薄膜形成設備和薄膜形成方法
【專利說明】薄膜形成設備和薄膜形成方法
[0001]本申請要求于在2014年I月3日提交到韓國知識產權局的第10-2014-0000746號韓國專利申請的優先權，該韓國專利申請的公開通過引用被全部包含于此。
技術領域
[0002]本申請涉及一種薄膜形成設備和方法，更具體地說，涉及一種用于在基板上形成有機薄膜的設備和方法。
【背景技術】
[0003]有機發光元件是一種自發光元件，可應用于諸如薄且可彎曲的顯示裝置的各種產品。然而，在有機發光元件暴露于從外部環境引入的濕氣和氧時，其性能迅速劣化。
[0004]因此，使用外殼或者玻璃基板對有機發光元件進行包封。通常，諸如紫外線(UV)或熱固化的環氧樹脂或亞克力的聚合物材料被用作密封劑。然而，由于聚合物材料的防濕能力差，因此濕氣有機發光元件的性能(例如，亮度)因朝向有機發光元件引入的濕氣和氧隨著時間的流逝而劣化。因此，有機發光元件的壽命縮短。因此，可以在裝置內安放吸濕劑，以防止穿過密封劑的濕氣影響有機發光元件。然而，這種方法使制造工藝復雜化并且增加了顯示裝置的重量和體積。
[0005]為了解決該問題，已經提出了薄膜包封技術。薄膜包封技術通過利用保護膜覆蓋顯示元件來包封顯示元件。薄膜包封可以具有至少堆疊一次有機膜或無機膜的結構。為了形成具有這種結構的包封膜，需要一種在基板上形成薄膜的技術。因此，正在進行各種技術嘗試來實現用于在基板上形成薄膜的設備和方法。
【發明內容】
[0006]實施例提供了一種在基板上至少形成一層有機薄膜的薄膜形成設備。
[0007]實施例還提供了一種縮短了用于在基板上形成多層有機膜所需的時間的薄膜形成設備。
[0008]實施例還提供了一種應用于在基板上至少形成一層有機薄膜的薄膜形成方法。
[0009]然而，實施例不限制于這里所闡述的實施例。通過參照下面給出的詳細描述，上述和其它實施例對于本申請所屬領域的普通技術人員來講將變得更加明顯。
[0010]根據一個實施例，提供了一種薄膜形成設備，所述薄膜形成設備包括第一儲存單元、第一噴嘴單元、第一光照射單元、第二儲存單元、第二噴嘴單元和第二光照射單元。第一儲存單元被構造為儲存第一有機材料。第一噴嘴單元連接到第一儲存單元，并且被構造為噴射儲存在第一儲存單元中的第一有機材料。第一光照射單元設置為與第一噴嘴單元相鄰，并且被構造為照射具有使第一有機材料固化的波長的光。第二儲存單元被構造為儲存第二有機材料。第二噴嘴單元設置為與第一噴嘴單元相鄰，連接到第二儲存單元，并且被構造為噴射儲存在第二儲存單元中的第二有機材料。第二光照射單元設置為與第二噴嘴單元相鄰，并且被構造為照射具有使第二有機材料固化的波長的光。
[0011]根據另一實施例，提供了一種薄膜形成設備，所述薄膜形成設備包括第一噴嘴單元、第二噴嘴單元、第一儲存單元、第二儲存單元、第一光照射單元和第二光照射單元。第一噴嘴單元和第二噴嘴單元沿長度方向延伸并且彼此并排地設置。第一儲存單元連接到第一噴嘴單元，并且被構造為儲存第一有機材料。第二儲存單元連接到第二噴嘴單元，并且被構造為儲存第二有機材料。第一光照射單元設置為與第一噴嘴單元的第一側部相鄰，并且與第一噴嘴單元并排地延伸。第二光照射單元設置為與第二噴嘴單元的第二側部相鄰，并且與第二噴嘴單元并排地延伸。
[0012]根據另一實施例，一種薄膜形成方法包括通過使基板沿第一方向運動而在基板上形成第一薄膜的第一掃描操作以及通過使基板沿與第一方向相反的第二方向運動而形成第二薄膜的第二掃描操作。第一掃描操作和第二掃描操作均包括將第一有機材料或第二有機材料中的任意一種或多種提供到基板上以及將第一 UV光和第二 UV光中的任意一種或多種照射到基板上。
【附圖說明】
[0013]通過參照附圖對本發明構思的示例性實施例進行的詳細描述，本發明構思的上述和其它方面和特征將變得更加明顯，在附圖中:
[0014]圖1是根據實施例的有機薄膜形成設備的框圖；
[0015]圖2是根據另一實施例的薄膜形成設備的框圖；
[0016]圖3是根據實施例的薄膜形成設備的平面圖；
[0017]圖4是沿圖3的1-1’線截取的剖視圖；
[0018]圖5是圖3的薄膜形成設備的剖視圖；
[0019]圖6是圖3的薄膜形成設備的剖視圖；
[0020]圖7是圖6的薄膜形成設備的平面圖；
[0021]圖8是圖7的薄膜形成設備的剖視圖；
[0022]圖9是具有通過圖8的薄膜形成設備而形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0023]圖10是圖3的薄膜形成設備的平面圖；
[0024]圖11是圖10的薄膜形成設備的剖視圖；
[0025]圖12是具有通過圖11的薄膜形成設備形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0026]圖13是圖7的薄膜形成設備的剖視圖；
[0027]圖14是具有通過圖13的薄膜形成設備形成的薄膜的基板的剖視圖；
[0028]圖15、圖16、圖17和圖18是通過圖3的薄膜形成設備而形成在基板上的薄膜的首丨J視圖;
[0029]圖19是根據另一實施例的薄膜形成設備的剖視圖；
[0030]圖20、圖21和圖22是示出了圖19的薄膜形成設備的操作的平面圖。
【具體實施方式】
[0031]本發明構思的方面和特征及實現所述方面和特征的方法通過參照將要參照附圖詳細描述的實施例將是明顯的。然而，本發明構思不限于下文中所公開的實施例，而是可以以不同的形式來實施。在說明書中定義的關系(諸如詳細構造和要素)只不過是提供的有助于本領域普通技術人員在全面理解本發明構思方面的具體細節，但是本發明構思僅限定在權利要求書的范圍內。
[0032]用于描述元件在另一元件上或者位于一個不同的層或一個層上的術語“在……上”包括元件直接位于另一元件或層上的情形以及元件經由另一層或又一元件而位于另一元件上的情形。在整個說明書中，相同的附圖標號在各幅圖用于相同的元件。
[0033]雖然使用術語“第一、第二等等”來描述不同的構成元件，但是這些構成元件不受這些術語的限制。這些術語僅是用來將一個構成元件與另一個構成元件區分開來。因此，在下面的描述中，第一構成元件可以是第二構成元件。
[0034]在下文中，將參照附圖來描述實施例。
[0035]圖1是根據實施例的有機薄膜形成設備1000的框圖。
[0036]參照圖1，根據當前實施例的薄膜形成設備1000包括第一儲存單元120、第一噴嘴單元100、第一光照射單元110、第二儲存單元220、第二噴嘴單元200和第二光照射單元210。第一儲存單元120儲存第一有機材料。第一噴嘴單元100連接到第一儲存單元120并且噴射儲存在第一儲存單元120中的第一有機材料。第一光照射單元110設置為與第一噴嘴單元100相鄰，并且照射具有使第一有機材料固化的波長的光。第二儲存單元220儲存第二有機材料。第二噴嘴單元200設置為與第一噴嘴單元100相鄰，連接到第二儲存單元220，并且噴射儲存在第二儲存單元220中的第二有機材料。第二光照射單元210設置為與第二噴嘴單兀200相鄰,并且照射具有使第二有機材料固化的波長的光。
[0037]第一儲存單元120儲存第一有機材料。第一儲存單元120可以儲存呈氣態、液態或固態的第一有機材料。即，儲存在第一儲存單兀120中的第一有機材料的物相不限于具體的物相。
[0038]第一有機材料可以包括用于形成薄膜的所有有機材料。即，第一有機材料可以是目前在薄膜形成工藝中使用的或者能夠根據未來的技術發展而使用的任何有機材料。換言之，這里所使用的有機材料不限于特定類型的材料。
[0039]第一噴嘴單元100可以連接到第一儲存單元120。即，在第一儲存單元120和第一噴嘴單元100之間可以形成有通道。因此，儲存在第一儲存單元120中的第一有機材料可以通過第一噴嘴單元100噴射。
[0040]第一噴嘴單元100和第一儲存單元120可以通過連接媒介(諸如至少一條管路或管道)而連接。然而，這僅僅是示例，第一噴嘴單元100和第一儲存單元120可以以各種方式連接。
[0041]第一噴嘴單元100可以朝著基板噴射儲存在第一儲存單元120中的第一有機材料。在示例中，第一噴嘴單元100可以噴射以液態、氣態或氣懸體(aerosol)形式儲存在第一儲存單元120中的第一有機材料。
[0042]第一光照射單元110可以設置為與第一噴嘴單元100相鄰。第一光照射單元110可以朝著從第一噴嘴單元100噴射的第一有機材料照射光。換言之，第一光照射單元110可以朝著從第一噴嘴單元100噴射到基板上的第一有機材料照射光。在示例中，第一光照射單元110可以照射紫外(UV)波長的光。然而，這僅僅是一個示例，由第一光照射單元110照射的光的波長不限于UV波長。
[0043]固化波長可以根據第一有機材料的類型而變化。即，特定類型的有機材料可以由具有特定范圍的波長的光固化。在示例中，第一光照射單元110可以照射具有與第一有機材料相對應的波長的光。換言之，第一光照射單兀I1可以照射具有使第一有機材料固化的波長的光。即，由第一光照射單元110照射的光的波長可以根據第一有機材料的類型而變化。
[0044]根據當前實施例的薄膜形成設備1000還可以包括儲存第二有機材料的第二儲存單元220。第二