基板支撐針、基板支撐裝置和基板取放系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示裝置的制備領域,具體涉及一種基板支撐針、包括該基板支撐針的基板支撐裝置和包括該基板支撐裝置的基板取放系統。
【背景技術】
[0002]在顯示裝置的制備過程中,基板放置在支撐裝置的支撐臺上,例如,基臺或傳送臺。對基板進行取放時,基板支撐針穿過支撐臺將基板頂起,機械手可以取放基板;基板支撐針下降時,基板落在支撐臺上。但是基板支撐針與基板之間可能會發生相對位移,而現有技術中的基板支撐針頂端較尖銳(如圖1所示),導致基板支撐針頂端容易對基板產生劃傷。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于提供一種基板支撐針、一種基板支撐裝置和一種基板取放系統,以減小基板所受到的劃傷。
[0004]為了實現上述目的,本發明提供一種基板支撐針,用于支撐基板,所述基板支撐針包括桿體,所述桿體的支撐端設置有轉動件,所述轉動件能夠沿基板的表面發生滾動。
[0005]優選地,所述轉動件包括轉動輪,所述轉動輪可旋轉地固定在所述桿體的支撐端,所述基板能夠支撐在所述轉動輪的表面。
[0006]優選地,所述桿體上設置有穿過所述轉動輪軸線的連接桿,且所述轉動輪能夠繞所述連接桿轉動。
[0007]優選地,所述轉動件包括設置在所述桿體的支撐端的滾珠,所述基板能夠支撐在所述滾珠頂部。
[0008]優選地,所述桿體內設置有氣體通道,所述滾珠設置在所述氣體通道的端口處,所述氣體通道的側壁上設置有限定部,該限定部用于限定所述滾珠的位置。
[0009]優選地,所述限定部包括位于所述氣體通道端口處的第一環形擋板和位于該第一環形擋板下方的第二環形擋板,所述第一環形擋板和所述第二環形擋板的內徑均小于所述滾珠的直徑,所述滾珠的球心限定在所述第一環形擋板和所述第二環形擋板之間,所述滾珠的頂端凸出于所述第一環形擋板。
[0010]相應地,本發明還提供一種基板支撐裝置,包括支撐臺和沿所述支撐臺厚度方向貫穿所述支撐臺的多個基板支撐針,所述基板支撐針為本發明提供的上述基板支撐針。
[0011]優選地,所述桿體內設置有氣體通道,所述轉動件包括設置在所述氣體通道端口處的滾珠,所述氣體通道的側壁上設置有限定部,該限定部用于限定所述滾珠的位置,所述基板能夠支撐在所述滾珠頂部。
[0012]優選地,所述基板支撐裝置還包括氣壓調節機構,該氣壓調節機構包括:
[0013]充氣泵,該充氣泵的充氣口與所述氣體通道相連通,以向所述氣體通道充氣;和/或
[0014]抽氣泵,該抽氣泵的抽氣口與所述氣體通道相連通,以抽取所述氣體通道內的氣體。
[0015]優選地,所述基板支撐裝置還包括設置在所述支撐臺周圍的對位機構,該對位機構用于分別在不同高度處將設置在基板支撐針上的基板設置在相應的預定位置。
[0016]優選地,所述對位機構包括位于第一高度處的第一定位件組和位于第二高度處的第二定位件組,所述第一定位件組的多個定位件環繞在對應于所述第一高度的預定位置周圍,所述第二定位件組的多個定位件環繞在對應于所述第二高度的預定位置周圍;
[0017]當所述基板支撐針的支撐端位于所述第一高度處時,所述第一定位件組的多個定位件能夠朝向對應于所述第一高度的預定位置移動,以將支撐在所述基板支撐針上的基板夾固在對應于所述第一高度的預定位置;
[0018]當所述基板支撐針的支撐端位于所述第二高度處時,所述第二定位件組的多個定位件能夠朝向對應于所述第二高度的預定位置移動,以將支撐在所述基板支撐針上的基板夾固在對應于所述第二高度的預定位置。
[0019]相應地,本發明還提供一種基板取放系統,包括機械手和本發明提供的上述基板支撐裝置。
[0020]在本發明中,基板支撐針的桿體支撐端設置有轉動件,基板與支撐針之間發生相對位移時,轉動件能夠沿基板的表面發生滾動,從而減小基板表面受到的劃傷;并且,當轉動件為滾珠時,桿體內設置有氣體通道,對基板進行對位時,將氣體通道與外界大氣連通,以使得滾珠可以滾動,從而便于基板的移動,同時基板與基板支撐針的相對位移也不會造成基板的劃傷;當對位完畢時,通過氣體調節機構向氣體通道內充氣或抽取氣體通道內的氣體,以增大氣體通道內的氣壓與外界大氣壓之差的絕對值,以固定滾珠,從而防止基板發生移動。與現有技術相比,本發明便于將基板調節至預定位置,以使得基板取放系統可以精確地對基板進行取放,減小了基板的損壞,降低了生產成本。
【附圖說明】
[0021]附圖是用來提供對本發明的進一步理解,并且構成說明書的一部分,與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發明,但并不構成對本發明的限制。在附圖中:
[0022]圖1是現有技術中的基板支撐針的結構示意圖;
[0023]圖2是本發明的第一種實施方式的基板支撐針的結構示意圖;
[0024]圖3是本發明的第二種實施方式的基板支撐針的結構示意圖;
[0025]圖4是圖3中I部分的放大示意圖;
[0026]圖5是基板支撐針下降時基板支撐裝置的結構示意圖;
[0027]圖6是基板支撐針上升時基板支撐裝置的結構示意圖。
[0028]其中,附圖標記為:10、基板支撐針;11、桿體;12、轉動輪;13、滾珠;14、氣體通道;15、限定部;15a、第一環形擋板;15b、第二環形擋板;20、支撐臺;21、定位件;3、基板。
【具體實施方式】
[0029]以下結合附圖對本發明的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是,此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發明,并不用于限制本發明。
[0030]作為本發明的一個方面,提供一種基板支撐針,用于支撐基板,如圖2和圖3所示,基板支撐針10包括桿體11,桿體11的支撐端設置有轉動件,所述轉動件能夠沿基板的表面發生滾動。
[0031]當基板與基板支撐針10之間發生相對位移(例如對基板進行對位)時,所述轉動件能夠沿基板的表面發生滾動,因而使得基板與基板支撐針之間產生滾動摩擦,從而減小基板表面受到的劃傷,提高產品質量。
[0032]作為本發明的一種【具體實施方式】,如圖2所示,所述轉動件包括轉動輪12,轉動輪12可旋轉地固定在桿體11的支撐端,所述基板能夠支撐在轉動輪12的表面。轉動輪12可以看做圓柱體,基板支撐針直立放置以支撐基板時,所述圓柱體的端面與水平面垂直,轉動輪12的最高點高于桿體10的頂端,以使得基板可以支撐在轉動輪12的表面上。
[0033]具體地,桿體11上可以設置有穿過轉動輪12軸線的連接桿(圖中未示出),且轉動輪12能夠繞所述連接桿轉動。由于轉動輪12為圓柱體,當轉動輪12的軸線固定時,轉動輪12在基板的表面的滾動方向為直線,當基板相對于基板支撐針10的位移方向與轉動輪的滾動方向一致時,基板表面并不會產生劃傷。
[0034]作為本發明的一種優選實施方式,如圖3所示,所述轉動件包括設置在桿體11的支撐端的滾珠13,所述基板能夠支撐在滾珠13頂部。由于滾珠13可以沿任意方向發生滾動,因此,當支撐在基板支撐針10的基板朝向任意方向發生位移時,基板與基板支撐針10之間的摩擦均為滾動摩擦,從而減小基板表面的劃傷。
[0035]本發明對滾珠13的設置方式不作顯示,例如,可以在桿體11的支撐端的端面上設置凹槽,將滾珠13設置在凹槽內并可以在所述凹槽內進行滾動。
[0036]優選地,如圖3和圖4所不,桿體11內設置有氣體通道14,滾珠13設置在氣體通道14的端口處,氣體通道14的側壁上設置有限定部15,限定部15用于限定滾珠13的位置,以防止滾珠13脫出桿體,而限定部15并不會影響滾珠13的滾動。
[0037]具體地,如圖4所示,限定部15包括位于氣體通道14端口處的第一環形擋板15a和位于該第一環形擋板15a下方的第二環形擋板15b,第一環形擋板15a和第二環形擋板15b的內徑均小于滾珠13的直徑,滾珠13的球心限定在第一環形擋板15a和第二環形擋板15b之間,滾珠13的頂端凸出于第一環形擋板15a,從而對基板進行支撐,由于第一環形擋板15a和第二環形擋板15b的內徑均小于滾珠13的直徑,因此,滾珠13既不會向上脫出桿體,也不會在氣體通道內下滑。
[0038]當然,本發明中限定部15還可以為其他結構,只要可以限定滾珠13的位置,防止滾珠向上移動而脫離桿體11或沿氣體通道14下滑即可。
[0039]本發明中的“上”、“下”是指圖3中的上、下的方向。
[0040]可以理解的是,當氣體通道14內的氣壓大于外界大氣壓時,滾珠13會受到向上的推力;當氣體通道14內的氣壓小于外界大氣壓時,滾珠會受到向下的壓力。隨著氣體通道14內的氣壓與外界大氣壓之差的絕對值的增大,滾珠13受到的推力或壓力也隨之增大,從而使得滾珠13與限定部15之間產生的摩擦力也隨之增大,當氣體通道14內的氣壓與外界大氣壓之差達到預定值時,滾珠13與限定部15之間的摩擦力大于滾珠13與基板之間的摩擦力,使得滾珠13與桿體11之間保持相對固定,即滾珠13不會沿基板的表面發生滾動,從而防止在基板支撐針升降的過程中,基板位置發生偏移;當氣體通道14內的氣壓與外界大氣壓之差的絕對值未達到預定值時,滾珠13與限定部15之間的摩擦力較小,滾珠13仍然可以滾動,從而便于對基板進行移動,且基板與基板支撐針之間的相對位移也不會對基板表面造成劃傷。
[0041]在基板支撐針11帶動基板上升之前,可以先將基板放置在預定位置,當基板支撐針11上升以將基板頂起至預定高度后,可以將基板取走。當