一種抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及太陽能電池技術領域，更具體的是涉及一種抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備。
【背景技術】
[0002]電勢誘導衰減(PID)是指在高溫、高濕和高電壓的作用下，太陽能電池組件出現功率下降的現象。太陽能電池組件在發電狀態下五年左右會出現不同程度的電勢誘導衰減現象，這成為目前光伏發電領域面臨的一個重大問題。
[0003]目前電池端的抗PID技術主要集中在二氧化硅/氮化硅疊層技術上，這種復合膜的抗PID性能已經得到行業的高度認可。在二氧化硅/氮化硅疊層的制備上，二氧化硅層是重點，其直接影響到組件的抗PID性能，電池外觀和轉換效率。二氧化硅層的制備有兩種方法:一種是利用PECVD技術，對N20/SiH4電離沉積出二氧化硅層，但這種技術的二氧化硅層致密性差，對石墨舟和爐管損傷嚴重，還會降低電池的轉換效率；一種是在去PSG設備中增加臭氧氧化裝置，對硅片表面進行氧化，形成二氧化硅層，這種技術成本低，工藝簡單，還可以提高電池的轉換效率，是目前抗PID技術的重中之重。
[0004]臭氧抗PID技術也存在一些弊端，如電池外觀不良比例高，二氧化硅層的致密性有待提高等，也在制約著該技術的更大范圍推廣，因此，急需對臭氧抗PID技術進行改良。
【發明內容】
[0005]本發明的目的就是為了解決現有技術之不足而提供的一種抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備。
[0006]為了解決上述技術問題，本發明是通過以下技術方案實現的:一種制造抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備，包括依次排列連接的上料區、刻蝕槽、第一水槽、堿槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料區；在所述烘干槽與下料區之間設有臭氧機，所述臭氧機包括水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列連接，在所述臭氧機下方設有輸送帶，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上連接有排氣管。
[0007]優選的，所述輸送帶為多條滾輪構成，滾輪為不銹鋼材質。
[0008]優選的，所述水蒸氣清洗箱包括水蒸氣產生器、水蒸氣噴頭和清洗箱體；所述水蒸氣產生器設置在清洗箱體內，所述水蒸氣噴頭與所述水蒸氣產生器連通且水蒸氣噴頭的沿清洗箱體的輸出口方向噴灑。
[0009]優選的，所述干燥箱由熱風產生器、熱風噴頭和干燥箱體組成；所述熱風產生器設置在干燥箱體內，所述熱風噴頭與所述熱風產生器連通且熱風噴頭的沿干燥箱體的輸出口方向噴灑。
[0010]優選的，所述臭氧氧化箱包括臭氧產生器、氣體混合器、第一加熱器、混合氣體噴頭和臭氧氧化箱體；所述臭氧產生器與氣體混合器連接并輸出混合氣體，混合氣體經過第一加熱器流向混合氣體噴頭噴出且在干燥箱體輸出口方向循環噴灑。
[0011]優選的，所述混合氣體噴頭為旋轉式混合氣體噴頭。
[0012]優選的，所述退火箱包括第二加熱器和退火箱體，所述第二加熱器設置在退火箱體內，第二加熱器向退火箱體輸出口方向熱輻射。
[0013]優選的，所述輸送帶的下方還設置有尾氣回收管。
[0014]與現有技術相比，本發明所述一種抗電勢誘導衰減太陽能電池的制備方法的有益效果為:本發明通過加入臭氧機，所述臭氧機包括水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列連接，在所述臭氧機下方設有輸送帶，所述水蒸氣清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上連接有排氣管。本臭氧機的結構合理、性能穩定，娃片在同一生廣線上依次完成制備工藝，不但可以提尚了抗PID電池的良品率，還能提升了電池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅層優異的鈍化作用還能提高電池的轉換效率。
【附圖說明】
[0015]圖1為現有技術的去PSG設備簡圖；
[0016]圖2為本發明實施方式的去PSG和臭氧機集成設備簡圖；
[0017]圖3為抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備的工作流程圖；
[0018]圖4為本發明實施方式的臭氧機結構圖；
[0019]圖5為臭氧機的工作流程圖；
[0020]圖6為本發明實施方式的水蒸氣清洗箱結構圖；
[0021]圖7為本發明實施方式的干燥箱結構圖；
【具體實施方式】
[0022]圖8為本發明實施方式的臭氧氧化箱結構圖；
[0023]圖9為本發明實施方式的退火箱結構圖。
[0024]下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。
[0025]下面結合附圖具體描述根據本發明實施例的抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備。
[0026]現有技術的去PSG設備如圖1所示，硅片3經歷依次排列連接的上料區、刻蝕槽、第一水槽、堿槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料區，將硅片3正背面的PSG去除，將娃片3周邊的p-n結層去除。
[0027]本發明是在所述烘干槽與下料區之間加入臭氧機100，其集成在所述烘干槽所用設備中，集成后的設備簡圖如圖2和圖4所示，即在現有技術的基礎上，在烘干槽和下料區中間安裝臭氧機100。
[0028]本發明是在所述烘干槽與下料區之間加入臭氧機100，所述臭氧機100包括水蒸氣清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7，所述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5、臭氧氧化箱6和退火箱7依次排列連接，在所述臭氧機100下方設有輸送帶2，所述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6上連接有排氣管，排氣管(圖中未視出)是為水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6補充或者增加一定的氣體，使硅片3在經過上述水蒸氣清洗箱4、干燥箱5和臭氧氧化箱6時，能快速和有效地噴曬在硅片3表面且作臭氧氧化處理。本臭氧機100的結構合理、性能穩定，硅片3在同一生產線上依次完成制備工藝，不但可以提高抗PID電池的良品率，還能提升電池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅層優異的鈍化作用還能提高電池的轉換效率。
[0029]如圖3所示，抗電勢誘導衰減太陽能電池的生產設備的工作步驟:a)制絨:在硅片3表面形成絨面，降低太陽光的反射率；b)熱擴散制備p-n結:利