導電磁性連接結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體設備領域，更具體地說，涉及器件之間進行連接和導電的結構。
【背景技術】
[0002]半導體設備通常是由安裝在框架上的各種半導體部件組成，在其中的部分框架上還鋪設有軌道，使得一些部件能夠沿著軌道移動。半導體設備中的各種半導體部件主要是由電力驅動，因此會有一個供電器件來為其它的半導體部件供電。在一些應用中，數個半導體部件是輪流工作，為了降低實現的成本和節約半導體設備的內部空間，數個半導體部件會共用一個供電器件，這個供電器件會來回移動，分別在不同的時間段內為不同的半導體部件供電，因為這些半導體部件不是同時工作而是按照一定的順序工作，這種設計是可行的。
[0003]傳統的實現方式中，供電器件和半導體部件之間采用剛性導電結構連接，剛性導電結構分別設置在供電器件和半導體部件上，當兩個部件移動到足夠近的位置，兩邊的剛性導電部件接觸，電路接通，如果兩邊的剛性導電部件分離，則電路中斷。剛性導電結構的一個缺點是穩定性欠佳。如果半導體部件或者供電器件由于意料之外的移動或者晃動而出現移位時，剛性導電結構很容易斷開而導致供電中斷，迫使半導體部件停止工作造成損失甚至事故的發生。
【發明內容】
[0004]本發明旨在提出一種新型的連接裝置，采用磁性連接取代剛性連接以獲得更好的連接穩定性。
[0005]根據本發明的一實施例，提出一種連接裝置，包括主動端部件和從動端部件。主動端部件安裝在第一器件上，主動端部件具有第一磁性連接器，主動端部件具有第一導電通路。從動端部件安裝在第二器件上，從動端部件具有第二磁性連接器，從動端部件具有第二導電通路。第一磁性連接器和第二磁性連接器具有相反的極性，第一磁性連接器和第二磁性連接器在磁力作用下吸附并接觸時，第一導電通路和第二導電通路接通。
[0006]在一個實施例中，主動端部件包括第一基座、第一支架和第一磁性連接器，第一基座固定在第一器件上，第一支架固定在第一基座上，第一磁性連接器安裝在第一支架上；第一導電通路由第一磁性連接器端面上的接電點起，經過第一支架和第一基座接入第一器件的電路中。從動端部件包括第二基座、第二支架和第二磁性連接器，第二基座固定在第二器件上，第二支架固定在第二基座上，第二磁性連接器安裝在第二支架上；第二導電通路由第二磁性連接器端面上的接電點起，經過第二支架和第二基座接入第二器件的電路中。
[0007]在一個實施例中，第一器件和第二器件互相接近使得第一磁性連接器和第二磁性連接器接觸，第一磁性連接器和第二磁性連接器端面上的接電點接觸，第一導電通路和第二導電通路接通。
[0008]在一個實施例中，向第一器件和第二器件施加分離力，當分離力大于第一磁性連接器和第二磁性連接器之間相互吸合的磁力時，第一磁性連接器和第二磁性連接器分離，第一導電通路和第二導電通路斷開。
[0009]在一個實施例中，第一器件是能移動的供電器件，第二器件是固定的用電器件；第一器件向接近第二器件的方向移動，第一磁性連接器和第二磁性連接器接觸，第一導電通路和第二導電通路接通，第一器件向第二器件供電；第一器件向遠離第二器件的方向移動，向第一器件施加大于第一磁性連接器和第二磁性連接器之間相互吸合的磁力的分離力，第一磁性連接器和第二磁性連接器分離，第一導電通路和第二導電通路斷開，第一器件停止向第二器件供電。
[0010]在一個實施例中，第一導電通路是貫穿第一磁性連接器、第一支架和第一基座的金屬導體，金屬導體在第一磁性連接器的端面上形成接電點；第二導電通路是貫穿第二磁性連接器、第二支架和第二基座的金屬導體，金屬導體在第二磁性連接器的端面上形成接電點。
[0011]在一個實施例中，第一磁性連接器、第一支架和第一基座均為金屬制，第一磁性連接器、第一支架和第一基座構成第一導電通路，第一磁性連接器的整個端面為接電點；第二磁性連接器、第二支架和第二基座均為金屬制，第二磁性連接器、第二支架和第二基座構成第二導電通路，第二磁性連接器的整個端面為接電點。
[0012]本發明的連接裝置采用磁性連接，利用磁力提供比較穩定的連接，只有當分離力大于磁力時才會使得連接裝置分開，從而可以避免由于意外情況而造成的不期望的連接裝置斷開而導致的供電中斷的情況。
【附圖說明】
[0013]本發明上述的以及其他的特征、性質和優勢將通過下面結合附圖和實施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標記始終表示相同的特征，其中:
[0014]圖1揭示了根據本發明的一實施例的連接裝置的結構圖，其中連接裝置處于相互分離的狀態。
[0015]圖2揭示了根據本發明的一實施例的連接裝置的結構圖，其中連接裝置處于相互接觸的狀態。
【具體實施方式】
[0016]參考圖1和圖2所示，本發明提出一種連接裝置，包括:主動端部件和從動端部件。主動端部件100安裝在第一器件(圖中未示出)上，主動端部件具有第一磁性連接器102，主動端部件還具有第一導電通路。從動端部件200安裝在第二器件(圖中未示出)上，從動端部件具有第二磁性連接器202，從動端部件具有第二導電通路。第一磁性連接器102和第二磁性連接器202具有相反的極性，第一磁性連接器102和第二磁性連接器202在磁力作用下吸附并接觸時，第一導電通路和第二導電通路接通。
[0017]在圖示的實施例中，主動端部件100包括第一基座104、第一支架106和第一磁性連接器102。第一基座104固定在第一器件上，第一支架106固定在第一基座104上，第一磁性連接器102安裝在第一支架106上。第一導電通路由第一磁性連接器端面上的接電點起，經過第一支架和第一基座接入第一器件的電路中。從動端部件200包括第二基座204、第二支架206和第二磁性連接器202。第二基座204固定在第二器件上，第二支架206固定在第二基座204上，第二磁性連接器202安裝在第二支架206上。第二導電通路由第二磁性連接器端面上的接電點起，經過第二支架和第二基座接入第二器件的電路中。在一個實施例中，第一磁性連接器102和第二磁性連接器202均由永磁體構成。
[0018]在一個實施例中，第一導電通路是貫穿第一磁性連接器102、第一支架106和第一基座104的金屬導體，金屬導體在第一磁性連接器102的端面上形成接電點。第二導電通路是貫穿第二磁性連接器202、第二支架206和第二基座204的金屬導體，金屬導體在第二磁性連接器202的端面