勻性〈3%，能夠滿足要求的刻蝕均勻性。圖3中的箭頭表示工藝氣體的進氣方向。
[0050]在其中一個實施例中，所述流道的深度小于等于I毫米。流道的深度小于等于I毫米，可使流道內的工藝氣體不離子化。
[0051]在其中一個實施例中，所述篩孔的直徑與所述篩孔的深度之比小于等于10。可使流道內的工藝氣體不離子化。
[0052]在其中一個實施例中，所述進氣接頭200為金屬進氣接頭，所述金屬進氣接頭包括第一進氣管頭210和第二進氣管頭220 ；
[0053]所述進氣部310包括第一通氣孔311和第二通氣孔312，分別與所述第一進氣管頭210和第二進氣管頭220相匹配。
[0054]在其中一個實施例中，所述第一通氣孔311與所述圓形流道510相連通，所述第二通氣孔312與所述環形流道520相連通。
[0055]兩個進氣孔分別與兩個流道相連通，可通過對流入第一通氣孔和第二通氣孔的氣體流量和種類進行調整，使得工藝腔室內的工藝氣體均勻分布，從而獲得滿足要求的刻蝕均勻性。
[0056]在其中一個實施例中，在本發明的上電極組件進氣裝置的一實施例，還包括用于防止工藝氣體泄漏的第一密封圈600和第二密封圈700。
[0057]所述第一密封圈600安裝在所述進氣接頭200與所述蓋板300的第一表面之間。
[0058]所述第二密封圈700安裝在所述蓋板300的第二表面與所述篩板400的第一表面之間。
[0059]在氣體在其中流動的部件之間設置密封圈，防止氣體的泄漏，節約資源，降低成本。
[0060]在其中一個實施例中，本發明的一實施例中，如圖2，圖5所示，還包括用于防止工藝氣體泄漏的第三密封圈800。
[0061]所述上電極組件的工藝腔室900包括側壁910，所述側壁910圍成中空筒。
[0062]所述篩板400安裝在所述中空筒的一端，所述篩板400的第二表面與所述側壁910緊密貼合。
[0063]所述第三密封圈800安裝在所述篩板400的第二表面與所述側壁910之間，用于防止工藝氣體泄漏。
[0064]工藝腔室用于對工藝加工，篩板安裝在工藝腔室的一端，覆蓋所述工藝腔室的一端。安裝的第三密封圈防止工藝氣體從所述篩板與所述工藝腔室側壁之間泄漏，節約資源，降低成本。
[0065]此處需要說明的是，所述篩板安裝在所述工藝腔室上時，篩板上的篩孔都在工藝腔室側壁包圍的范圍內，工藝氣體全部落入到工藝腔室之中。
[0066]在其中一個實施例中，蓋板300為陶瓷材料。
[0067]蓋板和篩板都為不導電的陶瓷材料，是本發明實施例的進氣結構具有更好的效果O
[0068]在其中一個實施例中，所述進氣接頭采用奧氏體不銹鋼0Crl7Nil2Mo2 (316L)或06Crl9Nil0 (304)制作；所述蓋板采用氧化鋁陶瓷或熔凝石英材料制作。
[0069]實施例二
[0070]基于同一發明目的，本發明實施例還公開一種上電極組件，包括平面線圈100和工藝腔室900，還包括如實施例一所述的上電極組件進氣裝置。
[0071]其中上電極組件進氣裝置與實施一結構相同，以同樣的方式進行工作，因此，在本發明實施例二中，不再詳細描述。
[0072]本發明的上電極組件進氣裝置及上電極組件，可有效避免進氣接頭的感應加熱，降低進氣接頭內氣體的離子化，從而也可降低氣體離化的離子對進氣接頭對其內壁的轟擊加熱。因此，從整體上降低了進氣接頭的溫度，避免了進氣接頭的發熱問題，防止進氣接頭溫度過高。
[0073]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種上電極組件進氣裝置，其特征在于，包括進氣接頭，蓋板，以及篩板，其中: 所述進氣接頭安裝在所述蓋板的第一表面上； 所述蓋板的第二表面與所述篩板的第一表面緊密貼合； 所述蓋板包括蓋板主體和進氣部，所述蓋板主體與所述進氣部固定連接，所述進氣部與所述進氣接頭相匹配； 所述篩板的第一表面設置有至少一條用于工藝氣體流通的流道，所述流道與所述進氣部連通； 所述篩板設置有多個用于工藝氣體流通的篩孔。
2.根據權利要求1所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述進氣部在所述蓋板主體邊緣的外側。
3.根據權利要求1所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述篩板的第一表面設置有圓形流道，以及與所述圓形流道同心的環形流道。
4.根據權利要求1所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述流道的深度小于等于I毫米。
5.根據權利要求1所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述篩孔的直徑與所述篩孔的深度之比小于等于10。
6.根據權利要求3所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于， 所述進氣接頭為金屬進氣接頭，所述金屬進氣接頭包括第一進氣管頭和第二進氣管頭; 所述進氣部包括第一通氣孔和第二通氣孔，分別與所述第一進氣管頭和第二進氣管頭相匹配。
7.根據權利要求6所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述第一通氣孔與所述圓形流道相連通，所述第二通氣孔與所述環形流道相連通。
8.根據權利要求1至7任一項所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，還包括用于防止工藝氣體泄漏的第一密封圈和第二密封圈，其中: 所述第一密封圈安裝在所述進氣接頭與所述蓋板的第一表面之間； 所述第二密封圈安裝在所述蓋板的第二表面與所述篩板的第一表面之間。
9.根據權利要求8所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，還包括用于防止工藝氣體泄漏的第三密封圈； 所述上電極組件的工藝腔室包括側壁，所述側壁圍成中空筒； 所述篩板安裝在所述中空筒的一端，所述篩板的第二表面與所述側壁緊密貼合； 所述第三密封圈安裝在所述篩板的第二表面與所述側壁之間。
10.根據權利要求9所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述蓋板為陶瓷材料。
11.根據權利要求10所述的上電極組件進氣裝置，其特征在于，所述進氣接頭采用奧氏體不銹鋼0Crl7Nil2Mo2或06Crl9Nil0制作；所述蓋板采用氧化鋁陶瓷或熔凝石英材料制作。
12.—種上電極組件，包括平面線圈和工藝腔室，其特征在于，還包括如權利要求1-11任一項所述的上電極組件進氣裝置，進氣部設置在平面線圈覆蓋區域的外側。
【專利摘要】本發明公開了一種上電極組件進氣裝置及上電極組件，包括進氣接頭，蓋板，以及篩板。進氣接頭安裝在蓋板的第一表面上；蓋板的第二表面與篩板的第一表面緊密貼合；蓋板包括蓋板主體和進氣部，主體與進氣部固定連接，進氣部設置在上電極組件的平面線圈的外側與進氣接頭相匹配；篩板的第一表面設置有至少一條流道，流道與進氣部連通；所述篩板設置有多個用于工藝氣體流通的篩孔。其可有效避免進氣接頭的感應加熱，從而也可降低氣體離化的離子對進氣接頭對其內壁的轟擊加熱。防止進氣接頭溫度過高。
【IPC分類】H01J37-32
【公開號】CN104752131
【申請號】CN201310724226
【發明人】趙隆超
【申請人】北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月25日