有機發光二極管顯示器件及制備方法和顯示裝置與流程

本發明涉及有機光電領域，具體地，涉及有機發光二極管顯示器件及制備方法和顯示裝置。
背景技術：
：近年來，隨著有機發光二極管(organiclight-emittingdiode,oled)技術的興起，oled被越來越多的應用于各種發光顯示領域。oled顯示技術具有自發光、視角廣(達175度以上)、反應速度快(1μs)、發光效率高、色域寬、工作電壓低(3-10v左右)、面板薄(厚度可小于1mm)、成本低、可制作大尺寸柔性面板以及制作流程簡單等特性，從而使oled顯示技術具有廣闊的應用價值，其市場占有率也逐漸提高。頂發射的oled器件作為oled顯示領域中的一種，由于其開口率高等優勢被廣泛使用。但是頂發射的oled器件陰極必須使用金屬電極，導致光損失較大。因此，目前的有機發光二極管顯示器件及制備方法和顯示裝置，仍有待改進。技術實現要素：本發明是基于發明人對于以下事實和問題的發現和認識作出的：發明人發現，目前的oled器件，特別是頂發射型oled，普遍存在著光取出率低、實際顯示效果不理想等問題。目前基于光學理論計算，通過優化結構參數，可以提高oled器件的出光性能。然而，即便是通過理論計算改進，使oled出光性能接近極限性能，由于oled器件的構筑方式依然為平面化三明治結構，因此始終存在著嚴重的光學損耗模式，進而使得oled器件的光取出效率難以大幅提高。雖然為了緩解這一問題，出現了在oled器件結構中引入凹凸結構的設計，用于破壞光的全反射，提高器件的光取出效率與使用性能。然而，凹凸結構的引入，使得利用具有凹凸結構的oled在用于彩色顯示時，難以獲得理想的彩色顯示效果。發明人經過深入研究以及大量實驗發現，這主要是由于用于彩色顯示時，需要利用oled制備具有不同顏色的子像素，如rgb(紅綠藍)子像素。而目前的基于oled彩色顯示器件中，不同顏色的子像素的色彩飽和度相同。而實際的終端產品，對于不同顏色的飽和度要求是不同的。例如對于adobe色域空間，要求綠色的飽和度較高，而對紅色飽和度要求較低；對于dci色度空間，對紅色飽和度要求較高，而對綠色飽和度要求較低。而色飽和度過高或者過低都會導致顏色偏差過大，顏色失真，因此，造成目前的oled器件的實際顯示效果不理想。此外，當該oled器件應用于采用不同的色度空間體系的終端產品時，由于不同色度空間體系對顏色的要求也不同，而目前的oled器件在膜層結構既定的情況下，改變oled的顏色非常困難。因此，在不對rgb子像素單獨處理的前提下，該oled器件無法同時適用于多種不同的終端產品，該oled器件應用于不同的終端產品時，也無法獲得較好的顯示效果。因此，如能夠解決或在一定程度上緩解上述問題，將大幅提高oled器件的實際使用效果。本發明旨在至少一定程度上緩解或解決上述提及問題中至少一個。在本發明的一個方面，本發明提出了一種有機發光二極管顯示器件，該顯示器件包括：基板，以及設置在所述基板上的多個子像素單元，所述子像素單元包括依次設置在所述基板上的第一電極，發光功能層以及第二電極，所述第一電極遠離所述基板的表面包括多條等寬等間距平行設置的第一槽，所述第一電極的斷面為鋸齒形，所述第一槽的深度，小于所述第一電極遠離所述基板的表面到所述基板的最大距離，不同子像素單元中所述第一槽的寬度不全相同，不同所述子像素單元中相鄰兩個所述第一槽之間的距離不全相同。由于第一電極表面包括第一槽且斷面為鋸齒形，因此形成的凹凸結構可以破壞光的全反射，提高光的取出率。不同子像素單元中第一槽的寬度不全相同，不同子像素單元中相鄰兩個第一槽之間的距離不全相同，可以使得不同顏色的子像素的色彩飽和度也不同，進而可以滿足顯示終端的色度需求，提高顯示效果。根據本發明的實施例，該顯示器件進一步包括：墊層，所述墊層設置在所述第一電極和所述基板之間，所述墊層遠離所述基板一側的表面包括多條等寬等間距平行設置的第二槽，所述墊層的斷面為鋸齒形，不同子像素單元中所述第二槽的寬度不全相同，不同所述子像素單元中相鄰兩個所述第二槽之間的距離不全相同，所述第二槽與所述第一槽一一對應設置。不同子像素單元中第二槽與第一槽一一對應設置，由此，可以使得不同子像素單元相鄰兩個第一槽之間的距離不全相同，可以使得不同顏色的子像素對應不同的凹凸結構，進而使得不同顯示顏色的色彩飽和度也不同，進而可以滿足顯示終端的色度需求，提高顯示效果。根據本發明的實施例，所述墊層是由導電材料以及光阻材料的至少之一形成的。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，所述發光功能層進一步包括以下結構的至少之一：空穴傳輸層，所述空穴傳輸層設置在所述第一電極遠離所述基板的一側；發光層，所述發光層設置在所述空穴傳輸層遠離所述第一電極的一側；以及電子傳輸層，所述電子傳輸層設置在所述發光層遠離所述空穴傳輸層的一側。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，所述第一電極和所述第二電極之間構成微腔結構，不同所述子像素單元中，所述微腔結構的腔長不同。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，多個所述子像素單元的發光顏色不全相同，發光顏色相同的所述子像素單元中所述第一槽的寬度相同，發光顏色相同的所述子像素單元中相鄰兩個所述第一槽之間的距離相同。由此，可以根據不同的發光顏色的調節相應子像素單元中第一槽的寬度和相鄰兩個第一槽之間的距離，提高顯示效果。在本發明的另一方面，本發明提出了一種有機發光二極管顯示裝置，該顯示裝置包括前面任一項所述的有機發光二極管顯示器件。由此，該顯示裝置具有前面描述的顯示器件的所有特征以及優點，再次不再贅述。總的來說，該顯示裝置發光效率高，顯示效果好。在本發明的又一方面，本發明提出了一種制備有機發光二極管顯示器件的方法，所述有機發光二極管顯示器件包括基板以及設置在基板上的多個子像素單元，該方法包括：在所述基板上對應每個所述子像素單元所在區域，形成第一電極，在所述第一電極遠離所述基板的表面形成包括多條等寬等間距平行設置的第一槽，使得所述第一電極的斷面為鋸齒形，所述第一槽的深度，小于所述第一電極遠離所述基板的表面到所述基板的最大距離；形成發光功能層，所述發光功能層形成在所述第一電極遠離所述基板的一側；形成第二電極，所述第二電極形成在所述發光功能層遠離所述第一電極的一側，不同所述子像素單元中所述第一槽的寬度不全相同，不同所述子像素單元中相鄰兩個所述第一槽之間的距離不全相同。由此，可以簡便的獲得前面描述的顯示器件。該方法可以針對不同顏色子像素，設計得到的第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離不同，可以使得不同顏色的子像素的色彩飽和度也不同，進一步提高該方法得到的顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，形成所述第一電極之前，進一步包括：制作表面包括第二槽的墊層，所述第二槽與所述第一槽一一對應，具體包括：在所述基板上形成光阻材料層，對所述光阻材料層進行雙光束光刻，在所述光阻材料層遠離所述基板一側的表面形成多條等寬等間距平行設置的第二槽，得到斷面為鋸齒形的所述墊層。由此，可以利用墊層中的第二槽，使得第一電極遠離基板的一側形成第一槽，從而使得不同顏色子像素單元中的色彩飽和度不同，進一步提高該方法得到的顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，所述墊層是通過以下步驟形成的：在所述基板上形成光阻材料層；根據不同發光顏色的所述子像素單元的所述墊層中所述第二槽的寬度，確定入射至所述光阻材料層的光的入射角度以波長；利用光刻掩膜，使所述雙光束光刻的入射光以確定的所述入射角度，入射至所述光阻材料層的表面，以形成所述墊層。由此，可以簡便的得到墊層，在不同發光顏色的子像素單元中，墊層中第二槽的寬度不全相同，相鄰兩個第二槽之間的距離也不全相同，從而可以進一步提高該方法制備的顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，所述光刻掩膜的表面包括凸起部、凹陷部以及平面部的至少之一。由此，可以通過采用不同形狀的光刻掩膜，獲得上述墊層。根據本發明的實施例，所述墊層是通過以下步驟形成的：在所述基板上形成光阻材料層；根據不同發光顏色的所述子像素單元的所述墊層中所述第二槽的寬度，確定入射至所述光阻材料層的光的入射角度以波長；使用納米壓印掩模版對所述光阻材料層進行壓印，使對應不同發光顏色的所述子像素單元的所述光阻材料層的表面分別呈現不同形狀，使所述雙光束光刻的入射光以確定的入射角度入射至所述光阻材料層，以形成所述墊層。由此，可以簡便的得到墊層，不同顏色的子像素單元中第二槽的寬度不全相同，相鄰兩個第二槽之間的距離不全相同，進一步提高該方法制備的顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，所述光阻材料層的表面形狀為凸起狀、凹陷狀或平面。由此，可以通過調節光阻材料層的形狀，得到不同寬度的第二槽，相鄰兩個第二槽之間的距離也不同。附圖說明本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：圖1顯示了根據本發明一個實施例有機發光二極管顯示器件的結構示意圖；圖2顯示了根據本發明另一個實施例有機發光二極管顯示器件的結構示意圖；圖3顯示了根據本發明又一個實施例有機發光二極管顯示器件的結構示意圖；圖4顯示了根據本發明又一個實施例有機發光二極管顯示器件的結構示意圖；圖5顯示了根據本發明又一個實施例有機發光二極管顯示器件的結構示意圖；圖6顯示了根據本發明一個實施例有機發光二極管顯示裝置的結構示意圖；圖7顯示了根據本發明一個實施例形成子像素單元的流程示意圖；圖8顯示了根據本發明一個實施例制備有機發光二極管顯示器件的流程示意圖；以及圖9顯示了根據本發明一個實施例制備有機發光二極管顯示器件的流程示意圖。附圖標記說明：100：基板；200：子像素單元；300：第一電極；300a：紅色子像素第一電極；300b：綠色子像素第一電極；300c：藍色子像素第一電極；310：墊層；310a：紅色子像素墊層；310b：綠色子像素墊層；310c：藍色子像素墊層；400：發光功能層；400a：紅色子像素發光功能層；400b：綠色子像素發光功能層；400c：藍色子像素發光功能層；410：空穴傳輸層；420：發光層；420a：紅色子像素發光層；420b：綠色子像素發光層；420c：藍色子像素發光層；430：電子傳輸層；500：第二電極；500a：紅色子像素第二電極；500b：綠色子像素第二電極；500c：藍色子像素第二電極；600：驅動薄膜晶體管；700：封裝結構；800：光阻材料層；900：掩膜版；1000：有機發光二極管顯示裝置。具體實施方式下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。在本發明的一個方面，本發明提出了一種有機發光二極管顯示器件，根據本發明的實施例，參考圖1，該顯示器件包括：基板100，以及設置在基板100上的多個子像素單元200，子像素單元200包括依次設置在所述基板100上的第一電極300，發光功能層400，第二電極500。根據本發明的實施例，第一電極300遠離基板100的表面包括多條等寬等間距平行設置的第一槽，第一電極300的斷面為鋸齒形，第一槽的深度，小于第一電極300遠離基板100的表面到基板100的最大距離。根據本發明的實施例，不同子像素單元200中第一槽的寬度不全相同，不同子像素單元中相鄰兩個第一槽之間的距離不全相同。也即是說，第一電極300遠離基板100的表面，由于具有多個第一槽，形成具有凹凸結構的表面。也即是說，第一槽的斷面可以為楔形(倒三角形)，多個第一槽平行排列，即使得第一電極300遠離基板100一側的表面具有斷面為鋸齒形的凹凸不平的結構。由此，不同發光顏色的子像素單元200中，第一電極300遠離基板100一側，具有不同形狀的凹凸結構的表面，即發光顏色不同的子像素單元200中，第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離不同，同一子像素單元200中，多個第一槽的寬度相同且等間距設置。由此，可以使得不同顏色的子像素的色彩飽和度也不同，進而可以滿足顯示終端的色度需求，提高顯示效果。需要說明的是，在本發明中，第一槽的深度，小于第一電極300遠離基板100的表面到基板100的最大距離，特指第一電極300中，任意一個第一槽，均未貫穿第一電極300，也即是說，第一電極300僅在遠離基板的一側具有凹凸不平的結構。在本發明中，“第一槽的寬度”特指第一槽開口處的寬度，也即是第一槽的最大寬度。根據本發明的實施例，上述第一槽可以是對第一電極300遠離基板100的表面進行特殊處理，從而形成第一槽。或者，根據本發明的實施例，參考圖2，上述第一槽也可以是在第一電極300朝向基板100的一側設置墊層310，然后再在墊層310遠離基板100的一側沉積金屬層，以便形成第一電極300，從而使形成的第一電極300遠離墊層310的表面形成第一槽。根據本發明的實施例，參考圖2，該子像素單元200進一步包括墊層310。根據本發明的實施例，墊層310設置在第一電極300和基板100之間，每個子像素單元200中墊層310遠離基板100一側的表面包括多條等寬等間距平行設置的第二槽，第二槽與第一槽一一對應設置。也即是說，墊層310的斷面為鋸齒形，不同子像素單元200中第二槽的寬度不同，相鄰兩個第二槽之間的距離不同，同一子像素單元200中第二槽的寬度相等，同一子像素單元200中相鄰兩個第二槽之間的距離相同。也就是說，由于第一電極300中的第一槽是在墊層310上遠離基板100的一側沉積金屬層形成的，從而墊層310中的第二槽的形狀可以決定第一電極300中的第一槽的形狀。也即是說，同一子像素單元200中第二槽與第一槽可以一一對應設置，可以根據子像素單元200中需要形成的第一槽的形狀，設置該子像素單元200的墊層中第二槽的形狀。另一方面，在不同子像素單元200中，第二槽的寬度不同，相鄰兩個第二槽之間的距離不同，從而可以使得不同子像素單元200中第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離也不同，由此可以使得不同顏色的子像素的色彩飽和度也不同，進而可以滿足顯示終端的色度需求，提高顯示效果。在本發明中，“第二槽的寬度”特指第二槽開口處的寬度，也即是第二槽的最大寬度。可以理解的是，優選地，第二槽的深度，小于所述墊層310遠離所述基板的表面到所述基板的最大距離。本領域技術人員可以理解的是，基板100的具體材料不受特別限制，只需滿足可以為不同子像素單元200提供支撐即可，例如，基板100可以為玻璃或半導體材料。根據本發明的實施例，第一電極300用于空穴的注入，第二電極500用于電子的注入，發光功能層400用于使空穴與電子復合發光。根據本發明的實施例，墊層310的具體材料不受特別限制，可以是由導電材料以及光阻材料的至少之一形成的。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，第一電極300和第二電極500之間構成微腔結構，不同子像素單元200中，微腔結構的腔長不同。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，上述多個子像素單元200可以為不同顏色的子像素單元，多個子像素單元200中發光功能層400的顏色也不全相同，多個子像素單元200中發光功能層400顏色相同的子像素單元200的第一槽的寬度相同，相鄰兩個第一槽之間的距離相同。由此，可以根據不同的發光顏色的調節相應子像素單元中第一槽的寬度和相鄰兩個第一槽之間的距離，提高顯示效果。根據本發明的具體實施例，參考圖3，上述多個子像素單元200可以包括紅色子像素單元、綠色子像素單元以及藍色子像素單元。不同發光顏色的子像素單元200中第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離不同，對應的，在不同發光顏色的子像素單元200中第二槽的寬度不同，相鄰兩個第二槽之間的距離也不同，即不同發光顏色的子像素單元200對應不同的墊層310。也就是說上述紅色、綠色以及藍色子像素單元對應不同的墊層310。具體的，紅色子像素墊層310a遠離基板100的一側依次形成有紅色子像素第一電極300a、紅色子像素發光功能層400a以及紅色子像素第二電極500a；綠色子像素墊層310b遠離基板100的一側依次形成有綠色子像素第一電極300b、綠色子像素發光功能層400b以及綠色子像素第二電極500b；藍色子像素墊層310c遠離基板100的一側依次形成有藍色子像素第一電極300c、藍色子像素發光功能層400c以及藍色子像素第二電極500c。紅色子像素墊層310a、綠色子像素墊層310b以及藍色子像素墊層310c中第二槽的寬度不同，相鄰兩個第二槽之間的距離不同。由此，可以使得不同顏色的子像素的色彩飽和度不同，進而可以滿足顯示終端的色度需求，提高顯示效果。根據本發明的實施例，參考圖4發光功能層400進一步包括以下結構的至少之一：空穴傳輸410、發光層420(如圖中示出的420a-420c)以及電子傳輸層430。根據本發明的具體實施例，空穴傳輸層410設置在第一電極300遠離基板100的一側，多個子像素單元200共用一層空穴傳輸層410。根據本發明的具體實施例，發光層420設置在空穴傳輸層410遠離第一電極300(圖中未示出)的一側。根據本發明的具體實施例，電子傳輸層500設置在發光層420遠離空穴傳輸層410的一側，多個子像素單元200可以共用一層電子傳輸層500。由此，可以節省空間，進一步提高該顯示器件的顯示效果。根據本發明的具體實施例，上述發光層420根據不同的墊層310對應不同顏色的子像素發光層420，具體的，紅色子像素墊層310a對應紅色子像素發光層420a，綠色子像素墊層310b對應綠色子像素發光層420b，藍色子像素墊層310c對應藍色子像素發光層420c。根據本發明的實施例，參考圖5，該顯示器件可以進一步包括封裝結構700。根據本發明的實施例，封裝結構700設置在基板100上，且封裝結構700包覆多個子像素單元200。該封裝結構700可以隔絕空氣中的水和氧氣，進一步提高該顯示器件的使用性能。根據本發明的實施例，該顯示器件的具體驅動方式不受特別限制，可以為有源驅動，也可以為無源驅動。根據本發明的具體實施例，該顯示器件還可以進一步包括驅動薄膜晶體管600。驅動薄膜晶體管600與第一電極300或第二電極500相連。由此，可以進一步提高該顯示器件的顯示亮度以及分辨率，且有利于提高該顯示器件的色彩顯示效果。在本發明的另一方面，參考圖6，本發明提出了一種有機發光二極管顯示裝置1000，該顯示裝置包括前面任一項描述的有機發光二極管顯示器件。由此，該顯示裝置具有前面描述的顯示器件的所有特征以及優點，再次不再贅述。總的來說，該顯示裝置發光效率高，顯示效果好。在本發明的又一方面，本發明提出了一種制備有機發光二極管顯示器件的方法，根據本發明的實施例，該方法制備的有機發光二極管顯示器件，可以為前面描述的有機發光二極管顯示器件。也即是說，有機發光二極管顯示器件包括基板以及設置在基板上的多個子像素單元。根據本發明的實施例，參考圖7，該方法包括：s100：形成第一電極在該步驟中，在基板上對應每個子像素單元所在區域，形成第一電極，在第一電極遠離基板的表面形成包括多條等寬等間距平行設置的第一槽，第一電極的斷面為鋸齒形，第一槽的深度，小于第一電極遠離基板的表面到基板的最大距離。根據本發明的實施例，上述第一電極可以是通過對第一電極遠離基板的一側進行特殊處理而獲得的，所獲得的第一電極中包括第一槽，或者，根據本發明的另一些實施例，在形成第一電極之前，進一步包括制作表面包括第二槽的墊層，然后，再在該墊層上遠離基板的一側沉積金屬層，以便形成第一電極。根據本發明的實施例，上述制作表面包括第二槽的墊層具體包括：首先，在基板上形成光阻材料層，對光阻材料層進行雙光束光刻，在光阻材料層遠離基板一側的表面形成多條等寬等間距平行設置的第二槽，得到的墊層的斷面為鋸齒形，不同子像素單元中第二槽的寬度不全相同，相鄰兩個第二槽之間的距離不全相同，第二槽與第一槽一一對應設置。即利用墊層中的第二槽，使得第一電極形成在凹凸不平的結構(墊層)上，則第一電極在遠離基板一側的表面具有凹凸不平的結構。也即是說，第二槽的形狀決定第一槽的形狀，同一子像素單元中，多個第二槽的寬度均相等，同一子像素單元中相鄰兩個第二槽之間的距離相同，相鄰兩個第一槽之間的距離相同。如前所述，墊層的第二槽可以決定第一電極中的第一槽，因此墊層中的第二槽的寬度可以與第一電極中的第一槽的寬度相同，相鄰兩個第二槽之間的距離可以與相鄰兩個第一槽之間的距離相同。由此，該顯示器件中包括的多個子像素單元中的第一電極中的第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離也不同，可以提高最終獲得的顯示器件的顯示效果。根據本發明的實施例，上述墊層可以是對光阻材料層進行雙光束光刻形成的。發明人經過深入研究以及大量實驗發現，雙光束干涉光刻技術相對于其他光刻技術，其光路系統比較簡單，能實現較小的分辨率，而且不要求嚴格的光源條件，能適用于大多數的光阻材料。目前制備高密度凹凸結構的傳統方法主要包括機械刻劃和化學刻蝕等，這些傳統方法無法制備亞微米級高密度的凹凸結構。隨著激光光刻技術的不斷發展，光刻技術也不斷提升，光刻技術由于可以提高光刻的分辨率，增加實際工作的焦深，被廣泛的運用。目前所采用的光刻技術有：光瞳濾波、相移掩模(psm)、光學鄰近效應校正(opc)、離軸照明(oai)等，上述光刻技術能夠將光刻分辨率精確到100nm左右。然而，上述方法與雙光束光刻技術相比，無法簡便地同步制備出不同的凹凸結構。本領域技術人員能夠理解的是，由于在基板上，規則排布有多個子像素單元，因此，在實際生產中，是同步在基板上設置多個凹凸結構(即多個第一槽構成的第一電極表面)，然后再在后續步驟中，同步制備多個陽極、發光層以及陰極等結構，而實現多個子像素單元的設置的，并非單獨制備多個子像素單元，然后再將其規則排布在基板上。發明人經過深入研究發現，利用雙光束干涉光刻技術制備第一槽，有利于通過簡單的調整，使同步獲取的不同發光顏色的子像素單元中，第一槽的寬度不同，相鄰兩個第一槽之間的距離不同。根據本發明的實施例，第一槽的寬度(即對光阻材料層進行雙光束干涉，形成的墊層中第二槽的寬度)，可以通過調節入射至光阻材料層的光的入射角度以及波長而控制的。由此，可以通過調節入射角以及波長，簡便的得到第二槽，所得到的第二槽的寬度不同，即墊層中的凹凸結構不同。具體的，采用雙光束進行光刻時，光阻材料層上表面(接受光刻一側的表面)所在平面上，任意一點的光強的公式如下：i(x，y)＝2i0[2+cos(2kxsinθ)+cos(2kysinθ)]由此，由于光阻材料層表面不同位置處接收的光強不同，因此，光阻材料層刻蝕的程度也不同，從而可以實現墊層中第二槽的制備。墊層中第二槽的寬度(d)可以由雙光束干涉方法中入射光的波長和入射角度決定，周期以及入射光的波長以及入射角的關系如下式所示：由公式可知，周期主要由入射光的波長和入射角度決定，θ代表入射光線與法線的角度，入射角度θ越大，周期越大。由此，可以實現第二槽的制備，然后通過移動基板或光源用以制備多個平行的第二槽。需要說明的是，相鄰第二槽之間的距離可以為零，也可以不為零。由于第一槽是根據第二槽形成的，相鄰第一槽之間的距離可以為零，也可以不為零。由此，在制備墊層中第二槽時，可以通過諸如設置模板或是調整不同顏色子像素單元的光阻材料層上表面的形狀，改變不同顏色的子像素的光阻材料層入射光的入射角，從而可以一次性制備出多個發光顏色的子像素單元對應的墊層，不同發光顏色的子像素單元中墊層中的凹凸結構不全相同。可以理解的是，優選地，第二槽的深度，小于所述墊層310遠離所述基板的表面到所述基板的最大距離。根據本發明的具體實施例，紅色、綠色、藍色子像素第一電極中第一槽的寬度，相鄰兩個第一槽之間的距離，均介于0.5微米與100微米之間，對于不同的顏色子像素單元，所需的第一槽的寬度不同，即第一電極中的凹凸結構不同，可以通過控制上述的寬度(第一槽的寬度)進而控制不同子像素單元的發射光譜。本領域技術人員可以理解的是，寬度越小，發射光譜越寬，亮度越高、色飽和度越低。寬度越大，發射光譜越窄，亮度越低，色飽和度越高。根據本發明的實施例，具體的寬度，本領域技術人員可以根據實際需求進行選擇。s200：形成發光功能層在該步驟中，發光功能層形成在第一電極遠離基板的一側。根據本發明的實施例，形成的發光功能層可以是前面描述的發光功能層，由此，具有前面描述的發光功能層的全部特征以及優點，在此不再贅述。根據本發明的實施例，上述形成發光功能層進一步包括以下步驟的至少之一：s10：形成空穴傳輸層在該步驟中，空穴傳輸層設置在第一電極遠離基板的一側，多個子像素單元共用一層空穴傳輸層。s20：形成發光層在該步驟中，發光層設置在空穴傳輸層遠離第一電極的一側。不同顏色的發光功能層具有不同的發光層，具體的，紅色子像素發光功能層具有紅色子像素發光層，綠色子像素發光功能層具有綠色子像素發光層，藍色子像素發光功能層具有藍色子像素發光層。s30：形成電子傳輸層在該步驟中，電子傳輸層設置在發光層遠離空穴傳輸層的一側，多個子像素單元共用一層電子傳輸層。s300：形成第二電極在該步驟中，第二電極形成在發光功能層遠離第一電極的一側。該步驟中形成的第二電極可以是前面描述的第二電極，前面已經進行詳細的描述，再次不再贅述。根據本發明的實施例，上述制備有機發光二極管顯示器件的方法進一步包括以下步驟的至少之一：形成驅動薄膜晶體管，驅動薄膜晶體管與第一電極或第二電極相連；以及形成封裝結構，封裝結構設置在基板上，且封裝結構包覆多個子像素單元。根據本發明的實施例，驅動薄膜晶體管可以進一步提高利用該方法制備的顯示器件的顯示亮度以及分辨率，且有利于提高色彩顯示效果；封裝結構可以隔絕空氣中的水和氧氣，進一步提高利用該方法制備的顯示器件的使用性能。總的來說，該方法可以簡便的獲得前面描述的顯示器件，制備方法工序少，制得的器件均一性好，可以針對不同顏色子像素，設計得到不同的色彩飽和度，進一步提高該方法得到的顯示器件的顯示效果。下面根據本發明的具體實施例，對上述方法進行詳細說明：根據本發明的實施例，參考圖8，該方法可以包括以下步驟：參考圖8中的(a)，在基板100上設置驅動薄膜晶體管600。參考圖8中的(b)，在基板100上形成光阻材料層800，該光阻材料層800的材料可以為負性光刻膠。參考圖8中的(c)，根據不同發光顏色的子像素單元的墊層中第二槽的寬度，確定入射至光阻材料層的光的入射角度以波長。然后，利用光刻掩膜，使雙光束光刻的入射光以確定的入射角度，入射至光阻材料層的表面，以便在后續顯影步驟中形成墊層。其中，光刻掩膜對應不同發光顏色的子像素單元區域，具有不同的形狀。根據本發明的實施例，光刻掩膜的具體材料不受特別限制，只需滿足雙光束光刻所需的高光透過率即可，例如，可以為玻璃和高分子材料的至少之一。根據本發明的實施例，光刻掩膜的表面包括凸起部、凹陷部以及平面部的至少之一。由此，可以通過采用不同形狀的光刻掩膜，在后續步驟中得到不同的墊層，不同發光顏色的子像素單元中，墊層中的凹凸結構不全相同。參考圖8中的(d)，對光阻材料層進行顯影，得到不同的墊層。由此，可以簡便的得到不同的墊層，并在后續步驟中得到不同的第一電極，第一電極中的凹凸結構也不全相同，進一步提高該方法制備的顯示器件的顯示效果。參考圖8中的(e)，在墊層上沉積金屬層，以便得到第一電極。由于第一電極形成在墊層上，因此，所得到的不同發光顏色的子像素單元的第一電極遠離基板100一側的表面，形成的凹凸結構不全相同。參考圖8中的(f)，采用普通的成膜工藝制備其它結構，例如空穴傳輸層，發光層，電子傳輸層以及封裝結構。根據本發明的實施例，參考圖9，該方法可以包括以下步驟：參考圖9中的(a)，在基板100上設置驅動薄膜晶體管600。參考圖9中的(b)，在基板100上形成光阻材料層800，該光阻材料層800的材料可以為負性光刻膠。參考圖9中的(c)，根據不同發光顏色的子像素單元的墊層中所述第二槽的寬度，確定入射至光阻材料層的光的入射角度以波長，然后，在光阻材料層未完全成型之前，使用納米壓印掩模版對光阻材料層進行壓印，使對應不同發光顏色的子像素單元的光阻材料層的表面分別呈現不同形狀。參考圖9中的(d)，由于光阻材料層的表面所呈現的不同形狀，進而可以使雙光束光刻的入射光以確定的入射角度入射至光阻材料層，以便在后續顯影步驟中形成墊層。需要說明的是光阻材料表面的凹凸結構不同，不同發光顏色的子像素單元的凹凸結構具有不同的凹凸形態，通過該凹凸結構，可以改變光的折射狀態，改變入射的光的入射角度，進而改變不同發光顏色的子像素單元中相鄰兩個第二槽之間的距離。根據本發明的實施例，光阻材料層的表面形狀為凸起狀、凹陷狀或平面。由此，可以通過調節光阻材料層的形狀，得到不同的墊層。參考圖9中的(e)，對光阻材料層進行顯影，得到相鄰兩個第二槽之間距離不同的墊層。由此，可以簡便的得到不同的墊層，并在后續步驟中得到不同的第一電極，第一電極中的凹凸結構不同，進一步提高該方法制備的顯示器件的顯示效果。參考圖9中的(f)，在墊層上沉積金屬層，以便獲得第一電極。參考圖9中的(g)，采用普通的成膜工藝制備其它結構，例如空穴傳輸層，發光層，電子傳輸層以及封裝結構。發明人發現，上述利用雙光束光刻的方法制備的oled器件，一方面，可以通過改變入射至光阻材料層的光的入射角度和波長，使得不同顏色的子像素的第一電極中的凹凸結構不同，不同顏色的子像素獲得的的色彩飽和度也不相同，從而可以大幅提高利用該oled器件制備的顯示裝置的顯示效果；另一方面，在利用該方法制備針對不同色度空間體系的終端產品時，僅需要改變掩膜的形狀或是進行壓印的模具的形狀，即可利用同一生產線，生產滿足不同終端產品需求的oled器件。綜上所述，上述制備有機發光二極管顯示器件的方法具有以下優點的至少之一：制備方法工序少；制得的器件凹凸結構均一性好、可控性高；可以針對不同顏色子像素，設計得到不同色彩飽和度，進一步提高該方法得到的顯示器件的顯示效果。下面將結合實施例對本發明的方案進行解釋。本領域技術人員將會理解，下面的實施例僅用于說明本發明，而不應視為限定本發明的范圍。實施例中未注明具體技術或條件的，按照本領域內的文獻所描述的技術或條件或者按照產品說明書進行。所用試劑或儀器未注明生產廠商者，均為可以通過市購獲得的常規產品。實施例1：制備具有紅色子像素單元、綠色子像素單元以及藍色子像素單元的oled顯示器件。oled顯示器件的結構如圖4所示。其中，紅色子像素單元中第一槽的寬度為2微米，綠色子像素單元中第一槽的寬度為20微米，藍色子像素單元中第一槽的寬度為5微米。對比例1：其余結構同實施例1，所不同的是，多個子像素單元中，均不具有第一槽以及第二槽結構，即陽極直接設置在基板上，且陽極遠離基板一側的表面不具有凹凸結構。對比例2：其余結構同實施例1，所不同的是，紅色子像素單元中第一槽的寬度為2微米，綠色子像素單元中第一槽的寬度為2微米，藍色子像素單元中第一槽的寬度為2微米。對比例3：其余結構同實施例1，所不同的是，紅色子像素單元中第一槽的寬度為20微米，綠色子像素單元中第一槽的寬度為20微米，藍色子像素單元中第一槽的寬度為20微米。對上述實施例1、對比例1-3所制備的oled顯示器件進行顏色以及亮度的進行軟件模擬測試。采用cie1931色彩空間測得各個oled顯示器件的紅色、綠色、藍色子像素單元的色坐標，并且，測試得到了紅色、綠色、藍色子像素單元的亮度。具體的測試數據如表1：表1對比例1對比例2對比例3實施例1紅色色坐標【cie1931】0.695,0.310.68,0.320.69,0.310.68,0.32紅色亮度(nit)25302730綠色色坐標【cie1931】0.20,0.730.205,0.720.21,0.710.21,0.71綠色亮度(nit)40506060藍色色坐標【cie1931】0.14,0.040.16,0.0750.145,0.0450.15,0.06藍色亮度(nit)515810由上述測試結果可知，與不設置凹凸結構的對比例1以及相比，實施例1中，各個子像素單元的亮度均有提高。與對比例2以及對比例3相比，實施例1由于采用了不同寬度的第一槽，使得第一電極的斷面為鋸齒形，該凹凸結構可以破壞光的全反射，提高光取出率，因此可以控制不同顏色子像素的飽和度不同，不會由于出現某一顏色的色彩飽和度過高或過低的情況。由此，可以滿足特定顯示終端的要求。同時，實施例1與對比例2和3相比，不同顏色子像素的亮度，也能夠保持相當的水平。綜上所述，根據本發明實施例的有機發光二極管顯示器件，可以在提高顯示器件亮度的同時，分別對各個顏色子像素的飽和度進行調整，以滿足不同顯示終端的顯示要求。在本發明的描述中，術語“上”、“下”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明而不是要求本發明必須以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“另一個實施例”等的描述意指結合該實施例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發明的至少一個實施例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領域的技術人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或示例的特征進行結合和組合。另外，需要說明的是，本說明書中，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。盡管上面已經示出和描述了本發明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發明的限制，本領域的普通技術人員在本發明的范圍內可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。當前第1頁12