面板裝置及其檢測方法
【技術領域】
[0001]本發明是有關于一種面板裝置及其檢測方法，且特別是有關于一種由兩個基板組立而成的面板裝置及其檢測方法。
【背景技術】
[0002]隨著信息技術與半導體制程能力的發展，市面上的各類產品在反應速率、處理效能、顯示品質等條件上都不斷提升使得制作合格率與制作誤差受到相當嚴謹的要求。以顯示面板來說，顯示面板通常是由兩個或是兩個以上的基板組立而成，其供這基板上面制作有不同的構件。將兩個或多個基板組立在一起的過程中，若對位上的誤差過大，將使最終產品無法滿足市場的需求。因此，在組立多個基板時，需要有適當的方法與手段來檢測對位偏移是否超過可容忍的限度。另外，在基板上制作不同元件時，不同元件的制作過程不一定同步，因此也可能產生對位上的誤差，這類誤差也往往需要被要求在一定的程度之內以符合市場的需求。
【發明內容】
[0003]本發明提供一種面板裝置，提供量測結構以供正確檢測出對位偏移的程度。
[0004]本發明提供一種面板裝置的檢測方法，可以確實檢測出對位偏移是否超出容許范圍。
[0005]本發明的面板裝置包括一第一基板、一第二基板、一第一量測結構以及一第二量測結構。第二基板與第一基板以面對面方式組立。第一量測結構配置于第一基板與第二基板其中一者上，并具有N個量測開口，其中N為正整數。第二量測結構配置于第一基板與第二基板其中一者上，并具有N個量測圖案。各量測圖案的面積對應地遮蔽住其中一個量測開口。在一選定量測方向上各量測圖案的寬度不小于對應的其中一個量測開口的寬度，其中第一量測結構與第二量測結構由不同膜層構成。
[0006]在本發明的一實施例中，上述第i個量測圖案的寬度為Xi，第i個量測開口的寬度Yi，X1-Yi =Wi彡O。第j個量測圖案的寬度為Xj，第j個量測開口的寬度Yj，Xj-Yj =Wj ^ Oo i與j各自為I?N，i不等于j，且Wi不等于Wj。
[0007]在本發明的一實施例中，上述N個量測圖案的寬度不一致。
[0008]在本發明的一實施例中，上述N個量測開口的寬度不一致。
[0009]在本發明的一實施例中，各量測圖案與對應的其中一個量測開口具有相同形狀卻不同尺寸的輪廓。
[0010]在本發明的一實施例中，上述輪廓為多邊形，且多邊形的至少一邊落在對應的量測圖案的面積內。
[0011 ] 在本發明的一實施例中，至少一個量測開口未被對應的量測圖案完全遮蔽而形成一間隙。
[0012]在本發明的一實施例中，第一量測結構與第二量測結構分別位于第一基板與第二基板上。
[0013]在本發明的一實施例中，各量測圖案的寬度大于對應的其中一個量測開口的寬度而與第一量測結構重疊以形成一重疊面積。各量測圖案具有一標記。不同量測圖案構成的重疊面積彼此不同而且不同量測圖案的標記彼此不同。
[0014]本發明的一種面板裝置的檢測方法，包括判斷上述面板中置中是否有量測開口未被對應的量測圖案的面積完全遮蔽而形成一間隙，若是，則表示面板裝置存在一制程對位偏移。
[0015]在本發明的一實施例中，第i個量測圖案的寬度為Xi，第i個量測開口的寬度Yi，X1-Yi = Wi彡0，而第j個量測圖案的寬度為Xj，第j個量測開口的寬度Yj，Xj-Yj =Wj彡0，i與j各自為I?N，j不等于i，且Wj不等于Wi。第i個量測開口未被第i個量測圖案填滿，第j個量測開口被第j個量測圖案填滿，則第一基板與第二基板在選定量測方向上的制程對位偏移為(Wi)/2至(Wj)/2。
[0016]在本發明的一實施例中，各量測圖案的寬度大于對應的其中一個量測開口的寬度而與第一量測結構重疊以形成一重疊面積，而且不同量測圖案構成的該些重疊面積彼此。不同面板裝置的各量測圖案具有一標記，不同量測圖案的標記彼此不同。面板裝置的該檢測方法包括依據間隙所對應的量測圖案上的標記來判斷制程對位偏移的程度。
[0017]基于上述，本發明實施例的面板裝置中具有由不同膜層構成的第一量測結構與第二量測結構，其中第一量測結構的量測開口分別對應于第二量結構的量測圖案且各量測圖案的尺寸不小于對應的量測開口的尺寸。如此一來，第一量測結構與第二量測結構可以用來準確的判斷面板裝置是否存在制程對位偏移。
[0018]以下結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述，但不作為對本發明的限定。
【附圖說明】
[0019]圖1A為本發明一實施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0020]圖1B為圖1A的面板裝置沿剖線1-1的剖面示意圖。
[0021]圖1C與圖1D表示在組立過程中發生制程誤差的面板裝置的示意圖。
[0022]圖2A為本發明一實施例的面板裝置的其中一組檢測對的上視示意圖。
[0023]圖2B為圖2A的剖線I1-1I的剖面示意圖。
[0024]圖3A為圖2A的面板裝置存在對位偏移時其中一組檢測對的上視示意圖。
[0025]圖3B為圖3A的剖線II1-1II的剖面示意圖。
[0026]圖4A為圖2A的面板裝置存在對位偏移時其中一組檢測對的上視示意圖。
[0027]圖4B為圖4A的剖線IV-1V的剖面示意圖。
[0028]圖5A為本發明另一實施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0029]圖5B為圖5A的剖線V-V的剖面示意圖。
[0030]圖5C為在制作過程中發生制程誤差的面板裝置的示意圖。
[0031]圖為圖5C的剖線V-V的剖面示意圖。
[0032]圖6A為本發明一實施例的面板裝置的局部上視示意圖。
[0033]圖6B為圖6A的面板裝置沿剖線V1-VI的剖面示意圖。
[0034]圖7A為本發明一實施例的面板裝置中第一量測結構與第二量測結構的上視示意圖。
[0035]圖7B為圖7A中區域E內的量測圖案542的局部放大示意圖。
[0036]圖8A為一實施例的面板裝置的第一基板的上視示意圖。
[0037]圖SB為一實施例的面板裝置的第二基板的上視示意圖。
[0038]圖8C為圖8A與圖8B的兩個基板組立成面板裝置之后，沿剖線VI1-VII的剖面示意圖。
[0039]圖8D為圖8A與圖8B的兩個基板組立之后，沿剖線VII1-VIII的剖面示意圖。
[0040]其中，附圖標記
[0041]100、100’、200、300、300’、400、800:面板裝置
[0042]110、210、310、410:第一基板
[0043]120、220、320、420:第二基板
[0044]130、230、330、430、530:第一量測結構
[0045]132、1321、132j、232、332、3321、332j、432、4321、432j、532:量測開口
[0046]140、240、340、440、540:第二量測結構
[0047]142、1421、142j、242、242A、342、3421、342j、442、4421、442j、542:量測圖案
[0048]542A:標記
[0049]810:第一功能層
[0050]812:遮光矩陣
[0051]820:第二功能層
[0052]822:信號屏蔽線
[0053]824、G、G1、G2:間隙
[0054]A:重疊面積
[0055]A1、Aj:重疊寬度
[0056]Dl:方向
[0057]DL:信號線
[0058]E:區域
[0059]F1、F2、R:距離
[0060]1-1、11-11、II1-1I1、IV-1V、V-V、V1-V1、VI1-VI1、VII1-VII1:剖線
[0061]PE:畫素電極
[0062]S1:第一側
[0063]S2:第二側
[0064]X1、Xj、Y1、Yj:寬度
【具體實施方式】
[0065]下面結合附圖和具體實施例對本發明技術方案進行詳細的描述，以更進一步了解本發明的目的、方案及功效，但并非作為本發明所附權利要求保護范圍的限制。
[0066]圖1A為本發明一實施例的面板裝置的局部上視示意圖，而圖1B為圖1A的面板裝置沿剖線1-1的剖面示意圖。請同時參照圖1A與圖1B，面板裝置100包括第一基