技術特征：
技術總結
本發明公開了一種復合源場板電流孔徑異質結場效應晶體管，其自下而上包括：漏極(13)、GaN襯底(1)、GaN漂移層(2)、孔徑層(3)、兩個對稱的二級階梯形的電流阻擋層(4)、溝道層(6)、勢壘層(7)、帽層(8)和柵極(12)，溝道層和勢壘層的兩側刻有源槽(10)，源槽中淀積有兩個源極(11)，帽層兩側刻有兩個臺階(9)，除漏極底部以外所有區域覆蓋鈍化層(14)，兩側的鈍化層內制作有復合源場板(15)，該復合源場板是由多個相互獨立的浮空場板和一個源場板構成，源場板與源極電氣連接，兩個電流阻擋層(4)之間形成孔徑(5)。本發明擊穿電壓高、工藝簡單、導通電阻小、成品率高，可用于電力電子系統。
技術研發人員：毛維;楊翠;馬佩軍;郝躍
受保護的技術使用者：西安電子科技大學
技術研發日：2017.03.29
技術公布日：2017.09.15