垂直式平板式加熱器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明提供了一種加熱器，尤其指一種不會發生結構變形的垂直式平板式加熱器。
【背景技術】
[0002]請參閱圖1，圖1為公知技術的一傳統加熱器10的示意圖。加熱器10包含有一加熱板12以及一支撐柱14。支撐柱14設置于加熱板12的兩端面的其中一端面的一中心位置，用來支撐加熱板12以固定其位置。支撐柱14用來推動加熱板12水平位移以靠近待加熱物18，因此傳統加熱器10為水平式加熱器。然而在水平式加熱器的兩個端面中，一個端面是平滑無任何組件，另一個端面則設置有支撐柱14，會造成兩端面的剛性不平均及拘束條件不對等的問題，使得在加熱器10的溫度升高時，加熱板12會因產生結構彎曲變形，力口熱板12會與待加熱物18 (例如基板、電極等)形成點接觸，而導致溫度不均勻的缺陷產生。
[0003]其中一種公知的解決方式是將一支架16設置在加熱板12的端面，支架16可由金屬材質或絕緣材質所組成。此種解決方式是利用支架16的剛性來限制加熱板12的形變量。然而此種強制導正方式會使得加熱板12在不同的溫度環境下(如高溫狀態或低溫狀態)，有著不同的形變趨勢。因此，如何設計出一種適用各種環境下，且不易發生結構變形的加熱器，即為相關產業的重點發展目標。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是提供一種不會發生結構變形的垂直式平板式加熱器，以解決上述的問題。
[0005]為實現上述目的，本發明提供的垂直式平板式加熱器，包含有一加熱板、一第一支撐架、一第二支撐架、二夾持單元、至少一連結構件以及復數個壓塊。該加熱板是應用于一大尺寸基板。該二個夾持單元設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊。該至少一連結構件連接該相對應夾持單元，且以可活動方式設置于該第一支撐架內。該復數個壓塊分別設置于該加熱板的復數個端角。該夾持單元是由該第一支撐架與該連結構件沿著一第一方向移動，使得該加熱板可經由各壓塊抵接在該基板，以調整該加熱板與該基板之間的平行度。
[0006]其中，該二夾持單元分別夾持該上端邊與該下端邊的中心位置。
[0007]其中，該連結構件與該夾持單元為一線性導向組合。
[0008]其中，該垂直式平板式加熱器另包含有一球型軸承，設置于該夾持單元與該連結構件之間。該夾持單兀是由該球型軸承，以沿著相異該第一方向的一第二方向與一第三方向軸向旋轉。
[0009]其中，該球型軸承為一萬向球座。
[0010]其中，該第二方向相異于該第三方向。
[0011]其中，該垂直式平板式加熱器另包含有一外部驅動單元，其電連接于該連結構件。該外部驅動單元驅動該連結構件相對該第一支撐架移動。
[0012]其中，該垂直式平板式加熱器是應用于等離子體系統的加熱工藝。
[0013]本發明還提供一種垂直式平板式加熱器，包含有一加熱板、一第二支撐架、二夾持單元、一球型軸承以及復數個壓塊。該加熱板是應用于一大尺寸基板。該二個夾持單元設置于該第二支撐架上，且分別夾持于該加熱板的一上端邊與一下端邊。該球型軸承設置于該夾持單元與該加熱板之間。該復數個壓塊分別設置于該加熱板的復數個端角。該夾持單元是由該球型軸承產生軸向旋轉，使得該加熱板經由各壓塊活動地抵接在該基板，以調整該加熱板相對該基板的平行度。
[0014]本發明的垂直式平板式加熱器不破壞加熱板的表面結構，可確保加熱板的兩表面的剛性及拘束條件對等，故不會因加熱膨脹而產生過度彎曲變形的缺點。再者，本發明的垂直式平板式加熱器可自適地調整加熱板的旋轉角度，以達到加熱板表面與被加熱物表面的良好平行質量，同時亦達到良好的默認間距質量。
【附圖說明】
[0015]圖1為公知技術的傳統加熱器的示意圖。
[0016]圖2為本發明實施例的垂直式平板式加熱器的示意圖。
[0017]附圖中的符號說明:
[0018]10加熱器，12加熱板，14支撐柱，16支架，20垂直式平板式加熱器，22加熱板，221上端邊，223下端邊，24第二支撐架，26夾持單元，28壓塊，30第一支撐架，32連結構件，34球型軸承，36外部驅動單兀，Dl第一方向，D2第二方向，D3第三方向。
【具體實施方式】
[0019]請參閱圖2，圖2為本發明實施例的一垂直式平板式加熱器20的示意圖。垂直式平板式加熱器20的垂直方向是相對于放置垂直式平板式加熱器20的水平面而言。垂直式平板式加熱器20 —般是應用于等離子體系統的加熱工藝，可自動調整加熱器表面與欲進行加熱的電極表面的平行度，且較佳地適用于加工大尺寸的電極基板。例如，此大尺寸電極基板的長度、寬度皆大于一米(公尺)。垂直式平板式加熱器20包含有一加熱板22、一第二支撐架24、二夾持單元26、復數個壓塊28、一第一支撐架30、至少一連結構件32、一球型軸承34以及一外部驅動單元36。加熱板22是以直立方式應用于本發明的垂直式平板式加熱器20。兩個夾持單元26設置于第二支撐架24上，并分別夾持加熱板22的上端邊221與一下端邊223的中心位置(重心位置)，以確保第二支撐架24與夾持單元26可穩固地抓持，而不致造成加熱板22歪斜傾倒。垂直式平板式加熱器20可較佳地將四個壓塊28分別設置在加熱板22的四個端角，用來自適地調整加熱板22與被加熱物(例如電極基板)的表面平行度。
[0020]如圖2所示，連結構件32的一端以可活動方式設置于第一支撐架30內，且連結構件32的另一段是由球型軸承34而連接相應的夾持單元26上。或者，垂直式平板式加熱器20可包含額外的球型軸承34，另設置在夾持單元26與加熱板22之間，使夾持單元26可利用球型軸承34相對加熱板22軸向旋轉；此狀態下，夾持單元26和連結構件32之間是非必要地設置球型軸承34。球型軸承34的位置端視設計需求而定。本發明的垂直式平板式加熱器20可較佳地于兩個夾持單元26皆分別配置一組連結構件32與球型軸承34，因此加熱板22可利用連結構件32與夾持單元26的線性導向組合，而沿著第一方向Dl相對第一支撐架30微幅傾斜；另一方面，球型軸承34可為一萬向球座，意即加熱板22可通過設置在夾持單元26與連結構件32之間的球型軸承34，微幅地沿著相異第一方向Dl的一第二方向D2與一第三方向D3軸向旋轉。其中第二方向D2實質上垂直于第三方向D3。再者,夕卜部驅動單元36是電連接于連結構件32。外部驅動單元36可為一馬達、汽缸、引擎等電動機，用來推動加熱板22移動以接近或遠離被加熱物(電極基板)。
[0021]詳細地說，本發明的垂直式平板式加熱器20是利用兩個夾持單元26分別夾持加熱板22的上端邊221及下端邊223，以小范圍