技術特征:
技術總結
本發明提供一種硅基激光器及其制造方法、光模塊,涉及硅光子集成技術領域,用于簡化硅基激光器的制造工藝。該硅基激光器包括:硅襯底層、設置于硅襯底層上的硅波導、硅微型諧振腔、硅反射鏡以及鍵合于硅波導上用于向硅波導提供光的光芯片;硅波導的一端連接硅微型諧振腔,另一端連接硅反射鏡;硅微型諧振腔用于對硅導波輸入的光芯片提供的光進行諧振;硅反射鏡對不同波長的光具有不同的反射率,用于通過硅導波接收硅微型諧振腔輸出的光,部分反射硅微型諧振腔輸出的光,并通過硅導波將反射的傳導至硅微型諧振腔進行諧振,部分透射硅微型諧振腔輸出的光對外輸出。
技術研發人員:隋少帥
受保護的技術使用者:青島海信寬帶多媒體技術有限公司
技術研發日:2017.07.06
技術公布日:2017.09.29