放電燈、具有該放電燈的光源裝置以及放電燈用發送器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及放電燈，尤其涉及具有發送器的放電燈以及具有該放電燈的光源裝置，該發送器發送用于防止安裝錯誤以及不恰當的點亮以安全地進行點亮的信息。
【背景技術】
[0002]作為在半導體、液晶面板或印刷布線板等上形成圖案的曝光裝置的光源，使用了短弧型放電燈。存在如下等放電燈:封入有作為放電氣體的Xe氣、Kr氣、Ar氣等稀有氣體和水銀的放電燈；作為放映機或投影儀的光源來使用的稀有氣體型放電燈；或者除放電氣體和水銀之外還封入有金屬蒸氣的金屬蒸氣放電燈。此外，在這些放電燈中還存在在常溫下在發光管內封入有1個氣壓以上的放電氣體和金屬蒸氣的短弧型放電燈。以下，將這些封入有放電氣體的放電燈簡稱作燈或者放電燈。
[0003]分別對燈預先確定最佳的電氣特性和冷卻條件，并在該條件下使其點亮，由此，燈能夠發揮原本的性能。在光源裝置上安裝燈并使其點亮時，如果誤將與原本應在該裝置中使用的燈不同的燈點亮，則按照不恰當的電氣特性點亮了燈，不僅無法獲得所需的照度，還會對燈施加不必要的負荷，從而導致燈的破裂等。
[0004]并且，當誤將已經以某種程度點亮過的燈作為未使用的燈安裝在光源裝置上并使其點亮時，由光源裝置測定出的燈的點亮時間與實際的燈的累積點亮時間之間產生差異，從而超過燈使用極限時間(燈壽命時間，能夠在不發生不良的情況下點亮燈的極限時間)地點亮了燈，會導致燈破損。除此之外，在該放電燈是需要根據點亮時間來改變點亮電力(或者電流、電壓)的燈的情況下，如果由光源裝置測定出的燈的點亮時間與實際的燈的累積點亮時間之間產生了差異，則無法以與實際的燈的累積點亮時間對應的恰當電力進行點亮。其結果是，會對燈施加不必要的負荷，導致燈破損。
[0005]基于這樣的理由，需要由光源裝置對燈的類型和點亮時間等燈信息進行管理。以下，列舉與此相關的現有技術的例子。
[0006]專利文獻1或專利文獻2所公開的技術將封入有高壓氣體的燈的信息記錄在1C標簽中。并且，通過設置于光源裝置的讀寫器讀出記錄在1C標簽中的燈信息，電源的控制部參考所讀出的信息，進行能否點亮燈的判斷或者點亮控制。
[0007]【專利文獻1】日本特開2008-269976號公報
[0008]【專利文獻2】日本特開2008-269977號公報
[0009]但是，已經判明在上述燈中存在以下的問題。
[0010]為了通過讀寫器從1C標簽中讀出信息，需要與讀寫器相對地配置1C標簽，兩者的間隔距離為十幾_左右。因此，讀寫器需要配置在燈供電線的附近。如果讀寫器被設置在燈供電線的附近，則不僅會由于點亮所產生的燈的熱量而成為高溫狀態，還會被點亮所產生的紫外線照射。因此，存在讀寫器發生故障、從而燈信息未被記錄到1C標簽中的情況。
[0011]燈從點亮開始直至達到燈壽命時間為止，不止被一個光源裝置進行點亮。有時雖然沒有達到燈壽命時間，但被重新安裝到不同的光源裝置進行點亮。在該情況下，記錄在1C標簽中的燈的累積點亮時間未必與實際的燈的累積點亮時間一致。這是由多個光源裝置間的光源裝置規格的不同或1C標簽與光源裝置的信息傳遞的不良等造成的。
[0012]例如，在多個光源裝置中存在不具有讀寫器的光源裝置的情況下，無法將該光源裝置中的點亮時間傳遞到1C標簽。同時，對于這種光源裝置，也無法經由讀寫器將燈信息傳遞到光源裝置。
[0013]此外，對于記錄在1C標簽中的燈的點亮時間的更新，通過在燈點亮結束時將光源裝置計測出的燈的點亮時間傳遞到1C標簽而進行了更新。因此，如果產生光源裝置的故障等問題，則點亮時間未被傳遞到1C標簽，從而燈的點亮時間未被更新。其結果是，實際的點亮時間與記錄在1C標簽中的點亮時間不一致。
【發明內容】
[0014]為了解決上述問題，在本發明中，燈具備:發光管；在發光管內相對的一對電極；以及供電結構，其具有用于向電極供給電力的燈供電線和供電端子，在該燈中，構成為在燈供電線上具有將與燈信息對應的信號疊加到點亮電流的發送器。
[0015]發送器被配置成圍著燈供電線，通過使點亮電流流過燈供電線來進行發送器的工作和動作。
[0016]光源裝置具有以下單元:根據燈信息判斷能否點亮燈的單元；以及在判斷出不能點亮燈的情況下將燈控制成無法正常使用的單元。并且，光源裝置具有根據燈信息控制燈點亮電力的單元。
[0017]根據本發明，除了預先記錄在發送器中的燈信息之外，還能夠單獨通過發送器來測定燈點亮時間等。即使未設置1C標簽的讀寫器那樣的燈信息傳遞單元，也能夠通過將燈信息疊加到點亮電流而將其傳遞到燈電源。并且，能夠利用點亮電流流過燈供電線這一情況，使發送器進行工作，即使在燈長時間沒有被點亮的情況下，發送器也能夠可靠地進行工作。由此，可控制成燈電源能夠根據燈信息恰當地將燈點亮。
【附圖說明】
[0018]圖1是示出了本發明實施例中的燈和光源裝置的圖。
[0019]圖2是能否繼續點亮的判斷和點亮電力調整的流程圖。
[0020]圖3是示出了本發明實施例中的發送器的圖。
[0021 ] 圖4是示出了本發明實施例中的發送器的另一例的圖。
[0022]標號說明
[0023]1:燈；5:燈供電線；6:發送器；7:光源裝置；10:燈電源；12:發送部。
【具體實施方式】
[0024]本發明的實施例是一種燈，該燈具有將與燈信息對應的頻率疊加到點亮電流的發送器，本發明的實施例還是一種光源裝置，該光源裝置從疊加到點亮電流的頻率中讀出燈信息，根據所讀出的燈信息對電源進行控制。燈信息例如包含以下信息中的任意一個或者這些信息的組合信息:燈類型、累積點亮時間、與累積點亮時間對應的恰當的點亮電力特性相關的信息、型號、批號、識別編號、額定燈電流、額定燈電壓、冷卻條件、在裝置上的安裝方向、燈壽命時間。
[0025]圖1是使用了實施例的燈和光源裝置的概略整體圖。
[0026]在圖1中，燈1是在半導體、液晶面板或印刷布線板等上形成圖案的曝光裝置用的短弧型放電燈，點亮電流在直流10A以上。發光管2是在內部具有一對電極(未圖示)，并通過放電進行發光的部分。密封管3是密封發光管2并且保持電極的部分。燈頭4是從外部接受電力并且通過光源裝置保持放電燈的部分。燈供電線5是向放電燈供給電力的導線。燈供電線5與放電燈的電極電連接，并從燈頭4被引出。在燈供電線5上，以沿周向圍著燈供電線5的方式接近地配置有發送器6。
[0027]燈供電線5經由光源裝置7的連接器8與光源裝置7內的光源裝置側供電線9電連接。光源裝置側供電線9與燈電源10連接。燈1與電源10的供電距離、即燈供電線5和光源裝置側供電線9相加后的長度大概為10m左右。
[0028]當從燈電源10經由光源裝置側供電線9和燈供電線5向燈1供給點亮電力時，燈
1點亮。
[0029]發送器6利用點亮電流流過燈供電線5這一情況進行工作。發送器6將與燈信息對應的頻率疊加到點亮電流。
[0030]燈電源10經由例如與光源裝置側供電線9耦合的電流互感器檢測疊加于燈供電線5和光源裝置側供電線9中流過的點亮電流的頻率，并將其檢測輸出轉換成燈信息。在點亮電流中沒有疊加與燈信息對應的頻率的情況下，燈電源10使燈1熄滅，或者向作業人員發出警告。
[0031]設燈電源10具有以下單元:根據燈信息判斷能否繼續點亮燈的單元；以及在判斷出不能點亮燈的情況下，將所述放電燈控制成無法正常使用的單元。能否繼續點亮的判斷例如是指，在從發送器6傳遞來的燈的類型或累積點亮時間與光源裝置中原本設定的燈種類不同、或者超過燈壽命時間的情況下，判斷為不能繼續點亮，向作業人員發出警告或者使燈1熄滅。
[0032]設燈電源10具有以下單元，該單元根據燈信息判斷燈點亮電力的特性，并對燈點亮電力的特性、即點亮電力值、或者點亮電力的電流值或電壓值中的任意一方進行控制(以下為點亮電力控制)。例如，當判斷為能夠繼續點亮時，燈電源10根據從發送器6傳遞來的累積點亮時間，將供給到燈1的點亮電力控制為與預先確定的點亮時間對應的點亮電力的特性。
[0033]在將燈1點亮的過程中，按照一定時間間隔或者間斷地實施燈電源10中的能否繼續點亮的判斷、以及點亮電力控制。
[0034]圖2針對能否繼續點亮燈的判斷以及點亮電力控制，示出燈電源10的概略流程圖的一例。燈電源10向燈1供給點亮電力，使燈點亮(S101)。然后，燈電源10檢測通過燈所具有的發送器6疊加到點亮電流的頻率(S102)，并轉換成燈信息。這時，在未能檢測出疊加到點亮電流的頻率、即在頻率沒有被疊加到點亮電流的情況下，通過控制單元使燈熄滅/發出警告(S107)，并結束流程。接著，根據對檢測出的頻率進行轉換而得到的燈信息，判斷所點亮的燈的類型是否恰當(S103)，在不恰當的情況下，使燈熄滅/發出警告(S107)，并結束流程。接著，根據所獲得的燈信息，判斷所點亮的燈的累積點亮時間是否小于預先設定的燈壽命時間(S104)，在累積點亮時間在燈壽命時間以上的情況下，使燈熄滅/發出警告(S107)，并結束流程。接著，判斷所點亮的燈是否是需要根據累積點亮時