工夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造領域，特別是涉及一種工夾具。
【背景技術】
[0002]在半導體制造領域，為了解決薄晶圓的支撐和傳輸問題，業界通常采用臨時鍵合的工藝方法，其主要原理就是將晶圓和直徑相仿的載片使用光刻膠等中間介質進行黏附性臨時鍵合，利用該載片來實現對薄晶圓的支撐和傳輸，同時可以防止薄晶圓變形，在完成相關工藝后再將載片從薄晶圓上解離。傳統的臨時鍵合工藝完全靠一線人員憑感覺和經驗來對位，由于晶圓上有黏膠，一旦晶圓和載片接觸后，如果出現沒有完全對位好的情況時很難再進行后續移動對位，而且移動對位超過2mm以后會導致腐蝕作業時候經常掉片。
【發明內容】
[0003]基于此，有必要提供一種能精確對位以減少和避免后續移動對位的工夾具。
[0004]一種工夾具，包括用于承載晶圓的承載臺和將晶圓限制在所述承載臺的表面范圍內的限位件，所述限位件沿所述承載臺的邊緣環繞設置，所述限位件與所述承載臺形成收容空間。
[0005]在其中一個實施例中，所述承載臺與晶圓的形狀適配，為具有一段平邊的圓形板狀，所述承載臺的平邊與晶圓的平邊長度一致。
[0006]在其中一個實施例中，所述承載臺的邊緣開設有缺口。
[0007]在其中一個實施例中，所述承載臺的直徑為所承載的晶圓的直徑至所述晶圓的直徑加上第一容差的范圍內。
[0008]在其中一個實施例中，所述晶圓為6寸,所述承載臺的直徑為150?150.15mm,所述平邊的長為57.5?59.5mm。
[0009]在其中一個實施例中，所述限位件為環繞所述承載臺邊緣的彎板，并且所述彎板的彎曲弧面與所述承載臺垂直。
[0010]在其中一個實施例中，所述承載臺的邊緣上的平邊的兩端設有凸起，所述彎板在與承載臺的平邊兩端對應處分別形成一條與承載臺垂直并延伸到所述彎板邊緣的凹槽。
[0011]在其中一個實施例中，所述承載臺的邊緣開設有兩個相互對稱的缺口，所述缺口呈弧形，所述缺口的弧形的半徑為15mm。
[0012]在其中一個實施例中，包括支撐部，所述支撐部位于所述承載臺相對于所述限位件的一側，用于支撐所述承載臺。
[0013]在其中一個實施例中，所述支撐部為沿著所述承載臺的不包含所述缺口的邊緣環繞而成的壁板，所述壁板與所述承載臺形成第二收容空間。
[0014]上述工夾具，在一線人員對晶圓進行臨時鍵合時提供輔助，由于上述工夾具的承載臺形狀設計得和晶圓的形狀基本相仿，在限位件的限位下能有效輔助一線人員在進行臨時鍵合時進行精確對位以及后續壓合，減少或避免后續的移動對位。上述工夾具的承載臺設計為具有一段平邊的圓形板狀，在一線人員對帶有平邊的晶圓進行臨時鍵合時提供輔助，承載臺的弧邊設有半徑為15_的弧形缺口，方便一線人員在完成鍵合后可以從缺口處夾持晶圓，然后提起并取出晶圓。
[0015]上述工夾具承載臺的直徑為所承載的晶圓的直徑至所述晶圓的直徑加上第一容差的范圍內，為150?150.15mm，平邊的長為57.5?59.5mm，可以應用于6寸的帶平邊的圓晶圓。上述工夾具承載臺的邊緣上的平邊的兩端設有直徑為Imm的半圓形凸起，限位件為環繞承載臺邊緣的彎板，并且彎板的彎曲弧面與承載臺垂直，彎板在與承載臺的平邊兩端對應處分別形成一條與承載臺垂直并延伸到所述彎板邊緣的凹槽，這樣的設計既可以方便在形狀與晶圓相仿的空間里取放晶圓(晶圓兩邊角位于凹槽以減少取放晶圓時與工夾具的觸碰)，也可以保證后續的可能移動對位在較小的范圍(左右移動小于1mm，共2mm)里。上述工夾具還包括位于所述承載臺相對于限位件的一側即下方用于支撐承載臺的支撐部，支撐部為沿著承載臺的不包含缺口的邊緣環繞而成的壁板，具有一定高度的支撐部以及第二收容空間可以使一線工作人員在夾取晶圓時能有更大的操作空間。
【附圖說明】
[0016]圖1為一個實施例工夾具的立體圖；
[0017]圖2為一個實施例工夾具的俯視圖；
[0018]圖3為沿圖2的AA’剖面線作的剖視圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖，對本發明的【具體實施方式】進行詳細描述。
[0020]圖1為一個實施例工夾具的立體圖，圖2為一個實施例工夾具的俯視圖。
[0021]一種工夾具,包括用于承載晶圓的承載臺100和將晶圓限制在承載臺100的表面范圍內的限位件110，限位件110沿承載臺100的邊緣環繞設置，限位件110與承載臺100形成收容空間。承載臺100在本實施例中為具有一段平邊的圓形板狀，在其他實施例中還可以為不帶平邊的圓形。在本實施例中，限位件110為沿著承載臺100的不包含缺口 103和缺口 104的邊緣環繞而成的彎板，在其他實施例中，也可以是多根柱子，可以對硅片形成限位即可。
[0022]上述工夾具，在一線人員對晶圓進行臨時鍵合時提供輔助，在限位件110的限位下能有效輔助一線人員在進行臨時鍵合時進行精確對位以及后續壓合，減少或避免后續的移動對位。
[0023]以下提供一種適用于6寸的帶平邊的晶圓的實施例。
[0024]一種工夾具,包括用于承載晶圓的承載臺100和將晶圓限制在承載臺100的表面范圍內的限位件110，承載臺100為具有一段平邊102的圓形板狀，承載臺100與晶圓的形狀適配，其直徑范圍在150?150.15mm。承載臺100的平邊102與晶圓的平邊長度一致，承載臺100包括弧邊101和長為57.5?59.5mm的平邊102，承載臺100的弧邊101設有呈弧形、半徑為15mm的缺口 103和缺口 104，限位件110沿承載臺100的邊緣環繞設置，具體為，限位件110為環繞承載臺100邊緣的彎板，并且彎板的彎曲弧面與承載臺100垂直，限位件110與承載臺100形成收容空間，收容空間深度為8?12mm，優選為10mm。缺口 1