23為覆膜的情況相比,能夠以低廉的價格來制造X射線管1并且,與現有情況(覆膜的情況)相比,用于安裝抗X射線樹脂膜23的制造工序較短,且不需要熟練,能更為穩定地實施。
[0098]抗X射線樹脂膜23優選由比一般的工業用塑料的抗X射線特性更好的材料形成。這是由于能夠對因照射X射線而產生的抗X射線樹脂膜23的劣化進行抑制。因此,抗X射線樹脂膜23優選由包含PI樹脂和PEEK樹脂中的至少一種的樹脂材料形成。
[0099]干燥氣體29優選是包含有氮、氖、氬、氪以及氙中的至少一種的惰性氣體。這是由于惰性氣體不易因X射線的照射而生成腐蝕性氣體。
[0100]根據上述內容,可得到能夠力圖實現產品壽命的長期化、且能夠得到出色的產品可靠性的X射線管I以及X射線管I的制造方法。
[0101]下面,對實施方式2所涉及的X射線管以及X射線管的制造方法進行詳細說明。在本實施方式中,其他結構與上述實施方式I相同,對于相同的部分標注相同的標號,并省略其詳細說明。此外,X射線管的制造方法與上述實施方式I相同,省略其詳細說明。
[0102]如圖4和圖5所示,抗X射線樹脂膜23形成為桶狀。抗X射線樹脂膜23通過對板狀的樹脂膜進行加溫成形使其成為立體形狀來形成。接著,使桶狀的抗X射線樹脂膜23的底部側隔開間隔與X射線透射窗22相對。由此,在窗框21上形成(定位)有第2安裝面21s2,以形成填充有干燥氣體29的空間。
[0103]根據按上述那樣構成的實施方式2所涉及的X射線管I以及X射線管I的制造方法,X射線管I包括:具有開口 17W的真空密封外殼17、X射線透射組件20、陰極18、以及陽極靶10。抗X射線樹脂膜23可以具有立體形狀,在這種情況下也能夠得到與實施方式I相同的效果。
[0104]根據上述內容,可得到能夠力圖實現產品壽命的長期化、且能夠得到出色的產品可靠性的X射線管I以及X射線管I的制造方法。
[0105]下面,對實施方式3所涉及的X射線管以及X射線管的制造方法進行詳細說明。在本實施方式中,其他結構與上述實施方式2相同,對于相同的部分標注相同的標號,并省略其詳細說明。
[0106]如圖6和圖7所示,密封構件25具有橡膠密封材料27、以及按壓構件28來替代粘接接合部26。橡膠密封材料27設置于窗框21的第2安裝面21s2與抗X射線樹脂膜23之間。橡膠密封材料27由O形環形成,該O形環使用了例如不易產生腐蝕性氣體的橡膠、例如交聯了過氧化物的乙烯丙烯橡膠、交聯了放射線的氟橡膠、苯甲基硅樹脂橡膠等。按壓構件28保持隔著橡膠密封材料27將抗X射線樹脂膜23按壓至第2安裝面21s2 (窗框21)的狀態。
[0107]在本實施方式中,按壓構件28是側面進行了外螺紋加工的環形螺母。在與按壓構件28相對應的窗框21的內周面進行了內螺紋的加工。按壓構件28安裝于窗框21的內周面,對抗X射線樹脂膜23進行按壓。
[0108]這里,X射線透射組件20還具備間隔件30。間隔件30存在于抗X射線樹脂膜23的安裝區域和按壓構件28之間。
[0109]由此,利用第2安裝面21s2和抗X射線樹脂膜23(按壓構件28)對橡膠密封材料27進行加壓。由于第2安裝面21s2與橡膠密封材料27緊密貼合,橡膠密封材料27與抗X射線樹脂膜23緊密貼合,因此,能夠保持由窗框21、X射線透射窗22、抗X射線樹脂膜23以及橡膠密封材料27包圍的空間的氣密狀態。
[0110]此外,按壓構件28也可以通過嵌合固定的方式安裝到窗框21,由此來保持按壓抗X射線樹脂膜23的狀態。
[0111]在利用橡膠密封材料27的情況下,第2安裝面21s2可以不是平坦的。例如,在第2安裝面21s2上可以形成用于配置橡膠密封材料27的框狀的槽部。
[0112]在密封構件25具有橡膠密封材料27和按壓構件28的情況下,密封構件25還可以具備未圖示的增強構件。增強構件氣密性地封閉窗框21與抗X射線樹脂膜23之間的間隙,對上述空間的氣密狀態的保持進行增強。作為增強構件,可以利用粘接劑、密封劑或涂裝膜等。例如,在第2安裝面21s2、窗框21的內周面以及橡膠密封材料27的間隙涂布密封劑,從而能夠在第2安裝面21s2、窗框21的內周面、橡膠密封材料27以及抗X射線樹脂膜23所包圍的空間內形成由密封劑構成的增強構件。
[0113]接下來,對上述X射線管I的制造方法進行說明。籠統來說,X射線管I的制造方法與上述實施方式I相同。因此,此處對X射線透射窗22的制造方法(組裝方法)進行說明。
[0114]在制造X射線透射組件20時,首先,準備安裝有X射線透射組件20、且完成了排氣工序的X射線管I。
[0115]接著,在干燥氣體氣氛中,在第2安裝面21s2上配置橡膠密封材料27,然后,以隔開間隔的方式使抗X射線樹脂膜23與X射線透射窗22相對,在窗框21、X射線透射窗22、抗X射線樹脂膜23、以及橡膠密封材料27的內部形成填充有干燥氣體29的空間。
[0116]并且,使用密封構件25氣密性地封閉窗框21與抗X射線樹脂膜23之間的間隙,保持上述空間的氣密狀態。在本實施方式中,密封構件25具有橡膠密封材料27和按壓構件28。由此,通過將按壓構件28緊固于窗框21的內周面,能夠將抗X射線樹脂膜23安裝到窗框21。
[0117]由此,能夠封閉窗框21與抗X射線樹脂膜23之間的間隙,能夠形成上述空間。于是,X射線透射組件20的制造結束。
[0118]根據按上述那樣構成的實施方式3所涉及的X射線管I以及X射線管I的制造方法,X射線管I包括:具有開口 17W的真空密封外殼17、X射線透射組件20、陰極18、以及陽極靶10。密封構件25可以具有橡膠密封材料27和按壓構件28,在這種情況下也能夠得到與實施方式I相同的效果。
[0119]根據上述內容,可得到能夠力圖實現產品壽命的長期化、且能夠得到出色的產品可靠性的X射線管I以及X射線管I的制造方法。
[0120]下面,對實施方式4所涉及的X射線管以及X射線管的制造方法進行詳細說明。在本實施方式中,其他結構與上述實施方式3相同,對于相同的部分標注相同的標號,并省略其詳細說明。此外,X射線管的制造方法與上述實施方式3基本相同,省略其詳細說明。
[0121]如圖8和圖9所示,X射線透射組件20還可以具有框構件24。框構件24與開口17w相對,氣密性地安裝于抗X射線樹脂膜23,與窗框21、X射線透射窗22、以及抗X射線樹脂膜23 —起在內部形成空間。框構件24由剛性比抗X射線樹脂膜23要好的材料形成。框構件24例如由金屬形成。在形成X射線透射組件20時,通過預先將抗X射線樹脂膜23安裝于框構件24并形成為一體,從而能夠容易地對抗X射線樹脂膜23進行處理。
[0122]密封構件25 (橡膠密封材料27和按壓構件28)氣密性地封閉窗框21與框構件24之間的間隙,保持上述空間的氣密狀態。
[0123]在本實施方式中,抗X射線樹脂膜23形成為圓板狀。
[0124]此外,在本實施方式中,密封構件25也可以還具備上述增強構件,對上述空間的氣密狀態的保持進行增強。X射線透射組件20也可以還具備間隔件30。
[0125]根據按上述那樣構成的實施方式4所涉及的X射線管I以及X射線管I的制造方法,X射線管I包括:具有開口 17W的真空密封外殼17、X射線透射組裝件20、陰極18、以及陽極靶10。密封構件25可以具有橡膠密封材料27和按壓構件28,在這種情況下也能夠得到與實施方式3相同的效果。
[0126]在形成X射線透射組件20時,通過預先將抗X射線樹脂膜23安裝于框構件24并形成為一體,從而能夠容易地對抗X射線樹脂膜23進行處理。由此,能夠更為容易地形成X射線透射組件20。
[0127]根據上述內容,可得到能夠力圖實現產品壽命的長期化、且能夠得到出色的產品可靠性的X射線管I以及X射線管I的制造方法。
[0128]下面,對實施方式5所涉及的X射線管以及X射線管的制造方法進行詳細說明。在本實施方式中,其他結構與上述實施方式4相同,對于相同的部分標注相同的標號,并省略其詳細說明。X射線管的制造方法與上述實施方式4相同。
[0129]如圖10和圖11所示,在框構件24形成有階梯部。由此,框構件24的一個端面形成為超過抗X射線樹脂膜23的表面并向按壓構件28 —側突出。由此,能夠在不與抗X射線樹脂膜23相接觸(按壓抗X射線樹脂膜23)的狀態下發揮按壓構件28的功能。
[0130]此外,在本實施方式中,密封構件25也可以還具備上述增強構件,對上述空間的氣密狀態的保持進行增強。
[0131]根據按上述那樣構成的實施方式5所涉及的X射線管I以及X射線管I的制造方法,X射線管I包括:具有開口 17W的真空密封外殼17、X射線透射組裝件20、陰極18、以及陽極靶10。由此,能獲得與上述實施方式4相同的效果。此外,通過在框構件24形成階梯部,從而能夠在按壓構件28不與抗X射線樹脂膜23相接觸的狀態下發揮按壓構件28的功會K。
[0132]根據上述內容,可得到能夠力圖實現產品壽命的長期化、且能夠得到出色的產品可靠性的X射線管I以及X射線管I的制造方法。
[0133]接著,對比較例的X射線管進行說明。
[0134]如圖12所示,比較例的X射線管I的X射線透射組件20不具備填充有上述干燥氣體29的空間。抗X射線樹脂膜23是覆膜,是在X射線透射窗22收于窗框21的狀態下,通過在X射線透射窗22上涂布PI樹脂后進行燒成來形成的。
[0135]根據按上述方式構成的比較例的X射線管I的X射線透射組件20,在抗X射線樹脂膜23的外表面生成的酸緩緩地擴散滲透到抗X射線樹脂膜23中,最終將導致緊密貼合在抗X射線樹脂膜23的相反表面的X射線透射窗22出現腐蝕。
[0136]但是,由于上述酸的擴散滲透需要時間,因此,與未形成覆膜(抗X射線樹脂膜23)的情況相比,能夠獲得到產生問題為