一種偵測wat異常電路板的方法及系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體微電子測試應用領域，更具體地，涉及一種可快速自動偵測WAT異常電路板的方法及系統。
【背景技術】
[0002]半導體晶圓制作完成后、進行封裝前，為了確保晶圓的良率及避免封裝的浪費，在半導體制程中需要進行晶圓驗收測試(Wafer Acceptance Test，WAT)。WAT探針卡機臺是廣泛用于對晶圓進行電性測量的重要工具之一，是連接WAT測量儀器與晶圓之間的測試接口。其工作原理是將連接測量儀器的探針卡(Probe Card)的探針與待測芯片上的測試焊墊(PAD)或凸塊電極直接接觸，構成測量回路，通過探針向待測芯片饋入測試信號及回饋芯片信號，再配合測量儀器與軟件控制篩選出電性不良的芯片，實現自動化檢測。探針卡包括了用來與測試PAD接觸的多個探針。
[0003]電性測量是一項重要的監測步驟，采用探針卡扎到測試鍵的金屬PAD上來進行測量。在WAT機臺中，每一路測試信號都設有一塊電路板(pin board)，負責測試信號的采集。電路板中的繼電器開關中開合的過程中有時會失效，導致測試數據出現錯誤碼。但當測試結束后機臺初始化到最初狀態，進行自檢就無法發現出現問題的電路板。
[0004]請參閱圖1，圖1是一種WAT機臺電路板的電路原理圖。如圖1所示，電路板100中編號為K90的繼電器200的S端開關處在不正確的狀態，導致電流在虛線標注的線路300上形成通路，造成pin board處于不正常狀態。但當測試結束后機臺初始化到最初狀態，進行自檢就無法發現出現問題的K90號繼電器。
[0005]因此，如何找出出現問題的繼電器，就成為業界需要及時解決的一個課題。
【發明內容】
[0006]本發明的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種偵測WAT異常電路板的方法及系統，可快速自動偵測WAT異常電路板。
[0007]為實現上述目的，本發明的技術方案如下:
[0008]—種偵測WAT異常電路板的方法，包括以下步驟:
[0009]將WAT機臺測試過程中針對電路板異常的錯誤碼類型進行存儲；
[0010]運行WAT機臺的測試程序，將WAT機臺測試過程中實際出現的錯誤碼與事先存儲的錯誤碼類型是否匹配進行比對，以得到是或否的判斷結果；
[0011]當判斷結果為是時，控制WAT機臺暫停測試，并啟動運行WAT機臺的自檢，以通過自檢報出發生異常的電路板。
[0012]優選地，當判斷結果為是時，通過控制WAT機臺的測試程序暫停運行，控制WAT機臺暫停測試。
[0013]優選地，在WAT機臺暫停測試時，進一步通過控制WAT機臺的自檢程序啟動，運行WAT機臺的自檢。
[0014]優選地，通過對WAT機臺的測試程序進行修改，控制WAT機臺暫停測試。
[0015]優選地，通過在WAT機臺的測試程序中加入判斷語句，控制WAT機臺自動暫停測試。
[0016]優選地，所述判斷語句包括:
[0017]IF status) O
[0018]DISP “Pause for port status debug”
[0019]PAUSE
[0020]End IF
[0021]其中，當測試過程中出現錯誤碼時，WAT機臺的測試程序根據所述判斷語句停止運行，同時，啟動WAT機臺的自檢程序。
[0022]—種偵測WAT異常電路板的系統，所述系統連接WAT機臺，用于對WAT機臺的測試及自檢進行控制，包括:
[0023]存儲模塊，連接判斷模塊，用以將WAT機臺測試過程中針對電路板異常的錯誤碼類型進行存儲；
[0024]判斷模塊，連接控制模塊，用以將WAT機臺測試過程中實際出現的錯誤碼與所述存儲模塊中存儲的錯誤碼類型是否匹配進行比對，以得到是或否的判斷結果；
[0025]控制模塊，連接WAT機臺，用以在所述判斷模塊的判斷結果為是時，控制WAT機臺暫停測試，并啟動運行WAT機臺的自檢，以通過自檢報出發生異常的電路板。
[0026]優選地，所述控制模塊連接WAT機臺的測試程序控制單元，并通過所述測試程序控制單元控制WAT機臺暫停測試。
[0027]優選地，所述控制模塊連接WAT機臺的自檢程序控制單元，并通過所述自檢程序控制單元啟動WAT機臺運行自檢。
[0028]從上述技術方案可以看出，本發明通過對WAT機臺的測試程序進行修改，加入判斷語句，當測試出現錯誤碼時，可控制WAT機臺自動暫停測試，并通過進行機臺自檢，可偵測到機臺出現問題的異常電路板。
【附圖說明】
[0029]圖1是一種WAT機臺電路板的電路原理圖；
[0030]圖2是本發明一種偵測WAT異常電路板的方法流程圖；
[0031]圖3是根據圖2的方法進行機臺自檢發現異常電路板時的示意圖。
【具體實施方式】
[0032]下面結合附圖，對本發明的【具體實施方式】作進一步的詳細說明。
[0033]在以下本發明的【具體實施方式】中，請參閱圖2，圖2是本發明一種偵測WAT異常電路板的方法流程圖。如圖2所示，本發明的一種偵測WAT異常電路板的方法，包括以下步驟:
[0034]如框01所示，將WAT機臺測試過程中針對電路板異常的錯誤碼類型進行存儲。
[0035]例如，可利用一存儲模塊，將WAT機臺測試過程中針對電路板發出的異常錯誤碼類型存儲在存儲模塊中。
[0036]如框02所示，運行WAT機臺的測試程序，將WAT機臺測試過程中實際出現的錯誤碼與事先存儲的錯誤碼類型是否匹配進行比對，以得到是或否的判斷結果。
[0037]例如，可利用一連接存儲模塊的判斷模塊，在運行WAT機臺的測試程序時，將WAT機臺測試過程中實際出現的錯誤碼與事先存儲在存儲模塊中的錯誤碼類型是否匹配進行比對，以得到是或否的判斷結果。
[0038]如框03所示，當判斷結果為是時，控制WAT機臺暫停測試，并啟動運行WAT機臺的自檢，以通過自檢報出發生異常的電路板。
[0039]例如，可利用一連接判斷模塊及WAT機臺的控制模塊，在運行WAT機臺的測試程序時，當判斷模塊判斷出現的錯誤碼與事先存儲在存儲模塊中的錯誤碼類型相匹配、即判斷結果為是時，通過控制模塊控制WAT機臺暫停測試，并啟動運行WAT機臺的自檢，通過自檢即可報出發生異常的電路板。
[0040]作為一可選的實施方式，當上述判斷結果為是時，可通過控制模塊控制WAT機臺的測試程序暫停運行，來控制WAT機臺暫停測試。并且，在WAT機臺暫停測試時，可