硅片傳輸控制方法及系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造領域，特別是涉及一種硅片傳輸控制方法及系統。
【背景技術】
[0002]在半導體制造工廠中，對硅片進行刻蝕工藝時，需要使硅片按照預先設定好的路徑在機臺的各個模塊間傳輸。通常，硅片的傳輸路徑為:片盒(LoadPort，簡稱LP)、大氣機械手、傳輸腔(LoadLock,簡稱LL)、真空機械手、工藝腔室(ProcessModule,簡稱PM)、真空機械手、傳輸腔、大氣機械手、片盒。
[0003]在硅片傳輸的過程中，為了保證以較優的效率完成整個工藝制程，控制系統判斷只要有可以移動的路徑，機械手即進行傳片。例如，第一片硅片在工藝腔室中進行工藝時，第二片硅片已從片盒中取出，在傳輸腔中等待。等第一片硅片工藝結束從工藝腔室中取出后，機械手將第二片硅片從傳輸腔中取出并放入工藝腔室中進行工藝。
[0004]在工藝時間較長的情況下，這種傳輸方法會導致機臺中各個模塊都有可能存在正在等待傳輸的已工藝的或未工藝的硅片。硅片如果長時間在機臺中等待，一方面機臺中的殘留顆粒會對硅片造成一些不必要的污染，影響良率；另一方面也會造成傳輸腔被占用，當有其他工藝制程同時進行調度時，無法進行傳輸，從而降低了傳輸效率。
【發明內容】
[0005]為解決這一問題，本發明提出了一種硅片傳輸控制方法及系統，避免了硅片在機臺中長時間等待，以減少??圭片的污染，提升機臺良率和5圭片傳輸效率。
[0006]為實現本發明目的而提供的硅片傳輸控制方法，包括以下步驟:
[0007]在工藝過程中，實時計算工藝腔室中的當前硅片的工藝剩余時間；
[0008]比較所述當前硅片的工藝剩余時間與預設的傳片時間之間的大小，其中，所述預設的傳片時間為機械手將片盒中的硅片傳輸至對應工藝腔室所需的平均時間；
[0009]若所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間，則控制機械手執行下一片硅片的傳片動作。
[0010]其中，所述在工藝過程中，實時檢測工藝腔室中的當前硅片的工藝剩余時間，包括以下步驟:
[0011]在工藝開始后，實時監測工藝腔室中的所述當前硅片的工藝進行時間；
[0012]根據獲取的所述當前硅片的工藝進行時間和工藝制程中預設的當前硅片的總工藝時間，計算所述當前硅片的工藝剩余時間，所述當前硅片的工藝剩余時間等于所述當前硅片的總工藝時間與所述當前硅片的工藝進行時間的差值。
[0013]其中，所述若所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間，則控制機械手進行下一片硅片的傳片動作，包括以下步驟:
[0014]若所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間，則判斷片盒中是否還存在未進行工藝的硅片；
[0015]若判斷為是，則控制機械手從所述片盒中取片，然后將取出的硅片按照工藝制程中的傳輸路徑進行傳輸；
[0016]若判斷為否，則等待當前硅片的工藝完成，并在工藝完成后結束工藝制程。
[0017]作為一種可實施方式，所述預設的傳片時間為30s_35s。
[0018]作為一種可實施方式，本發明的硅片傳輸控制方法，還包括以下步驟:
[0019]在工藝開始前，取首次進行工藝的硅片作為輸入，計算初始的硅片傳輸序列；
[0020]在工藝過程中，在判斷所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間，且所述片盒中還存在未進彳丁工藝的5圭片后，將當如工藝腔室中的娃片和所述片盒中下一片需要進行該工藝制程的硅片作為輸入，重新計算所述硅片傳輸序列。
[0021]相應地，為實現本發明目的而提供的硅片傳輸控制系統，包括依次連接的計算模塊、比較模塊以及控制模塊；
[0022]所述計算模塊，用于在工藝過程中，實時計算工藝腔室中的當前硅片的工藝剩余時間；
[0023]所述比較模塊，用于比較所述當前硅片的工藝剩余時間與預設的傳片時間之間的大小，其中，所述預設的傳片時間為機械手將片盒中的硅片傳輸至對應工藝腔室所需的平均時間；
[0024]所述控制模塊，用于在所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間時，控制機械手執行下一片硅片的傳片動作。
[0025]其中，所述計算模塊包括依次連接的監測單元和計算單元；
[0026]所述監測單元，用于在工藝開始后，實時監測工藝腔室中的所述當前硅片的工藝進行時間；
[0027]所述計算單元，用于根據獲取的所述當前硅片的工藝進行時間和工藝制程中預設的當前硅片的總工藝時間，計算所述當前硅片的工藝剩余時間，所述當前硅片的工藝剩余時間等于所述當前硅片的總工藝時間與所述當前硅片的工藝進行時間的差值。
[0028]其中，所述控制模塊包括判斷單元、取片單元以及工藝結束單元，所述取片單元和工藝結束單元分別與所述判斷單元連接；
[0029]所述判斷單元，用于在所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間時，判斷片盒中是否還存在未進行工藝的硅片；
[0030]所述取片單元，用于在所述判斷單元判斷所述片盒中還存在所述未進行工藝的硅片時，控制機械手從所述片盒中取片，然后將取出的硅片按照工藝制程中的傳輸路徑進行傳輸；
[0031]所述工藝結束單元，用于在所述判斷單元判斷所述片盒中不存在所述未進行工藝的硅片時，等待當前硅片的工藝完成，并在工藝完成后結束工藝制程。
[0032]作為一種可實施方式，所述預設的傳片時間為30s_35s。
[0033]作為一種可實施方式，本發明的娃片傳輸控制系統，還包括第一傳輸序列計算模塊和第二傳輸序列計算模塊；
[0034]所述第一傳輸序列計算模塊，用于在工藝開始前，取首次進行工藝的硅片作為輸入，計算初始的硅片傳輸序列；
[0035]所述第二傳輸序列計算模塊，用于在工藝過程中，在判斷所述當前硅片的工藝剩余時間小于或等于所述預設的傳片時間，且所述片盒中還存在未進行工藝的硅片后，將當前工藝腔室中的硅片和所述片盒中下一片需要進行該工藝制程的硅片作為輸入，重新計算所述娃片傳輸序列。
[0036]本發明的有益效果為:
[0037]本發明提供的硅片傳輸控制方法及系統，通過比較工藝腔室中的當前硅片的工藝剩余時間與預設的機械手將片盒中的硅片傳輸至對應工藝腔室所需的平均時間來判斷是否從片盒中取下一片硅片進行傳輸。這樣，在工藝腔室中的當前硅片的工藝即將結束之前，準備好下一片將要進入腔室的硅片，在將硅片傳輸至工藝腔室的過程中，減少甚至消除了硅片在傳輸腔中的等待時間，從而避免了由于等待造成的硅片的污染，在提升了硅片傳輸效率的同時提高了機臺良率。
【附圖說明】
[0038]為了使本發明的硅片傳輸控制方法及系統的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合具體附圖及具體實施例，對本發明硅片傳輸控制方法及系統進行進一步詳細說明。
[0039]圖1為本發明的硅片傳輸控制方法的一個實施例的流程圖；
[0040]圖2為本發明的硅片傳輸控制方法的另一個實施例的流程圖；
[0041]圖3為本發明的硅片傳輸控制系統的一個實施例的系統結構圖。
【具體實施方式】
[0042]下面結合說明書附圖，對本發明實施例提供的硅片傳輸控制方法及系統進行說明。
[0043]參見圖1，本發明提供的硅片傳輸控制方法，包括以下步驟:
[0044]S100，在工藝過程中，實時計算工藝腔室中的當前硅片的工藝剩余時間；
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