技術特征：
技術總結
本發明涉及太陽能電池生產技術領域，尤其是涉及一種太陽能電池鍍膜方法及太陽能電池。所述方法包括以下步驟：將放置有硅片的載板放置在傳輸裝置上；關閉第一隔離機構，使預熱腔室與氧化腔室斷開，關閉第二隔離機構，使氧化腔室與鍍膜腔室斷開；對氧化腔室和鍍膜腔室分別抽真空；將載板傳送至預熱腔室中，對預熱腔室抽真空，對硅片進行預熱；開啟第一隔離機構，傳輸裝置將載板傳送至氧化腔室中，再次關閉第一隔離機構，形成氧化硅薄膜；開啟第二隔離機構，將載板傳送至鍍膜腔室，再次關閉第二隔離機構，在鍍膜腔室中沉積氮化硅薄膜、非晶硅薄膜和/或氧化鋁薄膜。本發明能夠在真空環境下連續完成全部的鍍膜過程，降低了硅片的污染程度和破碎率。
技術研發人員：上官泉元;莊正軍;朱廣東;侯岳明;楊玉杰
受保護的技術使用者：常州比太科技有限公司
技術研發日：2017.06.09
技術公布日：2017.09.29