一種圓盤凈化隔離裝置的制作方法

本實用新型涉及圓盤技術領域，特別是涉及一種圓盤凈化隔離裝置。

背景技術：

晶圓作為制造半導體芯片的基本材料，在半導體行業中被廣泛采用，晶圓在處理過程中空氣中不可避免存在的顆粒等物體可能依附著晶圓表面，增加制造成本并降低良品率，故會在手動晶圓裝、卸載裝置上增設圓盤凈化隔離裝置，現有的圓盤凈化隔離裝置多采用螺栓進行固定連接，螺栓數量多、個頭小，安裝過程較為繁瑣，螺栓易丟失，極大的降低工作效率，而且過多的采用螺栓固定不利于圓盤凈化隔離裝置的摘取清理作業，圓盤凈化隔離裝置上的隔離罩由多塊有機玻璃組成，對接的兩塊玻璃之間會產生縫隙，灰塵從縫隙進入，致使防塵效果并不理想。

技術實現要素：

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、使用方便、可以有效的防止灰塵進入、連接快速牢固的圓盤凈化隔離裝置。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案是：

一種圓盤凈化隔離裝置，包括由六塊有機玻璃組成的隔離罩，以及位于隔離罩底部有機玻璃上的長槽，所述隔離罩的側邊布設有側口，所述側口上可抽插式連接有側門，隔離罩的兩側壁上分別橫向布設有兩個以上的固定口塊，所述固定口塊的后部呈矩形條狀、前部呈矩形塊狀，所述固定口塊的下部開設有內凹槽，所述內凹槽的兩側壁上分別開設有凹孔和加固孔，所述凹孔上橫向可伸縮式連接有固定棒，所述固定棒的前端面位于凹孔的外部，固定棒呈圓柱形，隔離罩的底部縱向可折疊式連接有固定扣，所述固定扣包括固定塊、固定套和加固組件，所述固定塊的中心開設有通孔，固定塊的前端面橫向布設有固定套，所述固定套和通孔在同一中心線上，固定套的外壁上開設有固定孔，所述固定套內固定有加固組件，所述加固組件的上部穿過固定塊，加固組件包括兩根相互進行鉸接的加固條，所述加固條為折彎的板條，兩根加固條組合后上部呈平行狀、下部呈交叉狀，加固條的下部設置有固定尖，所述固定尖對應加固孔，固定尖和加固條之間的夾角小于90°，所述隔離罩上部的兩側邊角處分別布設有防塵布。

進一步地，所述可伸縮式連接為凹孔和固定棒之間布設有彈簧，所述彈簧的兩端分別連接在凹孔和固定棒的底部，彈簧的長度不大于凹孔的深度。

進一步地，所述可折疊式連接為隔離罩的底面布設軟連接件，所述軟連接件的一端和隔離罩的底面連接，軟連接件的另一端連接固定塊，軟連接件為橡膠或塑料。

進一步地，所述兩根加固條上部之間的間距小于通孔的直徑。

進一步地，所述固定孔的直徑不小于固定棒的直徑。

進一步地，所述可抽插式連接為側口的上、下邊分別布設有卡槽，所述卡槽呈“L”字形，卡槽的長度不小于側口的長度，卡槽的其中一端布設有擋板，卡槽內插入式連接有側門；所述側門上布設有把手。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型加設固定口塊和固定扣替代原有的螺栓連接，固定口塊上的固定棒和固定扣上的固定孔進行初次固定，固定扣上的加固組件和固定口塊上的加固孔進行二次固定，通過固定口塊和固定扣配合進行雙次固定連接，使連接更加牢固，使用安全放心；采用可伸縮式連接、可折疊式連接等不同的連接方式，根據不同位置的需求采用不同的連接方式，設計更加合理，操作更加方便；固定尖和加固條之間的夾角小于90°，固定尖進入加固孔后，固定尖的一端位于加固孔的底面，另一端位于加固孔的頂面，“撐開”加固孔，使固定尖和加固孔連接更加牢固；防塵布的布設，可以有效避免灰塵進入隔離罩內，有效避免灰塵依附在晶圓表面，降低制造成本并增加良品率。

附圖說明

圖1是本實用新型一種圓盤凈化隔離裝置的結構示意圖。

圖2是本實用新型一種圓盤凈化隔離裝置的固定口塊的結構示意圖。

圖3是本實用新型一種圓盤凈化隔離裝置的固定扣、固定套和加固組件的連接的結構示意圖。

圖4是本實用新型一種圓盤凈化隔離裝置的卡槽、側門和擋板之間連接的結構示意圖。

附圖中標號為：1為隔離罩，2為側口，3為長槽，4為固定塊，5為固定套，6為加固條，7為固定尖，8為固定口塊，9為凹孔，10為固定棒，11為加固孔，12為卡槽，13為把手，14為側門，15為擋板，16為內凹槽，17為軟連接件，18為通孔，19為防塵布，20為固定孔。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進一步說明：

如圖1～圖4所示，一種圓盤凈化隔離裝置，包括由六塊有機玻璃組成的隔離罩1，以及位于隔離罩1底部有機玻璃上的長槽3，所述隔離罩1的側邊布設有側口2，所述側口2上可抽插式連接有側門14，可抽插式連接為側口2的上、下邊分別布設有卡槽12，所述卡槽12呈“L”字形，卡槽12的長度不小于側口2的長度，卡槽12的其中一端布設有擋板15，卡槽12內插入式連接有側門14；所述側門14上布設有把手13；隔離罩1的兩側壁上分別橫向布設有兩個以上的固定口塊8，所述固定口塊8的后部呈矩形條狀、前部呈矩形塊狀，所述固定口塊8的下部開設有內凹槽16，所述內凹槽16的兩側壁上分別開設有凹孔9和加固孔11，所述凹孔9上橫向可伸縮式連接有固定棒10，固定棒10呈圓柱形，可伸縮式連接為凹孔9和固定棒10之間布設有彈簧，所述彈簧的兩端分別連接在凹孔9和固定棒10的底部，彈簧的長度不大于凹孔9的深度；所述固定棒10的前端面位于凹孔9的外部，隔離罩1的底部縱向可折疊式連接有固定扣，所述固定扣包括固定塊4、固定套5和加固組件，可折疊式連接為隔離罩1的底面布設軟連接件17，所述軟連接件17的一端和隔離罩1的底面連接，軟連接件17的另一端連接固定塊4，軟連接件17為橡膠或塑料，固定塊4的中心開設有通孔18，固定塊4的前端面橫向布設有固定套5，所述固定套5和通孔18在同一中心線上，固定套5的外壁上開設有固定孔20，固定孔20的直徑不小于固定棒10的直徑，固定套5內固定有加固組件，所述加固組件的上部穿過固定塊4，加固組件包括兩根相互進行鉸接的加固條6，所述加固條6為折彎的板條，兩根加固條6組合后上部呈平行狀、下部呈交叉狀，兩根加固條6上部之間的間距小于通孔18的直徑，加固條6的下部設置有固定尖7，所述固定尖7對應加固孔11，固定尖7和加固條6之間的夾角小于90°，所述隔離罩1上部的兩側邊角處分別布設有防塵布19。

將圓盤凈化隔離裝置放置在手動晶圓裝載裝置上，預先在手動晶圓裝載裝置上鉆孔，軟連接件17折彎，固定塊4隨著軟連接件17的折彎而折彎，使固定套5 穿過手動晶圓裝載裝置上的孔伸至固定口塊8的內凹槽16中，固定套5運動過程中，固定棒10受力隨彈簧向凹孔9內壓縮，直至固定套5上的固定孔20行至固定棒10處時，固定棒10隨彈簧伸展進入至固定孔20內進行初次固定，在固定套5運動過程中，手握加固條6的上部，使加固條6的下部向內壓，當固定尖7對應加固孔11時，松開加固條6的上部，加固條6的下部擴展，使固定尖7進入加固孔11內進行二次固定，最終使圓盤凈化隔離裝置牢固連接在晶圓處理設備上，抽插側門14進行晶圓的取放作業。

以上所述之實施例，只是本實用新型的較佳實施例而已，并非限制本實用新型的實施范圍，故凡依本實用新型專利范圍所述的構造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應包括于本實用新型申請專利范圍內。