一種隔離柱及其制作方法、顯示面板及顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種隔離柱及其制作方法、顯示面板及顯示
目.0
【背景技術】
[0002]目前，在平板顯示技術中，有機發光二極管具有自發光性、高對比度、高反應速度、廣視角等優點，在平板顯示技術中發揮著越來越重要的作用。作為新一代顯示器件，OLED (Organic Light-Emitting D1de,有機發光二極管)在顯示器、MP3、電視、手機等數碼產品以及軍事領域都有廣闊的發展空間和應用前景。
[0003]OLED的驅動方式主要有有源驅動和無源驅動兩種方式。驅動控制電路是有源發光二極管中必不可少的重要組成部分，其性能的優劣直接關系到整個系統性能的好壞，因此，高性能的驅動控制電路的設計在有源驅動的OLED顯示設計中起著舉足輕重的作用，有源驅動的OLED的制作復雜、成本高。而采用無源驅動的OLED具有制作簡單、低成本等優點。
[0004]無源驅動的OLED的顯示面板如圖1、圖3所示，包括形成在襯底基板I上的多個條狀的第一電極5、多個條狀的第二電極3、向第一電極5輸入電流信號的第一信號線51、向第二電極3輸入電流信號的第二信號線31、位于第一電極5和第二電極3之間的發光功能層
4、鈍化層2、以及隔離柱6。OLED顯示面板的驅動原理如圖1、圖2所示，第一電極5和第二電極3的交叉區域形成一個顯示單元，通過控制向不同行第一電極3和不同列的第二電極5輸入的驅動電流，控制各顯示單元的顯示。
[0005]如圖1、圖3所示，鈍化層2用于使得位于鈍化層2下面的第一信號線51、第二信號線31與位于鈍化層2上面的第一電極5或第二電極3絕緣。由于第一電極形成在發光功能層4的上面，其一般只能采用蒸鍍法形成，而直接蒸鍍導電材料形成的第一電極為一個平面電極，為了形成多個條狀的第一電極，在蒸鍍導電材料之前形成隔離柱，使得蒸鍍導電材料時在隔離柱處斷開，形成條狀的第一電極。
[0006]如圖3所示，為了使得蒸鍍第一電極時，第一電極在隔離柱斷開，現有技術中一般將隔離柱設置為倒梯形。形成的倒梯形夾角一般很小，則很容易在隔離柱的側面沉積導電材料，從而使得相鄰的第一電極導通，顯示面板無法正常顯示。
【發明內容】
[0007]本發明的實施例提供一種隔離柱及其制作方法、顯示面板及顯示裝置，所述隔離柱用于蒸鍍形成電極時，使得電極自動在隔離柱處斷開，本發明實施例中的隔離柱包括第一材料圖案以及位于所述第一材料圖案上面的第二材料圖案，通過使得蒸鍍形成的電極表面低于第一材料圖案的上表面，從而使得蒸鍍形成的電極與第二材料圖案側面的電極絕緣，避免電極之間電連接。
[0008]為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案；
[0009]一方面，本發明實施例提供了一種隔離柱，包括第一材料圖案以及位于所述第一材料圖案上面的第二材料圖案，其中，所述第一材料圖案包括相對的上表面、下表面以及位于所述上表面和所述下表面之間相對的第一隔離側面和第二隔離側面，所述第二材料圖案包括相對的上表面和下表面，其中，所述第一材料圖案的上表面與所述第二材料圖案的下表面直接接觸，且所述第一材料圖案的所述第一隔離側面和所述第二隔離側面在所述第二材料圖案下表面所在平面的投影位于所述第二材料圖案下表面的邊緣之間。
[0010]另一發面，本發明實施例提供了一種顯示面板，包括襯底基板以及形成在所述襯底基板上的多個隔離柱以及位于相鄰兩個隔離柱之間的第一電極，其中，所述隔離柱為本發明實施例提供的任一所述的隔離柱，所述第一電極包括上表面和下表面，所述第一電極上表面所在平面低于所述隔離柱的第一材料圖案的上表面所在平面。
[0011]另一方面，本發明實施例提供了一種顯示裝置，包括本發明實施例提供的所述顯示面板。
[0012]再一方面，本發明實施例提供了一種隔離柱的制作方法，包括:
[0013]沉積第一材料形成第一材料層；
[0014]沉積第二材料形成第二材料層；
[0015]利用干刻工藝或光刻工藝對所述第二材料層進行構圖使所述第二材料層圖形化，圖形化后形成的第二材料圖案包括第二材料層去除區域和第二材料層保留區域；
[0016]利用刻蝕液刻蝕位于所述第二材料層去除區域以及部分第二材料層保留區域的第一材料層，其中所述刻蝕液刻蝕所述第二材料層且不刻蝕所述第一材料層。
[0017]本發明的實施例提供一種隔離柱及其制作方法、顯示面板及顯示裝置，隔離柱主要用于在蒸鍍形成電極時，使得電極自動在隔離柱處斷開。本發明實施例中的隔離柱包括第一材料圖案以及位于所述第一材料圖案上面的第二材料圖案，且蒸鍍形成的電極表面低于第一材料圖案的上表面，從而使得蒸鍍形成的電極與第二材料圖案側面的電極絕緣，避免電極之間電連接。
【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1為現有的PMOLED顯示面板示意圖；
[0020]圖2為圖1所不顯不面板的等效電路圖；
[0021]圖3為圖1所示的A-A'向示意圖；
[0022]圖4為本發明實施例提供的一種隔離柱示意圖；
[0023]圖5為本發明實施例提供的另一種隔離柱示意圖；
[0024]圖6為本發明實施例提供的另一種隔離柱示意圖；
[0025]圖7為本發明實施例提供的一種條狀隔離柱的示意圖；
[0026]圖8為本發明實施例提供的一種顯不面板不意圖；
[0027]圖9為本發明實施例提供的一種隔離柱的制作方法示意圖；
[0028]圖10為在基板上沉積形成第一材料層和第二材料層的示意圖；
[0029]圖11為對第二材料層進行構圖后的示意圖；
[0030]圖12為以第二材料層進行掩膜刻蝕第一材料圖案后的示意圖；
[0031]圖13為本發明實施例提供的另一種隔離柱的制作方法示意圖；
[0032]圖14為本發明實施例提供的另一種隔離柱的制作方法示意圖；
[0033]圖15為本發明實施例提供的另一種隔離柱的制作方法示意圖；
[0034]圖16為在基板上形成絕緣圖案的示意圖；
[0035]圖17為在第一材料層上形成過孔的示意圖；
[0036]圖18為沉積第二材料層的示意圖；
[0037]圖19為對第二材料層進行構圖后的示意圖；
[0038]圖20為濕法刻蝕第一材料層后的示意圖。
[0039]附圖標記:
[0040]1-襯底基板；2_鈍化層；3_第二電極；4_發光功能層；5_第一電極；6_隔離柱；31-第二信號線；51_第一信號線；61_第一材料圖案；610_第一材料層；611-第一隔離側面；612_第二隔離側面；613_第一部分；614_第二部分；62_第二材料圖案；620_第二材料層；621_第二材料圖案的上表面；622_第二材料圖案的下表面；63_絕緣圖案；630_絕緣層O
【具體實施方式】
[0041]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0042]在本發明所有實施例中，需要闡明“層”以及“圖案”的定義，以及之間的關系。其中，“層”是指利用某一種材料在基板上利用沉積或其他工藝制作出的一層薄膜。若在整個制作過程當中該“層”還需構圖工藝，則在構圖工藝前稱為“層”，構圖工藝后稱為“圖案”。
[0043]所謂“構圖工藝”是將薄膜形成包含至少一個圖案的層的工藝；而構圖工藝通常包含:在薄膜上涂膠，利用掩膜板對所述光刻膠進行曝光，再利用顯影液將需去除的光刻膠沖蝕掉，再刻蝕掉未覆蓋光刻膠的薄膜部分，最后將剩下的光刻膠剝離。
[0044]本發明實施例提供了一種隔離柱6，如圖4所示，包括第一材料圖案61以及位于第一材料圖案61上面的第二材料圖案62，其中，第一材料圖案61包括相對的上表面、下表面以及位于上表面和下表面之間相對的第一隔離側面611和第二隔離側面612，第二材料圖案62包括相對的上表面621和下表面622，其中，第一材料圖案61的上表面與第二材料圖案62的下表面622直接接觸，且第一材料圖案61的第一隔離側面611和第二隔離側面612在第二材料圖案62下表面622所在平面的投影位于第二材料圖案62下表面622的邊緣之間。
[0045]第一材料圖案的第一隔離側面和第二隔離側面在第二材料圖案下表面的投影位于第