技術特征：
技術總結
本發明提供一種導電圖形的制作方法、導電圖形及顯示基板。制作方法包括：在襯底上形成導電層；在所述導電層上形成保護層的圖形；以所述保護層的圖形為掩膜，對所述導電層進行等離子體轟擊刻蝕，形成導電過渡圖形；以所述保護層的圖形為掩膜，對所述導電過渡圖形進行濕法刻蝕以形成導電圖形，所述導電圖形的刻蝕側面具有坡度；去除所述保護層的圖形。在本發明的方案中，先通過等離子體轟擊刻蝕導電層，形成導電圖形的雛形結構，之后再使用濕法刻蝕進行快速刻蝕，最終形成具有坡度的導電圖形，由于整個過程中濕法刻蝕耗時較短，因此不易使導電圖形發生過刻蝕現象，從而能夠得到完整的導電圖形結構，能夠提高產品的良品率。
技術研發人員：宮奎;段獻學
受保護的技術使用者：京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
技術研發日：2017.05.19
技術公布日：2017.09.15