柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置與流程

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置。

背景技術：

柔性顯示裝置為由柔軟的材料制成，可變型可彎曲的顯示裝置。與剛性顯示裝置相比，具有諸多優點，如：耐沖擊、抗震能力強；重量輕、體積小；攜帶更加方便。

如圖1所示，為現有技術中柔性陣列基板的局部俯視示意圖；所述柔性陣列基板通常包括交叉且絕緣設置的數據線01和掃描線02，數據線01和掃描線02限定出像素單元；圖1中僅示出了其中一個像素單元結構，用像素電極03表示。由于數據線01和掃描線02具有較大的剛性，在柔性陣列基板彎折過程中，容易在數據線01和/或掃描線02上出現折斷處04，從而造成對應的像素電極03無法被點亮，進而導致柔性顯示裝置無法正常顯示。

因此，如何減少數據線或掃描線在柔性陣列基板彎折過程中的斷線成為亟待解決的問題。

技術實現要素：

有鑒于此，本發明提供一種柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置，以解決現有技術中柔性顯示裝置在經常彎折后造成的顯示不良的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種柔性陣列基板，包括：

交叉且絕緣設置的多條數據線和多條掃描線，所述多條數據線和所述多條掃描線限定出多個像素單元；

與所述數據線和/或所述掃描線絕緣且平行設置的虛擬電極線，所述虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中，所述虛擬電極線與所述數據線或所述掃描線位于同一層；

所述虛擬電極線分布于所述數據線和/或所述掃描線的至少一側。

本發明還提供一種包含上述柔性陣列基板的柔性顯示裝置。

另外，本發明還提供一種柔性陣列基板制作方法，包括：

提供柔性基板；

在所述柔性基板上形成多條掃描線、多條數據線，所述多條數據線和所述多條掃描線交叉且絕緣設置，且限定出多個像素單元；

在形成所述掃描線和/或所述數據線的同時，在所述數據線和/或所述掃描線的至少一側形成虛擬電極線。

經由上述的技術方案可知，本發明提供的柔性陣列基板，在每個像素單元對應的數據線和/或掃描線的至少一側增加設置虛擬電極線，虛擬電極線與數據線和/或掃描線絕緣且平行設置；由于虛擬電極線能夠分擔與其平行的數據線或掃描線的應力，從而在柔性顯示裝置發生彎折時，能夠增強數據線和/或掃描線耐折彎性，降低柔性顯示裝置彎折過程中，數據線和/或掃描線的折斷風險，進而提高了柔性顯示裝置的顯示質量。

進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

同時，本發明還提供一種上述柔性陣列基板的制作方法，從而實現虛擬電極線的制作；另外還提供一種包括上述柔性陣列基板的柔性顯示裝置，同樣能夠提高柔性顯示裝置的顯示質量。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖2為本發明實施例提供的一種柔性陣列基板的俯視結構示意圖；

圖3為圖2所示柔性陣列基板的a部局部放大圖；

圖4為圖2所示柔性陣列基板的剖面結構示意圖；

圖5為圖2所示柔性陣列基板的制作方法流程圖；

圖6為本發明另一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖7為圖6所示柔性陣列基板的剖面結構示意圖；

圖8為本發明又一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖9為圖8所示柔性陣列基板的剖面結構示意圖；

圖10為圖8所示柔性陣列基板的制作方法流程圖；

圖11為本發明再一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；

圖12為圖11所示柔性陣列基板的剖面結構示意圖；

圖13為電子紙的剖面結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

本發明實施例提供一種柔性陣列基板，包括：交叉且絕緣設置的多條數據線和多條掃描線，多條數據線和多條掃描線限定出多個像素單元；與數據線和/或掃描線絕緣且平行設置的虛擬電極線，虛擬電極線位于像素單元在柔性陣列基板的垂直投影中，虛擬電極線與數據線或掃描線位于同一層；虛擬電極線分布于數據線和/或掃描線的至少一側。

需要說明的是，本發明實施例中虛擬電極線可以僅設置在每個像素單元中的數據線的至少一側，與數據線平行且絕緣設置；還可以僅設置在每個像素單元中的掃描線的至少一側，與掃描線平行且絕緣設置；還可以同時設置在每個像素單元中的數據線和掃描線的至少一側，設置在數據線至少一側的虛擬電極線與數據線平行且絕緣設置，設置在掃描線至少一側的虛擬電極線與掃描線平行且絕緣設置，本實施例中虛擬電極線的設置不做限定，可選的，為了同時對數據線和掃描線進行保護，本實施例中虛擬電極線同時設置在每個像素單元中的數據線和掃描線的至少一側。本發明利用的原理是：只要設置虛擬電極線位于數據線和/或掃描線的至少一側用于分擔應力，即可降低數據線和/或掃描線被折斷風險，因此，無論柔性顯示裝置是正面彎折還是反面彎折，虛擬電極線都能夠起到防止數據線和/或掃描線折斷的作用。

需要說明的是，本實施例中所述的“至少一側”是指在柔性陣列基板不彎折的情況下，在平行于柔性陣列基板的平面內，虛擬電極線位于數據線或者掃描線的一側。

本實施例中虛擬電極線可以僅位于數據線和/或掃描線的一側，也可以同時位于數據線和/或掃描線的兩側。需要說明的是，本實施例中不限定數據線和/或掃描線每一側的虛擬電極線的個數，在數據線和/或掃描線每一側可以僅設置一條虛擬電極線，也可以設置多條虛擬電極線。另外，當在數據線和/或掃描線每一側設置多條虛擬電極線時，多條虛擬電極線可以為疊加多層的結構，也可以為位于同一層的多條虛擬電極線，沿遠離數據線或掃描線的方向依次排列。當存在多條虛擬電極線時，多條虛擬電極線均能夠分擔應力，相對于一條虛擬電極線，數據線和掃描線上的應力更小，被折斷風險更低。

由于在垂直于柔性陣列基板的方向上，虛擬電極線背離柔性陣列基板一側的表面比掃描線和數據線背離柔性陣列基板一側的表面更加遠離柔性陣列基板的表面，也即在柔性陣列基板的剖面結構中，虛擬電極線的高度比掃描線和數據線的高度高，能夠對柔性陣列基板彎折過程中的掃描線和數據線有更好的保護，基于此，本實施例中可選的，當在數據線和/或掃描線每一側設置多條虛擬電極線時，多條虛擬電極線為疊加多層的結構。

本實施例中虛擬電極線與數據線或掃描線位于同一層，可選的，當所有虛擬電極線均位于同一層時，可以與數據線位于同一層，也可以與掃描線位于同一層。當虛擬電極線分別位于不同層時，其中一層虛擬電極線與掃描線同時制作形成，與掃描線位于同一層；另外一層虛擬電極線可以與數據線同時制作形成，與數據線位于同一層，本實施例中對虛擬電極線具體位于哪一層結構不做限定。

需要說明的是，為防止虛擬電極線與數據線或掃描線距離太近，出現短路現象，本實施例中所述虛擬電極線與數據線或掃描線之間的距離大于或等于3微米。另外，由于柔性顯示裝置的邊框區域有限，本實施例中限定所述虛擬電極線與數據線或掃描線之間的距離小于或等于10微米。

本發明實施例中對所述虛擬電極線的寬度不做限定，但為防止虛擬電極線過寬時，引來較大應力，從而使得數據線或掃描線周圍的應力變化較大，本實施例中限定所述虛擬電極線的寬度與數據線或掃描線的寬度相近。

另外，為了在數據線和掃描線發生彎折，存在部分折斷風險的基礎上進一步保證柔性陣列基板的顯示質量，本發明實施例中還可選的，將數據線和/或所述掃描線設置為鏤空結構。鏤空結構使得數據線或掃描線相當于多個子數據線或子掃描線進行并聯，當一個子數據線或子掃描線折斷時，其他并聯線路可以正常顯示，從而保證柔性顯示裝置的顯示質量。

本發明實施例還提供一種柔性陣列基板制作方法，包括：

提供柔性基板；

在所述柔性基板上形成多條掃描線、多條數據線，所述多條數據線和所述多條掃描線交叉且絕緣設置，且限定出多個像素單元；

在形成所述掃描線和/或所述數據線的同時，在所述數據線和/或所述掃描線的至少一側形成虛擬電極線。

其中，根據虛擬電極線的分布情況不同，在形成掃描線和/或數據線的同時，在數據線和/或掃描線的至少一側形成虛擬電極線具體可以分為如下幾種情況為：

1)在形成掃描線的同時，在數據線和/或掃描線的一側形成虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和虛擬電極線；

在絕緣層上形成數據線。

也即，虛擬電極線與掃描線在同一個步驟中形成，且虛擬電極線僅位于數據線和/或掃描線的一側。

2)在形成掃描線的同時，在數據線和/或掃描線的一側形成第一虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

在絕緣層上，形成數據線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

也即，虛擬電極線包括兩層結構，其中，第一虛擬電極線與掃描線在同一個步驟中形成，且僅位于數據線和/或掃描線的一側；第二虛擬電極線與數據線在同一個步驟中形成，且第二虛擬電極線位于第一虛擬電極線的上方，在柔性基板上的垂直投影重疊。

3)在形成掃描線的同時，在數據線和/或掃描線的兩側均形成第一虛擬電極線；

形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

在絕緣層上，形成數據線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

也即，虛擬電極線包括兩層結構，其中，第一虛擬電極線與掃描線在同一個步驟中形成，且位于數據線和/或掃描線的兩側；第二虛擬電極線與數據線在同一個步驟中形成，且第二虛擬電極線位于第一虛擬電極線的上方，在柔性基板上的垂直投影重疊。

需要說明的是，此步驟中，第二虛擬電極線可以與第一虛擬電極線對應設置，設置在數據線和/或掃描線的兩側；也可以僅位于數據線和/或掃描線的一側，本實施例中對此不做限定。

綜上所述，本發明提供的柔性陣列基板及其制作方法，通過在每個像素單元中的數據線和/或掃描線的至少一側增加設置虛擬電極線，虛擬電極線與數據線和/或掃描線絕緣且平行設置；使得在柔性顯示裝置發生彎折時，由于所述虛擬電極線能夠分擔與其平行的數據線或掃描線的應力，從而降低柔性顯示裝置彎折過程中，數據線和/或掃描線的被折斷風險，進而提高了柔性顯示裝置的顯示質量。進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

下面將結合附圖對本發明提供柔性陣列基板及其制作方法、柔性顯示裝置進行詳細說明。

請參見圖2、圖3、圖4和圖5，其中，圖2為本發明實施例提供的一種柔性陣列基板的俯視結構示意圖，圖3為圖2所示柔性陣列基板的a部局部放大圖；圖4為圖2所示柔性陣列基板沿aa’線的剖面結構示意圖，圖5為圖2所示柔性陣列基板的制作方法流程圖。

如圖2所示，本發明實施例中，柔性陣列基板10包括交叉且絕緣設置的多條數據線11和多條掃描線12，多條數據線11和多條掃描線12限定出多個像素單元。本實施例中還包括與數據線11和掃描線12絕緣且平行設置的虛擬電極線15，虛擬電極線15位于像素單元在柔性陣列基板的垂直投影中。本領域技術人員公知的像素單元包括像素電極13和薄膜晶體管(thinfilmtransistor，tft)結構。如圖2所示，虛擬電極線位于掃描線和數據線之外的區域，也即像素單元所在區域。

如圖3所示，本實施例中僅在掃描線12和數據線11的一側設置了虛擬電極線15，需要說明的是，圖2和圖3所示，僅示出了一種虛擬電極線15的分布情況，本實施例中對虛擬電極線15的分布不做限定，如圖3所示，虛擬電極線15可以位于掃描線12的下側，也可以位于掃描線12的上側；虛擬電極線15可以位于數據線11的左側，也可以位于數據線11的右側。另外，柔性陣列基板上的所有像素單元中的虛擬電極線的分布方式可以相同，如圖2所示，柔性陣列基板上的所有像素單元中的虛擬電極線的分布方式還可以不相同，如一部分像素單元中的虛擬電極線，如圖3中所示，虛擬電極線15位于掃描線12的下側，并且位于數據線11的左側；另外一些像素單元中虛擬電極線位于掃描線的上側，并且位于數據線的右側。本實施例中對此不做限定。需要說明的是，本實施例中所述的“上側”、“下側”是為了區分掃描線的兩側，“左側”、“右側”是為了區分數據線的兩側，并不指絕對的方向。

位于掃描線12和數據線11的一側的虛擬電極線的條數也不限定為一條，在本發明其他實施例中，掃描線12和數據線11的一側還可以設置多條并排分布的多條虛擬電極線。需要說明的是，考慮到并排設計多條虛擬電極線時剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實施例在掃描線和/或數據線的一側或兩側設置多條一條虛擬電極線。

需要說明的是，本實施例中對所述虛擬電極線的材質不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質，如ito(氧化銦錫)。對于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實施例中虛擬電極線還可以為非透明材質，如金屬材質，只要能夠分擔數據線和掃描線應力的材質，均可以應用于本發明實施例。

如圖4所示，本發明實施例中，虛擬電極線15與掃描線12位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程如圖5所示，包括：

s101、提供柔性基板；

以圖4為例進行說明，本實施例中柔性基板包括襯底16；本實施例中對襯底的材質不做限定。對于柔性基板來說，可選的，襯底16的材質可以為玻璃、金屬或有機聚合物。

s102、在柔性基板上形成多條掃描線、多條數據線，多條數據線和多條掃描線交叉且絕緣設置，且限定出多個像素單元；其中，在形成掃描線的同時，在數據線和掃描線的一側形成虛擬電極線；

繼續參見圖4，虛擬電極線15與掃描線12同時形成，且位于同一層。可選的，虛擬電極線15與掃描線12可以采用同一個掩膜版，一次制作形成。需要說明的是，與掃描線12同時形成的還包括如圖3和圖2中所示的像素單元中的薄膜晶體管的柵極，柵極與掃描線同時形成為本領域技術人員公知的工藝，本實施例中對此不做詳細描述。

s103、形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和虛擬電極線；

繼續參見圖4，在虛擬電極線15與掃描線12上形成一層絕緣層17，本實施例中不限定絕緣層17的制作工藝。絕緣層17用于將掃描線12、虛擬電極線15與后續在掃描線12、虛擬電極線15上形成的其他金屬層之間進行絕緣。

s104、在絕緣層上形成數據線。

繼續參見圖4，在絕緣層17上形成數據線11，其中虛擬電極線15位于數據線11的一側。后續再進行其他工藝，本實施例中對后續工藝步驟不做限定。

需要說明的是，本實施例中虛擬電極線與掃描線在同一個步驟中制作形成，并沒有增加工藝步驟，因此，相對于現有技術，并沒有增加柔性陣列基板的制作復雜度。

如圖3所示，由于增加設置了虛擬電極線15，分擔了數據線11和掃描線12的應力，長期彎折下來，折斷處14較大可能出現在虛擬電極線15上，從而在彎折過程中，虛擬電極線15對數據線11和掃描線12進行了保護，避免了數據線11和掃描線12被折斷，從而提高了柔性顯示裝置的顯示質量。進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請參見圖6和圖7，其中，圖6為本發明另一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖7為圖6所示柔性陣列基板沿bb’線的剖面結構示意圖，其中，剖面結構示意圖中還包括其他結構，如像素電極，但是本實施例為了更加清晰地呈現虛擬電極的結構而省略了bb’線對應的某些區域，圖7中僅以斷面結構表示其他結構。

如圖6所示，為柔性陣列基板的一個像素單元的俯視結構示意圖；每個像素單元由掃描線22和數據線21限定出來，本實施例中在掃描線22和數據線21的兩側均設置了虛擬電極線25，也即在圖6所示的像素單元中，掃描線22和數據線21靠近像素電極23和背離像素電極23的一側均設置了虛擬電極線25。需要說明的是，本實施例中不限定分別位于掃描線22和數據線21的一側的虛擬電極線的條數，在本發明其他實施例中，掃描線22和數據線21的一側還可以設置多條并排分布的多條虛擬電極線。考慮到并排設計多條虛擬電極線時剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實施例為在掃描線和/或數據線的一側或兩側設置一條虛擬電極線。

需要說明的是，本實施例中對所述虛擬電極線的材質不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質，如ito(氧化銦錫)。對于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實施例中虛擬電極線還可以為非透明材質，如金屬材質，只要能夠分擔數據線和掃描線應力的材質，均可以應用于本發明實施例。

如圖7所示，本發明實施例中，虛擬電極線25與掃描線22位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程與圖5所示的柔性陣列基板的制作方法的步驟相似，不同的是，本實施例中在在形成掃描線的同時，在數據線和掃描線的兩側形成虛擬電極線。其他制作步驟請參見圖5所示流程圖。

如圖6所示，由于增加設置了虛擬電極線25，分擔了數據線21和掃描線22的應力，長期彎折下來，折斷處24較大可能出現在虛擬電極線25上，從而在彎折過程中，虛擬電極線25對數據線21和掃描線22進行了保護，避免了數據線21和掃描線22被折斷，從而提高了柔性顯示裝置的顯示質量。進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請參見圖8、圖9和圖10，其中，圖8為本發明又一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖9為圖8所示柔性陣列基板沿cc’線的剖面結構示意圖，其中，剖面結構示意圖中還包括其他結構，如像素電極，但是本實施例為了更加清晰地呈現虛擬電極的結構而省略了cc’線對應的某些區域，圖9中僅以斷面結構表示其他結構，圖10為圖8所示柔性陣列基板的制作方法流程圖。

如圖8所示，為柔性陣列基板的一個像素單元的俯視結構示意圖；每個像素單元由掃描線32和數據線31限定出來，本實施例中在掃描線32和數據線31的兩側均設置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352，也即在圖8所示的像素單元中，掃描線32和數據線31靠近像素電極33和背離像素電極33的一側均設置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352。其中，請參見圖9，在柔性陣列基板的剖面圖中，第一虛擬電極線351位于第二虛擬電極線352的下方，即第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352組成疊層結構，也即位于數據線31和掃描線32的每一側的兩條虛擬電極線在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。

需要說明的是，在本發明的其他實施例中，數據線31和掃描線32的每一側還可以包括多組第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352；在本發明的另外實施例中，第二虛擬電極線352可以僅位于數據線31和掃描線32的單側，本實施例中對此不做限定。

本實施例中不限定分別位于掃描線32和數據線31的一側的虛擬電極線(第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352疊加組合)的條數，在本發明其他實施例中，掃描線32和數據線31的每一側還可以設置多條并排分布的多條虛擬電極線。考慮到并排設計多組虛擬電極線時剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實施例為在掃描線和/或數據線的一側或兩側設置一條虛擬電極線。

需要說明的是，本實施例中對所述虛擬電極線的材質不做限定，為了不影響像素單元的顯示情況，虛擬電極線可選為透明材質。對于顯示不受開口率影響的顯示裝置，如反射型顯示裝置，本實施例中虛擬電極線還可以為非透明材質，如金屬材質，只要能夠分擔數據線和掃描線應力的材質，均可以應用于本發明實施例。

如圖9所示，本發明實施例中，第一虛擬電極線351與掃描線32位于同一層，第二虛擬電極線352與數據線位于同一層。柔性陣列基板的具體制作方法流程如圖10所示，包括：

s201、提供柔性基板；

請參見圖9，本實施例中柔性基板包括襯底36；本實施例中對襯底的材質不做限定。對于柔性基板來說，可選的，襯底36為玻璃、金屬或有機聚合物。

s202、在柔性基板上形成多條掃描線、多條數據線，多條數據線和多條掃描線交叉且絕緣設置，且限定出多個像素單元；其中，在形成掃描線的同時，在數據線和掃描線的兩側均形成第一虛擬電極線。

繼續參見圖9，第一虛擬電極線351與掃描線32同時形成，且位于同一層。可選的，掃描線32和第一虛擬電極線351可以采用同一個掩膜版，一次制作形成。需要說明的是，與掃描線32同時形成的還包括如圖8中所示的像素單元中的薄膜晶體管的柵極，柵極與掃描線同時形成為本領域技術人員公知的工藝，本實施例中對此不做詳細描述。

s203、形成絕緣層，絕緣層覆蓋掃描線和第一虛擬電極線；

繼續參見圖9，在第一虛擬電極線351與掃描線32上形成一層絕緣層37，本實施例中不限定絕緣層37的制作工藝。絕緣層37用于將掃描線32、第一虛擬電極線35與后續在掃描線32、第一虛擬電極線35上形成的其他金屬層之間進行絕緣。

s204、在絕緣層上，形成數據線和第二虛擬電極線，第二虛擬電極線與第一虛擬電極線在柔性基板上的垂直投影重疊。

繼續參見圖9，在絕緣層38上形成數據線31和第二虛擬電極線352，其中，第二虛擬電極線352與數據線31同時形成，且位于同一層。可選的，數據線31和第二虛擬電極線352可以采用同一個掩膜版，一次制作形成。需要說明的是，與數據線31同時形成的還包括如圖8中所示的像素單元中的薄膜晶體管的源極和漏極，源極、漏極與數據線同時形成為本領域技術人員公知的工藝，本實施例中對此不做詳細描述。

需要說明的是，本實施例中第二虛擬電極線352位于第一虛擬電極線的正上方，也即，第二虛擬電極線352與第一虛擬電極線351在柔性基板上的垂直投影重疊。在本發明的其他實施例中，第二虛擬電極線352可以與第一虛擬電極線351的數量不相同，也即部分第一虛擬電極線351上設置有第二虛擬電極線352，部分第一虛擬電極線351上不設置第二虛擬電極線352，具體情況根據實際需求進行選擇，本實施例中不做限定。

后續再進行其他工藝，本實施例中對后續工藝步驟不做限定。

需要說明的是，本實施例中第一虛擬電極線與掃描線在同一個步驟中制作形成，第二虛擬電極線與數據線在同一個步驟中制作形成，并沒有增加工藝步驟，因此，相對于現有技術，并沒有增加柔性陣列基板的制作復雜度。

如圖8所示，由于增加設置了第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352，且第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。也即兩層虛擬電極線堆疊起來，如圖9所示，在剖面結構上，虛擬電極線(包括第一虛擬電極線351和第二虛擬電極線352)的高度比掃描線32和數據線31的高度均高，從而能夠在彎折過程中，對掃描線32和數據線31起到保護作用，如圖8所示，長期彎折下來，折斷處34較大可能出現在虛擬電極線上，從而避免了數據線31和掃描線32被折斷，進而提高了柔性顯示裝置的顯示質量。進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

請參見圖11和圖12，其中，圖11為本發明再一實施例提供的柔性陣列基板的局部俯視示意圖；圖12為圖11所示柔性陣列基板沿dd’線的剖面結構示意圖，其中，剖面結構示意圖中還包括其他結構，如像素電極，但是本實施例為了更加清晰地呈現虛擬電極的結構而省略了dd’線對應的某些區域，圖12中僅以斷面結構表示其他結構。

如圖11所示，為柔性陣列基板的一個像素單元的俯視結構示意圖；每個像素單元由掃描線42和數據線41限定出來，本實施例中在掃描線42和數據線41的兩側均設置了第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452，也即在圖11所示的像素單元中，掃描線42和數據線41靠近像素電極44和背離像素電極44的一側均設置了第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452。其中，請參見圖12，其中第一虛擬電極線451位于第二虛擬電極線452的下方，即第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452形成疊層結構，也即位于數據線41和掃描線42的每一側的兩條虛擬電極線在柔性陣列基板上的垂直投影重疊。

需要說明的是，在本發明的其他實施例中，數據線41和掃描線42的每一側還可以包括多組第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452；在本發明的另外實施例中，第二虛擬電極線452可以僅位于數據線41和掃描線42的單側，本實施例中對此不做限定。

本實施例中不限定分別位于掃描線42和數據線41的一側的虛擬電極線(第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452疊加組合)的條數，在本發明其他實施例中，掃描線42和數據線41的每一側還可以設置多條并排分布的多條虛擬電極線。考慮到并排設計多組虛擬電極線時剛性較大，不利于柔性陣列基板的彎曲，因此，本實施例為在掃描線和/或數據線的一側或兩側設置一條虛擬電極線。

與圖8所示柔性陣列基板不同的是，本實施例中的數據線41和掃描線42為鏤空結構，本實施例中不限定所述鏤空結構的具體鏤空圖案，可以是橢圓形、圓形、矩形或多邊形，本實施例中對此不做限定。

需要說明的是，為保證數據線和掃描線的耦合電容不變，本實施例中將具有鏤空結構的數據線和掃描線的總寬度增加，使得鏤空的數據線和掃描線的總寬度相對于現有技術中的數據線和掃描線的寬度更寬，可選的，本實施例中數據線41和掃描線42的寬度范圍為5微米-100微米，包括端點值。需要說明的是，不同工藝制作形成的柔性陣列基板，掃描線和數據線的寬度不同，寬度增加程度也不同，本實施例中對此不做限定，掃描線和數據線的具體寬度依據實際情況進行設定。

本實施例中柔性陣列基板的具體制作方法流程與圖10所示的柔性陣列基板的制作方法的步驟相似，不同的是，本實施例中在在形成掃描線的同時，將掃描線做成鏤空結構，在形成數據線的同時，也將數據線設置為鏤空結構。其他制作步驟請參見圖10所示流程圖。

如圖11所示，在增加設置第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452，且第一虛擬電極線451和第二虛擬電極線452在柔性陣列基板上的垂直投影重疊的基礎上，將數據線41和掃描想42設置為鏤空結構，鏤空結構使得數據線或掃描線相當于多個子數據線或子掃描線進行并聯，當一個子數據線或子掃描線折斷時，其他并聯線路可以正常顯示，從而保證柔性顯示裝置的顯示良率。如圖11所示，長期彎折下來，即使折斷處44出現在數據線41和掃描線42上，數據線41和掃描線42上也存在未折斷的部分，進而進一步提高了柔性顯示裝置的顯示質量。進一步地，由于虛擬電極線位于每個像素單元中，也即虛擬電極線為多條長度較短且相互分離的線，相對于剛性較大的掃描線或數據線，多條虛擬電極線之間的間隙可以用于彎折，從而在增強數據線和/或掃描線的耐折彎性的基礎上，還有助于柔性陣列基板的彎曲。

本發明實施例還提供一種柔性顯示裝置，包括柔性陣列基板，所述柔性陣列基板為上述在所述數據線和/或所述掃描線的至少一側，絕緣且平行設置的虛擬電極線。所述虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中。

需要說明的是，由于虛擬電極線位于所述像素單元在所述柔性陣列基板的垂直投影中，為避免對柔性顯示裝置的開口率造成影響，本實施例中可選的，所述柔性顯示裝置為反射式柔性顯示裝置，所述反射式柔性顯示裝置包括電子紙和反射式液晶顯示裝置。

其中，由于電子紙像紙一樣薄，具有即使切掉電源，內容也不會消失的特性，因此，電子紙被廣泛應用于柔性顯示中，本發明中的柔性顯示裝置可選為電子紙。，因此，下面本實施例中以電子紙為例進行說明所述柔性顯示裝置，如圖13所示，為電子紙的剖面結構示意圖，電子紙包括：

相對設置的保護膜51和上述任一柔性陣列基板50，具體地，柔性陣列基板50包括：像素電極54、基板57、薄膜晶體管56、數據線(圖中未示出)和掃描線(圖中未示出)，薄膜晶體管56形成在基板57朝向保護膜51的一側。保護膜51朝向基板57的一側設置有公共電極52，公共電極52和像素電極54之間還包括電泳膜53，電泳膜53中間夾雜著電泳粒子58，所述電泳粒子58在電場的作用下能夠游動。

電子紙顯示過程中，通過電場控制電泳粒子58移動的位置，通過電泳粒子58移動的位置控制光的反射情況，從而實現所需亮度。由于電泳粒子58的移動是靠電場移動的，因此可通過在電子紙的每個區域的公共電極52和像素電極54之間加上適當的電壓，產生反射區和吸收區圖案，即可形成圖案。

電泳粒子58的顏色可以包括黑色和白色，形成黑白顯示的電子紙，還可以包括其他顏色，從而形成彩色顯示的電子紙，本實施例中對此不做限定。

可選地，如圖13所示，柔性陣列基板50上還包括第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552，其中，第一虛擬電極線551與薄膜晶體管56中的柵極以及掃描線同時形成，且位于同一層；第二虛擬電極線552與薄膜晶體管56中的源極、漏極以及數據線同時形成，且位于同一層，第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552均位于數據線的一側，且與數據線平行設置。第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552之前設置有柵極絕緣層。第一虛擬電極線551和第二虛擬電極線552還可以設置在數據線的兩側，本實施例中不做限定。同樣，圖中未示出的，掃描線的至少一側也可以設置與其絕緣且平行設置的虛擬電極線，詳細描述請參見上面幾個實施例，本實施例中不再贅述。

需要說明的是，本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。

對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本發明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。