離子發生器及其控制方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及用于利用對放電針施加高電壓所發生的正以及負的離子將帶電了的工件等電氣地中和的離子發生器(1naizer)及其控制方法。
【背景技術】
[0002]以往，為了防止靜電破壞、靜電吸附等靜電氣所致的障礙，使用了對放電針施加高電壓而通過電暈放電發生正以及負的離子的除電裝置即離子發生器。這樣的離子發生器主要被分類為對放電針施加直流電壓的方式(以下記載為DC方式)、和對放電針施加交流電壓的方式(以下記載為AC方式)。
[0003]其中，所述DC方式是指，具有放出正離子的放電針和放出負離子的放電針，通過對各個放電針施加正負的直流電壓，從這些正負的各放電針同時放出正負的離子的方式。因此，相比于對放電針施加交流電壓的所述AC方式，能夠抑制正以及負的離子的再結合，其結果，具有能夠使更多的正負各離子飛向遠處，能夠使除電速度更快這樣的優點。
[0004]但是，已知在這樣的電暈放電式的離子發生器中，伴隨使用時間的長期化，放電針由于腐蝕、磨耗等劣化，但此時，特別正極的放電針相比于負極的放電針更易于劣化。因此，存在從正負的各放電針放出的離子平衡經時地崩潰，除電性能降低這樣的問題。
[0005]因此，為了防止這樣的離子平衡的經時的偏差，在專利文獻1、專利文獻2中，提出了構成為從第一群組的放電針放出一方的極性的離子，同時，從第二群組的放電針放出另一方的極性的離子，并且針對每一定期間，使從所述各群組放出的離子的極性反轉的除電
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[0006]但是，該專利文獻1、專利文獻2公開的除電裝置使所述各群組的放電針的極性以0.05s以下這樣的短的周期(一定期間)反轉，所以在需要充分發揮上述那樣的DC方式的長處的同時，防止離子平衡的經時的偏差的情況下，無法說一定是最佳的解決對策。
[0007]專利文獻1:日本特開2008-153132號公報
[0008]專利文獻2:日本特開2008-288072號公報
【發明內容】
[0009]本發明的課題在于提供一種離子發生器及其控制方法，在充分發揮上述那樣的DC方式的離子發生器的長處的同時，使與使用時間的長期化相伴的放電針的腐蝕、磨耗等所致的劣化的程度在各放電針之間均勻化，從而能夠防止離子平衡的經時的偏差，同時作為放電針整體還能夠改善壽命。
[0010]為了解決所述課題，本發明提供一種離子發生器，具備:放電部，具有按照所施加的直流電壓的極性放出正或者負的離子的2n個放電針，將這些放電針的每η個分組成第一群組和第二群組，其中，η是自然數；極性輸出部，能夠將第一極性模式以及第二極性模式中的某一個選擇性地輸出到所述放電部，該第一極性模式是在對所述第一群組的放電針施加正極性的直流電壓的同時對所述第二群組的放電針施加負極性的直流電壓的模式，該第二極性模式是在對所述第一群組的放電針施加負極性的直流電壓的同時對所述第二群組的放電針施加正極性的直流電壓的模式；極性控制部，控制從所述極性輸出部輸出的極性模式；以及電源，與所述極性輸出部連接，能夠使針對該極性輸出部的供電成為ON/OFF，所述離子發生器的特征在于:所述極性控制部具有:標志存儲部，存儲對所述第一極性模式以及所述第二極性模式的各個分配了的標志中的某一個；以及標志更新部，在所述電源從OFF向ON或者從ON向OFF切換時，將在所述標志存儲部中存儲的一方的標志改寫為另一方的標志，將使得從所述極性輸出部輸出與在所述標志存儲部中存儲的標志對應的極性模式的指令信號輸出到該極性輸出部。
[0011]此時，在上述離子發生器中，所述極性輸出部具有:第一正極電路，對所述第一群組的放電針施加正極性的直流電壓；第一負極電路，對所述第一群組的放電針施加負極性的直流電壓；第二正極電路，對所述第二群組的放電針施加正極性的直流電壓；第二負極電路，對所述第二群組的放電針施加負極性的直流電壓；第一開關，使所述電源與所述第一正極電路之間的電連接成為0N/0FF ;第二開關，使所述電源與所述第一負極電路之間的電連接成為0N/0FF ;第三開關，使所述電源與所述第二正極電路之間的電連接成為0N/0FF ；以及第四開關，使所述電源與所述第二負極電路之間的電連接成為0N/0FF，通過來自所述極性控制部的指令信號，使所述第一開關和所述第四開關成為0N，并且使所述第二開關和所述第三開關成為0FF，從而輸出所述第一極性模式，使所述第一開關和所述第四開關成為OFF,并且使所述第二開關和所述第三開關成為0N，從而輸出所述第二極性模式。
[0012]另外，為了解決上述課題，本發明提供一種離子發生器的控制方法，該離子發生器具備:放電部，具有依照所施加的直流電壓的極性放出正或者負的離子的2n個放電針，將這些放電針的每η個分組成第一群組和第二群組，其中，η是自然數；極性輸出部，能夠將第一極性模式以及第二極性模式中的某一個選擇性地輸出到所述放電部，該第一極性模式是在對所述第一群組的放電針施加正極性的直流電壓的同時對所述第二群組的放電針施加負極性的直流電壓的模式，該第二極性模式是在對所述第一群組的放電針施加負極性的直流電壓的同時對所述第二群組的放電針施加正極性的直流電壓的模式；以及電源，與所述極性輸出部連接，能夠使針對該極性輸出部的供電成為0N/0FF，所述控制方法的特征在于:在所述電源從成為ON至成為OFF的工作期間中，從所述極性輸出部對所述放電部，連續地輸出所述第一極性模式以及所述第二極性模式中的某一方的極性模式，在所述電源從OFF切換為ON時,輸出與在上次的工作期間中輸出的一方的極性模式不同的另一方的極性模式。
[0013]根據本發明，設置能夠將在對第一群組的放電針施加正極性的直流電壓的同時對第二群組的放電針施加負極性的直流電壓的第一極性模式、以及在對所述第一群組的放電針施加負極性的直流電壓的同時對所述第二群組的放電針施加正極性的直流電壓的第二極性模式中的某一個選擇性地輸出到放電部的極性輸出部，在將電源從OFF切換為ON時，將所述第一以及第二極性模式中的、與在上次的工作期間中(即電源剛要成為ON的期間中)輸出的一方的極性模式不同的另一方的極性模式從所述極性輸出部輸出到放電部，所以如果使電源從OFF成為ON而使離子發生器工作，則能夠針對所述放電部的各放電針，分別施加與上次的工作期間中相逆的極性的直流電壓。因此，能夠在充分地發揮DC方式的離子發生器的長處的同時，使與使用時間的長期化相伴的放電針的腐蝕、磨耗等所致的劣化的程度在各放電針之間均勻化，從而能夠防止離子平衡的經時的偏差，同時還能夠改善作為屬于兩個群組的放電針整體的壽命。
【附圖說明】
[0014]圖1是示出本發明的離子發生器的結構的框圖。
[0015]圖2是示出本發明的第一實施方式的流程圖。
[0016]圖3是本發明的第一實施方式中的時序圖。
[0017]圖4是示出本發明的第二實施方式的流程圖。
[0018]圖5是本發明的第二實施方式中的時序圖。
【具體實施方式】
[0019]以下，詳細說明本發明的離子發生器的實施方式。如圖1所示，離子發生器I包括:電源2，輸出高頻電壓；放電部10，對未圖示的除電對象物放出