一種場發射電子槍高壓電纜的引入裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種場發射電子槍高壓電纜的引入裝置，屬于高壓電源引入設備技術領域。
【背景技術】
[0002]掃描電鏡是一種電子光學儀器，是利用聚焦電子束在樣品表面進行逐行掃描，使得電子束轟擊樣品表面產生二次電子，利用上述二次電子呈現樣品表面形貌的裝置。掃描電鏡圖像的分辨率可達到納米級甚至優于1.0納米，在新材料、新能源、國防、科學研究等領域有廣泛應用。
[0003]上述的聚焦電子束由掃描電鏡上的場發射電子槍提供，而場發射電子槍需要通過一個引入裝置引入電壓源，上述電壓源需要滿足相對于大地電壓為30kV、極間電壓最高達到6000V，這樣才能保證聚焦電子束比較穩定，然而，由于引入裝置的空間較小，在電子槍室內引入了多股高壓電纜時，相鄰高壓電纜之間的距離勢必縮小，從而導致相鄰高壓電纜之間的耐壓值不足，使得極間電壓容易超越上述耐壓值，造成設備不能穩定的運行。
[0004]同時，高壓電纜的引入容易破壞電子槍室的真空度，因而造成電子束不穩定，影響掃描電鏡的成像質量。
【發明內容】
[0005]因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有的場發射電子槍高壓電纜的引入裝置容易造成相對于大地耐壓值不足、高壓電纜極間耐壓值不足進而造成設備不能穩定運行且高壓電纜的引入容易破壞電子槍室的真空度進行影響掃描電鏡成像質量的技術缺陷；從而提供一種能夠滿足相對于大地耐壓值、高壓電纜極間耐壓值，使得設備穩定運行且高壓電纜的引入不會破壞電子槍室的真空度進行提高掃描電鏡成像質量的引入裝置。
[0006]為了實現上述目的，本發明提供一種場發射電子槍高壓電纜的引入裝置，包括:一種場發射電子槍高壓電纜的引入裝置，包括:
[0007]絕緣密封件，安裝在電子槍室的內部，具有安裝腔和引入口 ；
[0008]高壓電纜，為若干股，通過所述引入口伸入到所述絕緣密封件的安裝腔內，用于將電子槍室外部的高壓電源引入到電子槍室內部；
[0009]高壓電源接收端，兩端分別耦接所述高壓電纜和場發射電子槍；以及
[0010]絕緣填充物，填充于各股高壓電纜之間、高壓電纜與絕緣密封件的內壁之間，以及所述引入口處。
[0011 ] 上述場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述高壓電源接收端和所述高壓電纜之間采用銀銅焊接相連。
[0012]上述場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述絕緣密封件為高壓瓷瓶。
[0013]上述場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述絕緣密封件穿過設置在電子槍室外部的法蘭而伸入到電子槍室內部。
[0014]上述場發射電子槍高壓電纜的弓I入裝置中，所述高壓電纜為五股。
[0015]上述場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述高壓電源接收端為分別與每股高壓電纜一一對應耦接的五個高壓封接電極，所述高壓封接電極設置在所述安裝腔的外部上。
[0016]上述場發射電子槍高壓電纜的弓I入裝置中，所述絕緣填充物為絕緣環氧膠。
[0017]上述場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述連接孔設置在電子槍室中的法蘭上。
[0018]本發明的上述技術方案相比現有技術具有以下優點:
[0019]1、本發明的場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，為了提升相對于大地、各股高壓電纜之間的耐壓值，在絕緣密封件和各股高壓電纜之間填充有絕緣填充物，絕緣填充物兩方面作用:1、在引入裝置設置多股高壓電纜的情況下，雖然相鄰高壓電纜之間的間距變小，但是，通過在相鄰高壓電纜之間填充絕緣填充物，可以保證各股導線之間耐壓達到6000V以上，從而在不增大引入裝置體積的情況下，使設備安全、可靠運行；2、密封了絕緣密封件的引入口，以及絕緣密封件與高壓電纜之間的間隙，從而防止氣體從引入裝置進入到電子槍室中，不會破壞電子槍室的真空度，進行提高掃描電鏡成像質量。
[0020]2、本發明的場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，絕緣密封件穿過設置電子槍室外部的法蘭伸入到電子槍室內部，高壓電纜穿過絕緣密封件和高壓封接電極耦接，該絕緣密封件的設置使向電子槍室內引入高壓電纜時，電子槍室內的超高真空度不受到破壞，從而保證了掃描電鏡成像的質量穩定。
[0021]3、本發明的場發射電子槍高壓電纜的引入裝置中，高壓瓷瓶和高壓封接電極之間采用銀銅材料焊接，銀銅焊和其他材料焊接相比具有以下優點:1、銀銅焊的強度更高，能夠保證高壓電纜和高壓封接電極之間穩定連接；2、銀銅焊的導電性能強；3、銀銅焊的密封效果好，能夠有效防止氣體從焊接位置進入到電子槍室中，從而保證電子槍室的真空度不被破壞。
【附圖說明】
[0022]為了使本發明的內容更容易被清楚的理解，下面結合附圖，對本發明作進一步詳細的說明，其中，
[0023]圖1是本發明場發射電子槍高壓電纜的引入裝置的剖視示意圖；
[0024]圖2是圖1的左視圖。
[0025]附圖標記說明
[0026]10-法蘭；11_連接孔；20_高壓瓷瓶；30_高壓封接電極。
【具體實施方式】
[0027]以下將結合附圖對本發明的場發射電子槍高壓電纜的引入裝置進行進一步介紹，在此需要說明的是，對于以下實施方式的說明用于幫助理解本發明，但并不構成對本發明的限定。此外，下面所描述的本發明各個實施方式中所涉及的技術特征只要彼此之間未構成沖突就可以相互結合。
[0028]實施例1
[0029]本實施例提供一種場發射電子槍高壓電纜的引入裝置，用于為場發射電子槍提供工作電源，其中，場發射