔部位；
[0030]附圖中，相同或相似的部件由相同或相似的參考標號表示。
【具體實施方式】
[0031]以下結合附圖來詳細描述本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器。
[0032]圖1示出了根據本發明的示例實施例的四腔室結構射頻激光器的橫斷面剖視圖。
[0033]如圖1所示，四腔室結構射頻激光器整體成長方體形，采用四腔室結構，四腔室包括中心氣密激光腔2，和圍繞在氣密激光腔2周圍的光束整形腔5、低功率射頻腔4、高功率射頻腔3，四腔室結構射頻激光器主要包括四腔室和附著于四腔室上的各功能配件。
[0034]如圖1所示一種四腔室結構射頻激光器，是在一塊鋁材上的中心位置加工出氣密激光腔2，圍