的分別 具有上表面1902c、1904c和下表面1902d、1904d的中空板。部分1902b和1904b均以與參 考圖13所示出和描述的電極1302的部分1302b類似的方式來構造。光1914透射穿過電 極1902的部分1902a和電極1904的部分1904a以被光檢測器1916所檢測，而X射線1915 透射穿過電極1902的部分1902b和電極1904的部分1904b以被X射線檢測器1918所檢 測。圖20示出了一個實施例，其中電極2002、2004和2006組成末級靜電透鏡2008,射束 2010穿過該末級靜電透鏡2008行進以沖擊樣品2012。電極2002和2004是具有與參考圖 19所示出和描述的電極1902和1904類似的光透射性部分2002a和2004a和X射線透射性 部分2002b和2004b的復合件。在這一實施例中，電極2002的部分2002b以與圖17中的 電極1702的部分1702b類似的方式被形成為X射線透射性材料的單個薄板。
[0053]根據本發明的一些實施例，一種用于在帶電粒子束系統內使用的靜電透鏡，包括： 相互間隔以限定光軸的多個聚焦元件，所述帶電粒子束沿著所述光軸行進穿過所述透鏡并 且行進到緊密鄰近所述透鏡放置的樣品上，導致來自樣品的放射物被往回輻射穿過所述透 鏡，其中，所述元件中的至少一個對于所述放射物是透射性的；以及用于檢測所述放射物的 至少一個檢測器。
[0054]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由對于X射線是透射性的材料制成。在 一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由具有低原子數的材料制成。在一些實施例中，所述 低原子數材料是鈹。在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件被制成為實心板。在一些實 施例中，所述至少一個聚焦元件被形成為具有相對表面的中空板。在一些實施例中，所述至 少一個聚焦元件被形成為薄板。
[0055]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件包括實心板、具有相對表面的中空板、或 者薄板。
[0056]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由對于光是透射性的材料形成。在一些 實施例中，所述至少一個聚焦元件被形成為實心板。
[0057]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件被形成為具有對于X射線是透射性的第 一部分和對于光是透射性的第二部分的復合元件。在一些實施例中，所述第一部分由具有 低原子數的材料形成，以及所述第二部分由玻璃形成。在一些實施例中，所述第一部分和第 二部分兩者均被構成為實心板。在一些實施例中，所述第二部分被構成為實心板，以及所述 第一部分被構成為具有相對表面的中空板。在一些實施例中，所述第二部分被構成為實心 板，以及所述第一部分被構成為薄板。
[0058]根據本發明的一些實施例，一種檢測由來自帶電粒子束的沖擊所導致的從樣品輻 射的放射物的方法，包括：提供用于緊密鄰近樣品放置的靜電透鏡，帶電粒子束穿過所述靜 電透鏡行進以沖擊所述樣品，導致放射物從所述樣本往回輻射穿過所述透鏡；提供位于所 述透鏡內的用于將射束聚焦至所述樣品上的至少一個聚焦元件，其中，所述聚焦元件中的 至少一個對于所述放射物是透射性的；以及提供用于檢測所述放射物的至少一個檢測器。
[0059]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由對于X射線是透射性的材料制成。在 一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由具有低原子數的材料制成。在一些實施例中，所述 材料是鈹。
[0060]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件由光透射性材料制成。在一些實施例中， 所述光透射性材料是玻璃。
[0061]在一些實施例中，所述至少一個聚焦元件被形成為具有對于X射線是透射性的第 一部分和對于光是透射性的第二部分的復合元件。在一些實施例中，所述第一部分由具有 低原子數的材料制成，以及所述第二部分由玻璃制成。在一些實施例中，所述具有低原子數 的材料是鈹。
[0062] 雖然以上描述的實施例使用了透射性透鏡電極來透射來自樣品的發放射物，但該 透射性透鏡元件也可以被用于將輻射透射至樣品。例如，來自激光器或其他源的光可以通 過透射性透鏡電極被引導至樣品以誘發來自樣品的發射物。在一些實施例中，第一類型的 輻射透射穿過該透射性電極，而第二類型的發射物（例如光或帶電粒子）被收集。第二類 形的發射物可以通過該透射性電極來收集，通過電極中的孔徑來收集，或由檢測在電極和 樣品之間行進的發射物的檢測器來收集。
[0063] 盡管已經詳細描述了本發明及其優點，但應當理解的是，在不偏離由所附權利要 求所限定的本發明的精神和范圍的情況下，可以在本文中進行各種改變、替換和變更。此 外，本申請的范圍不意圖被限于說明書中所描述的過程、機器、制造、物質組成、手段、方法 和步驟的特定實施例。本領域普通技術人員根據本發明的公開內容將容易地認識到，根據 本發明可以利用執行與本文所描述的對應實施例基本相同的功能或實現與其基本相同結 果的、當前存在的或者以后將開發的過程、機器、制造、物質組成、手段、方法和步驟。因此， 所附權利要求意圖在其范圍內包括這樣的過程、機器、制造、物質組成、手段、方法和步驟。
【主權項】
1. 一種用于在帶電粒子束系統內使用的靜電透鏡，包括： 相互間隔以限定光軸的多個聚焦元件，所述帶電粒子束沿著所述光軸行進穿過所述透 鏡并且行進到緊密鄰近所述透鏡放置的樣品上，導致來自樣品的放射物被往回輻射穿過所 述透鏡，其中，所述元件中的至少一個對于所述放射物是透射性的；以及 用于檢測所述放射物的至少一個檢測器。2. 根據權利要求1所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件由對于X射線是透射性的 材料制成。3. 根據權利要求1所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件由對于光是透射性的材 料制成。4. 根據權利要求1所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件被形成為具有對于X射線 是透射性的第一部分和對于光是透射性的第二部分的復合元件。5. 根據權利要求1-4中任一項所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件由具有低原 子數的材料制成。6. 根據權利要求5所述的透鏡，其中，所述低原子數材料是鈹。7. 根據權利要求1-4中任一項所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件被制成為實 心板。8. 根據權利要求1-4中任一項所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件被形成為具 有相對表面的中空板。9. 根據權利要求1-4中任一項所述的透鏡，其中，所述至少一個聚焦元件被形成為薄 板。10. 根據權利要求4所述的透鏡，其中，所述第一部分由具有低原子數的材料形成，以 及所述第二部分由玻璃形成。11. 根據權利要求10所述的透鏡，其中，所述第一部分和第二部分兩者均被構造為實 心板。12. 根據權利要求10所述的透鏡，其中，所述第二部分被構造為實心板，以及所述第一 部分被構造為具有相對表面的中空板。13. 根據權利要求10所述的透鏡，其中，所述第二部分被構造為實心板，以及所述第一 部分被構造為薄板。14. 一種檢測由來自帶電粒子束的沖擊所導致的從樣品輻射的放射物的方法，所述方 法包括： 提供用于緊密鄰近樣品放置的靜電透鏡，帶電粒子束穿過所述靜電透鏡行進以沖擊所 述樣品，導致放射物從所述樣本往回輻射穿過所述透鏡； 提供位于所述透鏡內的用于將射束聚焦至所述樣品上的至少一個聚焦元件，其中，所 述聚焦元件中的至少一個對于所述放射物是透射性的；以及 提供用于檢測所述放射物的至少一個檢測器。15. 根據權利要求14所述的方法，其中，所述至少一個聚焦元件由對于X射線是透射性 的材料制成。16. 根據權利要求14所述的方法，其中，所述至少一個聚焦元件由光透射性材料制成。17. 根據權利要求14所述的方法，其中，所述至少一個聚焦元件被形成為具有對于X射 線是透射性的第一部分和對于光是透射性的第二部分的復合元件。18. 根據權利要求14-17中任一項所述的方法，其中，所述至少一個聚焦元件由具有低 原子數的材料制成。19. 根據權利要求18所述的方法，其中，所述材料是鈹。20. 根據權利要求16所述的方法，其中，所述光透射性材料是玻璃。21. 根據權利要求17所述的方法，其中，所述第一部分由具有低原子數的材料制成，以 及所述第二部分由玻璃制成。22. 根據權利要求21所述的方法，其中，所述具有低原子數的材料是鈹。
【專利摘要】本發明涉及透射來自樣品的發射物的帶電粒子透鏡。提供了一種在用于檢測X射線和光的帶電粒子束鏡筒中的透射性透鏡。末級透鏡可以包括用于EDS成像和分析的對于X射線是透射性的元件或者用于陰極發光(CL)成像和分析的對于光是透射性的元件。該末級透鏡可以被構造和布置為包括用于組合EDS和CL成像和分析的對于X射線和光兩者均是透光性的元件。
【IPC分類】H01J37/12, H01J37/26
【公開號】CN105280465
【申請號】CN201510559324
【發明人】N·W·帕克, M·斯特勞, J·菲列維奇
【申請人】Fei公司
【公開日】2016年1月27日
【申請日】2015年7月17日
【公告號】EP2975630A1, US9349564, US20160020062