導電性球搭載頭的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及導電性球搭載頭，更具體地涉及通過將導電性球搭載在形成于基板的搭載槽，設置與擬與基板的電極相連接的其他電性裝置的電連接介質的導電性球搭載頭。
【背景技術】
[0002]在裝配包括大規模集成電路(Large Scale Integrat1n)、液晶顯示器(LiquidCrystal Display)的半導體裝置等時，為了實現電性連接，通常利用錫珠(solder ball)等導電性球。
[0003]將直徑約為Imm以下的微小粒子形態的導電性球搭載于基板，并用于基板的電性裝配。參照圖1，在基板100的上方印有錫焊用的焊劑17，將形成有搭載槽101的掩模103進行配置之后，采用將導電性球102插入于搭載槽101的方法，將導電性球102搭載于搭載槽101。除了這種構成以外，還可以采用以蝕刻等方法在基板主體上形成搭載槽，并將導電性球搭載于上述搭載槽的方法。
[0004]韓國公開專利公報10-2007-0029764(2007.3.14)等中公開有用于將導電性球裝配于基板的若干種構成。
[0005]根據以往方法，利用稱為“橡膠滾軸(squeegee) ”的構成，通過使導電性球相對于基板移動，進而將導電性球搭載于搭載槽，還可以使用將導電性球收容于圓筒形態的導電性球搭載頭內后，借助空氣的流動使得導電性球在導電性球搭載頭的內部移動，進而將導電性球搭載于搭載槽的方法。
[0006]但根據這種以往的導電性球搭載裝置，經常發生在將導電性球搭載于基板的過程中導致導電性球受損的情況。使用橡膠滾軸推開導電性球的過程中會發生導電性球的受損，與橡膠滾軸等的摩擦也導致發生污染。由此，未搭載于搭載槽的剩余導電性球因受到污染而無法再使用，只能廢棄。并且，在導電性球在導電性球搭載頭內部彈跳的過程中，由于沖撞導電性球搭載頭內壁，受到沖擊后導致球表面氧化或受損。在將受損的導電性球搭載于基板的情況下，借助導電性球的電連接無法正常形成，進而導致基板本身的不合格或者基板使用壽命縮短。
【發明內容】
[0007][技術問題]
[0008]本發明是為了解決如上所述的問題而提出的，本發明的目的在于提供具有既能夠防止導電性球受損又能夠將導電性球搭載于基板的搭載槽的結構的導電性球搭載頭。
[0009][解決問題的手段]
[0010]為了解決如上所述的目的，本發明提供導電性球搭載頭，用于將導電性球搭載在形成于基板的搭載槽，包括:頭本體，內側形成有中央腔體并呈圓筒形，使得上述導電性球等待搭載至上述基板的搭載槽；內側部件，沿著圓周方向包覆上述頭本體的外徑，并設置于上述頭本體，以形成內側腔體和內側噴嘴，在上述內側腔體和上述頭本體之間流入壓縮空氣，上述內側噴嘴用于向上述內側腔體的下部噴射壓縮空氣；以及定位器，包括蓋部和排出部，其中，上述蓋部呈圓筒形，并插入于上述頭本體的中央腔體，上述排出部呈網形，并與上述蓋部的下面相結合，以防止收容于上述頭本體的中央腔體的上述導電性球脫離上述蓋部的內側，又能夠使得從上述內側噴嘴噴射的壓縮空氣通過上述蓋部的內徑被排出。
[0011][發明的效果]
[0012]本發明的導電性球搭載頭不僅可以最小化導電性球的受損和氧化，又可以迅速地將導電性球搭載于基板的搭載槽。
【附圖說明】
[0013]圖1是用于說明利用導電性球搭載頭來將導電性球搭載于基板的過程的剖視圖。
[0014]圖2是本發明的一實施例的導電性球搭載頭的俯視圖。
[0015]圖3是圖2所示的導電性球搭載頭的II1-1II線剖視圖。
[0016]圖4是圖3所示的導電性球搭載頭的定位器有關立體圖。
[0017]圖5及圖6是圖3所示的導電性球搭載頭的導向部件的圖。
[0018]圖7是本發明的其他實施例的導電性球搭載頭的剖視圖。
[0019][附圖標記的說明]
[0020]10:頭本體
[0021]20:內側部件
[0022]21:內側腔體
[0023]22:內側噴嘴
[0024]30:外側部件
[0025]31:外側腔體
[0026]32:外側噴嘴
[0027]40:定位器
[0028]41:蓋部
[0029]42:排出部
[0030]50:導向部件
[0031]51:導銷
[0032]61、62:球供給管
[0033]11:中央腔體
[0034]100:基板
[0035]101:搭載槽
[0036]102:導電性球
[0037]103:掩模
[0038]104:焊劑
【具體實施方式】
[0039]以下，將參照附圖對本發明的導電性球搭載頭進行詳細說明。
[0040]圖2是本發明的一實施例的導電性球搭載頭的俯視圖，圖3是圖2所示的導電性球搭載頭的II1-1II線剖視圖。
[0041]參照圖2及圖3，本實施例的導電性球搭載頭由頭本體10、內側部件20、外側部件30以及定位器40構成。
[0042]頭本體10呈圓筒形，上側形成有用于與內側部件20及外側部件30相結合的凸緣。頭本體10的圓筒形部件內側形成中央腔體11。用于搭載在基板100的導電性球102進入中央腔體11而處于等待狀態。
[0043]在頭本體10的外側包覆有內側部件20。內側部件20呈圓筒形，沿著圓周方向包覆頭本體10的外徑。參照圖3，在頭本體10的外徑和內側部件20的內徑之間形成內側腔體21。壓縮空氣從內側腔體21的上部流入并向內側腔體21的下部噴射。在內側腔體21的下側形成有具有流路小于內側腔體21的流路的內側噴嘴22。內側噴嘴22沿著向內側部件20的內側下方傾斜45度的方向延伸。
[0044]在內側部件20的外側包覆有外側部件30。外側部件30呈圓筒形，沿著圓周方向包覆內側部件20的外徑。參照圖3，在內側部件20的外徑和外側部件30的內徑之間形成外側腔體31。壓縮空氣從外側腔體31的上部流入并向外側腔體31的下部噴射。在外側腔體31的下側形成有具有流路小于外側腔體31的流路的外側噴嘴32。外側噴嘴32沿著向外側部件30的內側下方傾斜45度的方向延伸。
[0045]參照圖4，定位器40設有蓋部41和排出部42。蓋部41呈圓筒形，插入于頭本體10的中央腔體11。排出部42呈網(mesh)形，與蓋部41的下面相結合。通過內側噴嘴22和外側噴嘴32流入中央腔體11的內部的空氣，經過網形的排出部42向蓋部41的內徑排出。收容于中央腔體11的導電性球102被卡在排出部42，可防止向外部脫離，聚集在中央腔體11內部。排出部42可采用合成樹脂材質，也可采用不銹鋼材質。在排出部42由不銹鋼材質形成的情況下，可使用特氟綸等合成樹脂材質涂層后使用。
[0046]參照圖3、圖5及圖6，在內側噴嘴22設置有導向部件50。導向部件50起到對從內側噴嘴22噴射的壓縮空氣的噴射方向進行導向的作用。導向部件50具有多個導銷51。導銷51相對于內側噴嘴22的延伸方向而沿著圓周方向傾斜。在本實施例的情況下，如圖6所示，導銷51相對于內側噴嘴22的延伸方向，沿著逆時針方向傾斜30度(b)。借助導向部件50的導銷51，從內側噴嘴22噴射的壓縮空氣以沿著圓周方向傾斜的方式被導向。即，從內側噴嘴22噴射的壓縮空氣一邊沿著逆時針方向旋轉，一邊流入中央腔體11。
[0047]用于向中央腔體11的定位器40下部供給導電性球102的球供給管61既可以